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Pfeiffer Vacuum GSD 350 OMNISTAR Betriebsanleitung
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Pfeiffer Vacuum GSD 350 OMNISTAR Betriebsanleitung

Pfeiffer Vacuum GSD 350 OMNISTAR Betriebsanleitung

Gasanalysesystem
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BETRIEBSANLEITUNG
DE
Original
GSD 350 OMNISTAR ∣ THERMOSTAR
Gasanalysesystem

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Verwandte Anleitungen für Pfeiffer Vacuum GSD 350 OMNISTAR

Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum GSD 350 OMNISTAR

  • Seite 1 BETRIEBSANLEITUNG Original GSD 350 OMNISTAR ∣ THERMOSTAR Gasanalysesystem...

  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Verwendung widersprechen oder explizit als vorhersehbarer Fehlgebrauch definiert sind. Urheberrechtshinweis (Copyright) Dieses Dokument ist das geistige Eigentum von Pfeiffer Vacuum, und alle Inhalte dieses Dokuments sind urheberrechtlich geschützt (Copyright). Sie dürfen ohne vorherige schriftliche Genehmigung von Pfeiffer Vacuum weder ganz noch auszugsweise kopiert, verändert, vervielfältigt oder veröffentlicht werden.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Sicherheitshinweise Sicherheitsmaßnahmen Einsatzgrenzen des Produkts Bestimmungsgemäße Verwendung Vorhersehbarer Fehlgebrauch Personenqualifikation 2.7.1 Personenqualifikation sicherstellen 2.7.2 Personenqualifikation bei Wartung und Reparatur 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Produktbeschreibung Funktionsbeschreibung 3.1.1 OmniStar 3.1.2 ThermoStar 3.1.3 Korrosivgasversion Steuerelemente und Anzeigen 3.2.1 Variante mit Display 3.2.2 Variante ohne Display Aufbau des Gerätes...
  • Seite 4 Inhaltsverzeichnis Sperrgasleitung anschließen 5.4.1 Sperrgasschlauch zuschneiden 5.4.2 Sperrgasleitung anschließen Kapillare anschließen 5.5.1 Edelstahlkapillare des OmniStar anschließen 5.5.2 Quarzkapillare des ThermoStar anschließen Position des Kapillarschlauches anpassen Netzwerkverbindungen herstellen 5.7.1 IP-Adressen 5.7.2 Subnetzwerke 5.7.3 IP-Adresse des GSD 350 ändern 5.7.4 IP-Adresse des Host-Computers ändern Funktionserdung anschließen Netzanschluss herstellen 5.10 Software PV MassSpec installieren...
  • Seite 5 Inhaltsverzeichnis 10.2.3Gehäuseabdeckung entfernen/anbringen 10.2.4Gehäuseteile reinigen 10.2.5Schutzgitter der Lüfter reinigen 10.3 Hochvakuumsystem warten 10.3.1Betriebsmittelspeicher der Turbopumpe austauschen 10.3.2Flutventil austauschen 10.4 Vorvakuumsystem warten 10.4.1Membranpumpe austauschen 10.4.2Membranen der Membranpumpe austauschen 10.5 Gasanalyseeinheit warten 10.5.1Analysator QMA 250 M warten 10.5.2Totaldruckmessröhre warten 10.6 Gaseinlasssystem des OmniStar warten 10.6.1Gaseinlass demontieren 10.6.2Blende austauschen 10.6.3Innere Gasführung mit Blende austauschen...
  • Seite 6 Inhaltsverzeichnis Versand Recycling und Entsorgung 13.1 Allgemeine Entsorgungshinweise 13.2 Gasanalysesystem entsorgen Servicelösungen von Pfeiffer Vacuum Ersatzteile Spezialwerkzeug Zubehör 17.1 Zubehörinformationen 17.2 Zubehör bestellen Technische Daten und Abmessungen 18.1 Allgemeines 18.2 Technische Daten 18.3 Abmessungen Zertifizierung Konformitätserklärung 6/114...
  • Seite 7 Tabellenverzeichnis Tabellenverzeichnis Tab. 1: Mitgeltende Dokumente Tab. 2: Varianten Tab. 3: Merkmale der Varianten Tab. 4: Verwendete Abkürzungen Tab. 5: Zulässige Umgebungsbedingungen Tab. 6: Symbole und Farben der Status- und Komponentensymbole Tab. 7: Status-LED und deren Bedeutung Tab. 8: Heizungen des Gerätes Tab.
  • Seite 8 Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Abb. 1: Position der Aufkleber auf dem Produkt Abb. 2: Vakuumschema des OmniStar Abb. 3: Vakuumschema des ThermoStar Abb. 4: Zusätzliche Sperrgasversorgung der Korrosivgasversion Abb. 5: Display mit Bedientasten Abb. 6: Gehäuseteile Abb. 7: Lüftungsöffnungen an den Seiten des Gerätes Abb.
  • Seite 9 Abbildungsverzeichnis Abb. 57: Teile der inneren Gasführung Abb. 58: Gaseinlass demontieren Abb. 59: Länge der Edelstahlkapillare mit Klemmringverschraubung Abb. 60: Edelstahlkapillare einkerben und abbrechen Abb. 61: Klemmringverschraubung der Edelstahlkapillare Abb. 62: Quarzkapillare einkerben und abbrechen Abb. 63: Vordere Verschraubung der Quarzkapillare Abb.

