Spectron FP4 Betriebsanleitung Seite 41

Spectron Gas Control Systems GmbH
Im nächsten Schritt erfolgt der Dichtheitstest. Dabei wird das Spülgas in die Leitungen eingelas-
sen und ermöglicht eine manuelle Dichtheitsprüfung der Anschlüsse.
Mit Bestätigen erfolgt das Post-Purge Programm nach dem Flaschenwechsel, welches Unrein-
heiten und Atmosphärenluft aus der Leitung spült, bevor das Prozessgasquellenventil geöffnet
wird.
Im nächsten Schritt erfolgt der erste Spülzyklus. Dabei wird zuerst mithilfe des Spülgases Druck
im System aufgebaut.
GDS_FP4_0821
Betrieb | 7
41