Spectron FP4 Betriebsanleitung Seite 38

7 | Betrieb
Mit Bestätigen erfolgt das Pre-Purge Programm vor dem Flaschenwechsel, welches das restli-
che Prozessgas in den Leitungen vor dem Entfernen der Prozessgasquelle restlos herausspült.
Nach dem Bestätigen erfolgt die Prozessgasentfernung entweder durch das Entlasten des
Druckes oder mithilfe eines Vakuumgenerators, welcher in der Systemkonfiguration vorher kon-
figuriert wurde. Die Prozessgasentfernung hat einen fest eingestellten Zeitwert von 30 Sekun-
den.
Im nächsten Schritt erfolgt der erste Spülzyklus. Dabei wird zuerst mithilfe des Spülgases Druck
im System aufgebaut.
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Spectron Gas Control Systems GmbH
GDS_FP4_0821