  • Seite 10: Zu Dieser Anleitung

    Richtlinien. Alle Angaben in diesem Dokument beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand der Produkte. Die Dokumentation behält ihre Gültigkeit, sofern kundenseitig niemand Veränderungen am Produkt vornimmt. 1.1.1 Mitgeltende Dokumente Bezeichnung Dokument Betriebsanleitung "GSD 350 OmniStar/ThermoStar" DA 0106 Betrieb über Web-Interface und PV MassSpec Betriebsanleitung "Quadrupol-Massenspektrometer" BG 6001 QMG 250 PrismaPro Quick-Start-Guide "Quadrupol-Massenspektrometer"...

  • Seite 11: Varianten

    Tab. 3: Merkmale der Varianten Die Artikelnummer finden Sie auf dem Typenschild des Produktes. Pfeiffer Vacuum behält sich technische Änderungen ohne vorherige Anzeige vor. Die Abbildungen in diesem Dokument sind nicht maßstabsgetreu. Abmessungen sind in mm, sofern nicht anders angegeben.

  • Seite 12: Konventionen

    Zu dieser Anleitung Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen durchführen, die eine geeignete technische Ausbildung besitzen (Fachpersonal) oder eine entsprechende Schulung durch Pfeiffer Vacu- um erhalten haben. 1.3 Konventionen 1.3.1 Anweisungen im Text Handlungsanweisungen im Dokument folgen einem generellen und in sich abgeschlossenen Aufbau. Die notwendige Tätigkeit ist durch einen einzelnen oder mehrere Handlungsschritte gekennzeichnet.

  • Seite 13: Abkürzungen

    Standard für Schlauchsteckverbindungen in der Vakuumtechnik Ir-Y Yttriumoxid (Y )-beschichtetes Iridium (Ir) Acrylnitril-Butadien-Kautschuk, kurz auch Nitrilkautschuk (nitrile butadiene rubber) Normalnull Polyamid Polyethylen Proportional-Integral-Differential (proportional-integral-derivative) Pfeiffer Vacuum Polyvinylchlorid PFTBA Farblose Flüssigkeit zur Massenkalibrierung (Perfluortributylamin) Stromversorgung über Ethernet (power over ethernet) 13/114...

  • Seite 14: Markennachweis

    Tab. 4: Verwendete Abkürzungen 1.4 Markennachweis ● Microsoft ® und Windows ® sind Marken der Microsoft Corporation. ● OmniStar ® ® ® , ThermoStar und PrismaPro sind Marken der Pfeiffer Vacuum GmbH. ● Swagelok ® ist eine Marke der Swagelok Company. 14/114...

