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Pfeiffer Vacuum QMA 125 Betriebsanleitung Seite 8

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2.1.3 Sekundärelektronen-
Vervielfacher SEV 217
mit diskreten Dynoden
8
Dieser Detektor zeichnet sich durch sehr
hohe Verstärkung und Ansprechgeschwin-
digkeit aus.
Die auf die erste "Dynode" D1 ("Konver-
sionsdynode") auftreffenden Ionen lösen
Elektronen aus. Diese werden zur nächsten
Dynode D2 beschleunigt und lösen aus
dieser wiederum Sekundärelektronen aus.
Ist die Ausbeute grösser als 1, hat dies ein
lawinenartiges Anwachsen der Elektronen-
zahl beim Durchlaufen der 17 Stufen zur
Folge. Von der letzten Dynode D17 gelan-
gen die Elektronen zum Auffänger. Der
Auffängerstrom wird mit dem Elektrometer-
Vorverstärker gemessen. Da der Strom,
unter sonst gleichen Bedingungen, um
einige Zehnerpotenzen grösser ist als beim
Faraday-Auffänger, kann mit einer niedrige-
ren Verstärker-empfindlichkeit gearbeitet
werden. Die Ansprechgeschwindigkeit des
Verstärkers ist dann bedeutend höher.
Für das Nachweisvermögen entscheidend
ist die Auslöserate (Anzahl Elektronen pro
einfallendes Ion) an der Konversionsdyn-
ode. Die Gesamtverstärkung wird dagegen
wesentlich von der Sekundärelektronen-
Rate auf den einzelnen Dynoden be-
stimmt. Beide Raten hängen stark von der
Oberflächenbeschaffenheit der Dynoden
und der kinetischen Energie der
auftreffenden Teilchen ab. Die Energie ist
im wesentlichen durch die angelegte
Betriebsspannung gegeben. Die
Verstärkung kann somit über die
Spannung in weiten Grenzen eingestellt
werden. Einige Eigenschaften der auftref-
fenden Teilchen (Ladung, Masse, chemi-
sche Natur) beeinflussen zusätzlich die
Konversionsrate.
Der Hauptnachteil des SEV ist der Einfluss der Oberflächenbeschaffenheit, die sich
während des Betriebs infolge einer Vielzahl von Vorgängen ändern kann.
Massenfilter
R 1
D 1
R 2
D 2
R 3
D 3
R 4
D 4
R 16
D 16
R 17
D 17
R 18
C
+
C
HV–
+
Verstärkung
9
10
8
10
7
10
6
10
5
10
4
10
3
10
100
200
Dynodenspannung (V)
BG 805 988 BD 25
SEV
Anschluss-
platte
Elektrometer
(0202)
QMA125.bet

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