Spectron FP4 Betriebsanleitung Seite 40

7 | Betrieb
Nach dem Bestätigen erfolgt die Anweisung, die angeschlossene Prozessgasquelle zu entfer-
nen.
Ist die Prozessgasquelle entfernt, kann mit OK bestätigt werden. Es erfolgt die Anweisung, die
volle Prozessgasquelle anzuschließen.
Wenn die neue Prozessgasquelle angeschlossen wurde muss dies mit OK bestätigt werden.
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Spectron Gas Control Systems GmbH
GDS_FP4_0821