  • Seite 15: Sicherheit

    Dokument. 2.2 Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise nach Lebensphasen des Produktes Alle Sicherheitshinweise in diesem Dokument beruhen auf Ergebnissen einer Risikobeur- teilung. Pfeiffer Vacuum hat alle zutreffenden Lebensphasen des Produktes berücksichtigt. Risiken beim Transport WARNUNG Gefahr schwerer Verletzungen durch herabfallende Gegenstände Durch das Herabfallen von Gegenständen besteht die Gefahr von Verletzungen an Gliedmaßen bis hin zu Knochenbrüchen.
  • Seite 16 ► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen. ► Schalten Sie das Gerät nicht ein wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ► Trennen Sie das Gerät vor dem Reinigen immer von der Stromversorgung.
  • Seite 17 Sicherheit WARNUNG Vergiftungsgefahr durch Austritt toxischer Prozessmedien aus dem Auspuff Die Vakuumpumpe lässt im Betrieb ohne Auspuffleitung Auspuffgase und Dämpfe ungehindert ins Freie entweichen. Es besteht Verletzungs- und Lebensgefahr durch Vergiftung bei Prozessen mit to- xischen Prozessmedien. ► Beachten Sie die entsprechenden Vorschriften im Umgang mit toxischen Prozessmedien. ►...

  • Seite 18: Sicherheitsmaßnahmen

    Sicherheit WARNUNG Gesundheitsgefahr durch Vergiftung an toxisch kontaminierten Bauteilen oder Geräten Toxische Prozessmedien führen zur Kontamination der Geräte oder Teilen davon. Bei Wartungsar- beiten besteht Gesundheitsgefahr durch Kontakt mit diesen giftigen Substanzen. Die unzulässige Be- seitigung toxischer Substanzen führt zu Umweltschäden. ►...

  • Seite 19: Einsatzgrenzen Des Produkts

    Sicherheit Verletzung der Konformität durch Veränderungen am Produkt Die Konformitätserklärung des Herstellers erlischt, wenn der Betreiber das Originalprodukt verändert oder Zusatzeinrichtungen installiert. ● Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet, vor deren Inbetriebnahme die Konformität des Gesamtsystems im Sinne der geltenden europäischen Richtlinien zu überprüfen und entsprechend neu zu bewerten.

  • Seite 20: Personenqualifikation

    ● Verwendung von Zubehör oder Ersatzteilen, die nicht in dieser Anleitung genannt sind 2.7 Personenqualifikation Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur Personen ausführen, die die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfahrungen verfügen oder über Pfeiffer Vacuum an entsprechenden Schulungen teilgenommen haben. Personen schulen 1.

  • Seite 21: Mit Pfeiffer Vacuum Weiterbilden

    ─ Kunde mit Pfeiffer Vacuum-Serviceausbildung ─ Pfeiffer Vacuum-Servicetechniker 2.7.3 Mit Pfeiffer Vacuum weiterbilden Für die optimale und störungsfreie Nutzung dieses Produktes bietet Pfeiffer Vacuum ein umfangreiches Angebot an Schulungen und technischen Trainings an. Für weitere Auskünfte wenden Sie sich bitte an die technische Schulung von Pfeiffer Vacuum.

  • Seite 22: Produktbeschreibung

    Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung 3.1 Funktionsbeschreibung Der GSD 350 kann mehrere Gaskomponenten gleichzeitg analysieren. Das zu analysierende Gas ge- langt über eine Druckreduktionsstufe zu dem im Vakuum arbeitenden PrismaPro. Das PrismaPro ioni- siert einen Teil des Gases und trennt und detektiert die verschiedenen Gaskomponenten aufgrund ihres unterschiedlichen Masse/Ladungsverhältnisses.

  • Seite 23: Thermostar

    Produktbeschreibung 3.1.2 ThermoStar Abb. 3: Vakuumschema des ThermoStar 1 Analysator QMA 250 M Turbopumpe 2 Ionenquelle Membranpumpe 3 Rezipientenheizung Abgasanschluss 4 Gaseinlassheizung Flutventil 5 Quarzkapillare mit Heizung Elektronikeinheit QME 250 6 Absperrventil EVI 005 M der Kalibriereinheit Totaldruckmessröhre 7 Kalibriereinheit (optional) 3.1.3 Korrosivgasversion Abb.

  • Seite 24: Abb. 5: Display Mit Bedientasten

    Produktbeschreibung Warn- oder Störungsmeldungen Bei Warn- oder Störungsmeldungen erscheint ein Warndreieck oben rechts im Display und die Taste "Meldungen" ist aktiviert. Das Warndreieck erscheint auf allen Menüseiten. Durch Drücken des Warndreiecks erscheint eine Fehlerbeschreibung. Abb. 5: Display mit Bedientasten 1 Kopfzeile mit Menüname inaktives Bedienfeld im Display (ausgegraut) 2 Warndreieck bei Warn- oder Fehlermedlungen Bedientasten...

  • Seite 25: Aufbau Des Gerätes

    Produktbeschreibung Funktion Beschreibung Filament Die LED leuchtet, wenn das Filament bestromt ist. Purge Die LED leuchtet, wenn Sperrgas angeschlossen ist, und blinkt, wenn die Sperrgasüberwachung überbrückt ist (nur für Servicezwecke). Tab. 7: Status-LED und deren Bedeutung 3.3 Aufbau des Gerätes 3.3.1 Grundgerät Das Grundgerät besteht aus einem Chassis und abnehmbaren Abdeckungen.

  • Seite 26: Anschlussfeld

    Produktbeschreibung Abb. 7: Lüftungsöffnungen an den Seiten des Gerätes 1 Einlass mit Lüfter Auslass mit Lüfter 3.3.2 Anschlussfeld Auf dem Anschlussfeld befinden sich alle Schnittstellen und Anschlüsse des Gerätes. D-35614 Asslar Mod. GSD 350 PT Q80 ... Input Made in Germany 2020/02 Abb.

  • Seite 27: Abb. 9: Gaseinlasssysteme

    Produktbeschreibung Abb. 9: Gaseinlasssysteme 1 Gaseinlass ThermoStar Anschlussflansch 2 Rezipient Gaseinlass OmniStar 3 Turbopumpe Gaseinlassventil 4 Zwischenabsaugung der Turbopumpe Pumpventil Gaseinlasssystem (OmniStar) Bei geöffnetem Gaseinlass strömen 1 bis 2 sccm des zu analysierenden Gases durch die Edelstahlka- pillare zur Ventileinheit. Über die integrierte Druckreduktionsstufe gelangt das Gas entmischungsfrei bis zur Blende.

  • Seite 28: Kalibriereinheit

    PFTBA hat den Nachteil, dass es sehr lange im Untergrundsignal des Gerätes auch nach dem Schließen des Kalibrierventils zu finden ist. Falls das für die geplante Gasanalyse stö- rend ist, empfiehlt Pfeiffer Vacuum den Rezipienten nach einer Kalibrierung mit PFTBA auszuheizen.

  • Seite 29: Sperrgassystem

    Produktbeschreibung 3.3.7 Sperrgassystem Konzentrationen der eingelassenen Gase Für die Berechnung der Toxizität des Abgases kann man davon ausgehen, dass das Sperrgas die Konzentrationen der eingelassenen Gase um einen Faktor > 100 verdünnt. Abb. 12: Sperrgassystem 1 Digitaler Druckschalter mit Druckanzeige Flutventil 2 Sperrgasanschluss Schlauch zum Flutventil 3 Abgasanschluss...

  • Seite 30: Heizungen Und Isolierungen

    Produktbeschreibung Abb. 13: Komponenten der Gasanalyseeinheit 1 Totaldruckmessröhre Turbopumpe 2 Elektronikeinheit QME 250 Zwischenabsaugung der Turbopumpe 3 Heizpatrone im Rezipienten Ionenquelle des Analysators QMA 250 M 4 Sperrgasventil der Korrosivgasversion Rezipient 5 Flutventil 3.3.9 Heizungen und Isolierungen WARNUNG Verbrennungsgefahr an heißen Oberflächen Im Betrieb entstehen an berührbaren Oberflächen der Heizungskomponenten und des Gaseinlasses hohe Temperaturen (>...

  • Seite 31: Abb. 14: Rezipientenheizung Und Isolierung

    Produktbeschreibung Rezipientenheizung (Bakeout) Abb. 14: Rezipientenheizung und Isolierung 1 Isolierung (Winkel) 3 + 4 Heizpatronen des Rezipienten 2 Isolierung des Rezipienten Das Ausheizen reduziert die an der Oberfläche des Rezipienten anhaftenden, kondensierten Gase. Das führt zu einem niedrigeren Totaldruck im Rezipienten und zu einem niedrigeren Untergrundsignal bei Messungen.

  • Seite 32: 10Elektronische Komponenten

    Produktbeschreibung Merkmale der Gaseinlassheizung ● Der Gaseinlass verfügt über eine Heizmatte und eine Gehäuseisolierung aus Silikonschaum. ● Die Gaseinlassheizung schaltet immer parallel zur Kapillarenheizung ein und aus. ● Der GSD 350 passt die Temperatur der Heizmatte automatisch an. Die Temperatur der Heizmatte können Sie nicht einstellen.

  • Seite 33: Produkt Identifizieren

    3. Halten Sie immer alle Angaben des Typenschildes bereit. 3.5 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören die folgenden Teile: ● GSD 350 OmniStar/ThermoStar ● Montage- und Kleinteile ─ Innensechskantschlüssel, SW 2, SW 2,5 und SW 3 ─ Metrische Gabelschlüssel, SW 8, SW 10 (2×) und SW 14 ─...
  • Seite 34 Produktbeschreibung Produkt auspacken und Lieferumfang auf Vollständigkeit prüfen 1. Packen Sie das Produkt aus. 2. Entfernen Sie Transportverschlüsse, Transportsicherungen, etc. 3. Bewahren Sie Transportverschlüsse, Transportsicherungen, etc. auf. 4. Prüfen Sie den Lieferumfang auf Vollständigkeit. 5. Stellen Sie sicher, dass keine Teile beschädigt sind. 34/114...

  • Seite 35: Transport Und Lagerung

    Transport und Lagerung 4 Transport und Lagerung WARNUNG Verletzungsgefahr durch Heben schwerer Lasten Das Produkt ist schwer und wiegt je nach Variante bis zu 26 kg. Wenn nur eine Person das Produkt unsachgemäß hebt, führt dies zu Verletzungen. ► Heben und tragen Sie das Produkt immer beidhändig durch 2 Personen. ►...
  • Seite 36 Transport und Lagerung ► Bewahren Sie elektronische Komponenten in antistatischer Verpackung auf. ► Halten Sie die zulässige Lagertemperatur ein. ► Vermeiden Sie extreme Schwankungen der Umgebungstemperatur. ► Vermeiden Sie hohe Luftfeuchtigkeit. ► Verschließen Sie Anschlüsse mit den original Schutzdeckeln. ► Schützen Sie das Produkt mit den original Transportschutzteilen (sofern vorhanden). 36/114...

  • Seite 37: Installation

    Installation 5 Installation 5.1 Belüftung des Gerätes sicherstellen HINWEIS Beschädigung durch Überhitzung Die Umgebungstemperatur darf die zulässige Betriebstemperatur des Gerätes nicht übersteigen. ► Achten Sie bei der Installation des Gerätes auf eine ungehinderte Luftzirkulation. ► Prüfen und reinigen Sie gegebenenfalls eingebaute Luftfilter periodisch. Vorgehen 1.

  • Seite 38: Abgasschlauch Anschließen

    Installation Vorgehen 1. Gehen Sie beim Zuschneiden des Abgasschlauches behutsam vor. – Der Abgasschlauch darf sich nicht verformen oder Kratzer und Riefen aufweisen. 2. Schneiden Sie den Abgasschlauch gratfrei zu: ● in der benötigten Länge ● im rechten Winkel 5.3.2 Abgasschlauch anschließen Voraussetzung ●...

  • Seite 39: Sperrgasleitung Anschließen

    Installation Vorgehen 1. Gehen Sie beim Zuschneiden des Sperrgasschlauches behutsam vor. – Der Sperrgasschlauch darf sich nicht verformen oder Kratzer und Riefen aufweisen. 2. Schneiden Sie den Sperrgasschlauch gratfrei zu: ● in der benötigten Länge ● im rechten Winkel 5.4.2 Sperrgasleitung anschließen Voraussetzung ●...

  • Seite 40: Edelstahlkapillare Des Omnistar Anschließen

    1. Entfernen Sie das Klebeband von der Edelstahlkapillare. 2. Bringen Sie die Edelstahlkapillare an den Messpunkt an. 3. Verwenden Sie den Kapillarschlauchadapter aus dem Pfeiffer Vacuum Zubehörprogramm. 4. Fixieren Sie den Kapillarschlauch. 5. Klemmen Sie den Kapillarschlauch nur im festen, unflexiblen Bereich am vorderen Ende.

  • Seite 41: Position Des Kapillarschlauches Anpassen

    Um die Orientierung des Kapillarschlauches für bestimmte Anwendungen zu optimieren, kann man den Kapillarschlauch in 3 verschiedene Positionen bringen. Pfeiffer Vacuum liefert den GSD 350 mit dem Kapillarschlauch auf der rechten Seite aus. Auf den beiden nicht verwendeten Positionen befinden sich Blindkappen als Verschluss.

  • Seite 42: Ip-Adressen

    HINWEIS IP-Adressenkonflikte bei Verwendung mehrerer Geräte Pfeiffer Vacuum liefert jeden GSD 350 mit der gleichen Standard-IP-Adresse aus. Wenn Sie mehrere GSD 350-Geräte verbinden möchten, sind deren IP-Adressen zunächst noch nicht eindeutig. Das gleichzeitige Verbinden mehrerer GSD 350-Geräte mit identischer Standard-IP-Adresse führt zu IP- Adressenkonflikten im Netzwerk.

  • Seite 43: Subnetzwerke

    Installation IP-Adressen einstellen ► Empfehlung: Verwenden Sie statische IP-Adressen. – Statische IP-Adressen können Sie manuell setzen und verändern. ► Verwenden Sie keine dynamischen IP-Adressen. – Ein Host (DHCP) setzt diese IP-Adressen automatisch. ► Ändern Sie alternativ zur IP-Adresse des Gerätes die IP-Adresse des Host-Computers, um die Kommunikation zwischen dem Host-Computer und dem Gerät zu ermöglichen.

  • Seite 44: Funktionserdung Anschließen

    Installation Vorgehen 1. Klicken Sie in der Taskleiste auf Start. 2. Klicken Sie auf Einstellungen. – Das Einstellungsfenster öffnet sich. 3. Klicken Sie auf Netzwerk und Internet. 4. Klicken Sie auf WLAN. 5. Wählen Sie Bekannte Netzwerke verwalten aus. 6. Wählen Sie das Netzwerk aus, für das Sie die Einstellungen ändern möchten. 7.

  • Seite 45: Netzanschluss Herstellen

    Installation D-35614 Asslar Mod. GSD 350 PT Q80 ... Input Made in Germany 2020/02 Abb. 26: Anschluss zur Funktionserdung 1 Anschluss zur Funktionserdung (Schraube M5) Vorgehen ► Verbinden Sie das Gerät bei Bedarf mit der Schraube M5 über einen Schutzleiter, zum Beispiel mit der Referenzmasse einer Anlage.
  • Seite 46 Installation Betriebsanleitung zu Web-Interface und PV MassSpec Informationen zum Betrieb des GSD 350 über das Web-Interface und über PV MassSpec finden Sie in der separaten Betriebsanleitung mit der Dokumentennummer DA 0106. 46/114...

  • Seite 47: Schnittstellen Und Anschlüsse

    Externe Störeinflüsse durch elektromagnetische Emissionen verursachen Fehlfunktionen des Gerä- tes und führen zu Sachschäden. Pfeiffer Vacuum empfiehlt unbedingt die Verdrahtung der Analogeingänge (+) und (-) mit verdrillten Zweidrahtleitungen (Twisted-Pair-Kabel). ► Verwenden Sie aufgrund der elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV) ein abgeschirmtes Ka- bel.

  • Seite 48: Abb. 29: Anschluss "User I/O

    Schnittstellen und Anschlüsse mit der PV MassSpec-Software können Sie den Zustand dieses digitalen Eingangs ansehen oder zur Rezept- und Sequenzsteuerung einsetzen. ● Gesamtzahl der Kanäle: 1 ● Anschluss "USER I/O": DI1 Relaisausgang Den Relaisausgang (24 V Wechselstrom/Gleichstrom, 1 A) können Sie über den digitalen Ausgang DO8 einstellen.

  • Seite 49: Anschluss "Aux I/O

    Externe Störeinflüsse durch elektromagnetische Emissionen verursachen Fehlfunktionen des Gerä- tes und führen zu Sachschäden. Pfeiffer Vacuum empfiehlt unbedingt die Verdrahtung der Analogeingänge (+) und (-) mit verdrillten Zweidrahtleitungen (Twisted-Pair-Kabel). ► Verwenden Sie aufgrund der elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV) ein abgeschirmtes Ka- bel.

  • Seite 50: Anschluss "Ethernet" (Lan)

    Schnittstellen und Anschlüsse Abb. 30: Anschluss "AUX I/O" Analogausgang AO2 Analogausgang AO3 Analogmasse Digitalmasse Analogeingang AI3 (-) Analogeingang AI3 (+) Analogeingang AI4 (-) Analogeingang AI4 (+) Analogeingang AI5 (-) Analogeingang AI5 (+) Analogmasse Digitalmasse Digitaleingang DI13 Digitaleingang DI14 Digitaleingang DI15 Digitalmasse 24 V Digitalausgang DO2...

  • Seite 51: Inbetriebnahme

    Inbetriebnahme 7 Inbetriebnahme HINWEIS Starke Erschütterungen beschädigen die Turbopumpe Starke Erschütterungen und Schwingungen beim Betrieb und nach dem Abschalten beschädigen die Turbopumpe. ► Vermeiden Sie Erschütterungen und Schwingungen im Betrieb, zum Beispiel durch Fahren über Kabel und Türschwellen. ► Vermeiden Sie Erschütterungen bis zu 5 Minuten nach Abschalten des Systems. 7.1 Gerät einschalten Abb.

  • Seite 52: Abb. 33: Bildschirm "Steuerung

    Inbetriebnahme Abb. 33: Bildschirm "Steuerung" Vakuumsystem abpumpen 1. Wechseln Sie in den Bildschirm "Steuerung". 2. Drücken Sie auf die Taste "Abpumpen" (siehe Kapitel “Vakuumsystem abpumpen”, Seite 63). Das Gerät ist messbereit. 52/114...

  • Seite 53: Betrieb Über Das Display

    Betrieb über das Display 8 Betrieb über das Display Betriebsanleitung zu Web-Interface und PV MassSpec Informationen zum Betrieb des GSD 350 über das Web-Interface und über PV MassSpec finden Sie in der separaten Betriebsanleitung mit der Dokumentennummer DA 0106. Die Bedienung des GSD 350 ist über das Display oder alternativ über das Web-Interface möglich. Bei Varianten ohne Display erfolgt die Bedienung über das Web-Interface.

  • Seite 54: Menüstruktur Mit Funktionen

    Betrieb über das Display Abb. 34: Bildschirm "Dashboard" 1 aktueller Druckwert im Rezipienten Status der Heizungen 2 Warndreieck Status des Vakuumsystems 3 Status des Systems Link zur Startseite 8.1.1 Menüstruktur mit Funktionen Menü Unterprogramme, Funktionen und Informationen 1. Ebene 2. Ebene Info Vakuumpumpen Membranpumpe...

  • Seite 55: Menü "Info

    Betrieb über das Display Menü Unterprogramme, Funktionen und Informationen 1. Ebene 2. Ebene Einstellungen Rezepte Neues Rezept erstellen (siehe Seite 56) Defaultrezepte für Luft Heizungen Kapillarenheizung Gaseinlassheizung Rezipientenheizung Sensoren Massenspektrometer Totaldruckmessröhre Sperrgassensor Sprache Deutsch Englisch Autostart Vakuum Heizung Gaseinlass Netzwerk IP-Adresse Netzmaske Gateway...

  • Seite 56: Menü "Einstellungen

    Unsachgemäße Änderungen im Service-Menü beeinträchtigen Gerätefunktionen und führen zu Schäden am Gerät und dessen Komponenten. Das Verwenden des Service-Menüs ist nur vom Pfeiffer Vacuum Service zu verwenden und nur über ein Login aufzurufen. ► Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service.

  • Seite 57: Messrezepte Erstellen Und Bearbeiten

    Betrieb über das Display Parameter per Schalter umschalten 1. Scrollen Sie zum gewünschten Parameter. 2. Drücken Sie auf das Schaltersymbol, um den Schalter umzuschalten. 3. Drücken Sie auf die Taste "Speichern", um die Änderungen zu übernehmen. oder Drücken Sie auf die Taste "Zurück", um die Änderungen zu verwerfen. 4.

  • Seite 58: Abb. 37: Messrezept Für Messmodus "Spectrum Scan

    Betrieb über das Display Abb. 37: Messrezept für Messmodus "Spectrum Scan" Messrezept für Messmodus "Spectrum Scan" bearbeiten 1. Drücken Sie auf die Taste "Neues Rezept". 2. Geben Sie einen Namen für das Messrezept ein. 3. Stellen Sie den Messmodus "Spectrum Scan" ein. 4.

  • Seite 59: Heizungen Einstellen

    Betrieb über das Display Messrezept für Messmodus "Selected Masses" bearbeiten 1. Drücken Sie auf die Taste "Neues Rezept". 2. Geben Sie einen Namen für das Messrezept ein. 3. Stellen Sie den Messmodus "Selected Masses" ein. 4. Legen Sie die Messzeit für eine Masse fest (dwell). 5.

  • Seite 60: Sprache Einstellen

    Betrieb über das Display Sensoren ● Massenspektrometer Filament auswählen ● Totaldruckmessröhre Sensor an/aus und Sensorfehler ignorieren ● Sperrgassensor (nur bei Korrosivgasvariante) Sensorfehler ignorieren Empfehlungen für die Totaldruckmessröhre ► Lassen Sie die Totaldruckmessröhre zum Schutz von Filamenten und Vakuumpumpen des GSD 350 nach Möglichkeit immer eingeschaltet.

  • Seite 61: Netzwerkparameter Einstellen

    Betrieb über das Display Im Untermenü "Autostart" lässt sich festlegen, welche Funktionen der GSD 350 nach dem Einschalten automatisch startet. Autostartfunktionen ● Vakuum Vakuumpumpen starten ● Heizung Kapillarenheizung auf den Sollwert aufheizen ● Einlass Einlassventil (V1) öffnen (nur bei OmniStar) Notwendiges Vakuum im Rezipienten Die Autostartfunktionen "Heizung"...

  • Seite 62: Gsd-Systemparameter Einstellen

    Unsachgemäße Änderungen im Service-Menü beeinträchtigen Gerätefunktionen und führen zu Schäden am Gerät und dessen Komponenten. Das Verwenden des Service-Menüs ist nur vom Pfeiffer Vacuum Service zu verwenden und nur über ein Login aufzurufen. ► Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service.

  • Seite 63: Menü "Meldungen

    Betrieb über das Display ● Vakuumpumpen ● Sensoren ● Ventile ● Heizungen ● GSD ● Lüfter 8.4 Menü "Meldungen" Das Menü "Meldungen" zeigt aktuelle Warnhinweise und Fehlermeldungen des Gerätes an. Warnhinweise und Fehlermeldungen aufrufen ► Wechseln Sie in das Menü "Meldungen" oder drücken Sie auf das Warndreieck. –...

  • Seite 64: Vakuumsystem Belüften

    Betrieb über das Display Vorgehen 1. Wechseln Sie in das Menü "Steuerung". 2. Drücken Sie die Taste "Abpumpen". Abfolge ● Der GSD 350 geht vom Zustand „Belüftet“ in den Zustand „Abpumpen“ über. ● Das Flutventil schließt. ● Die Membranpumpe startet und evakuiert das Vakuumsystem. ●...

  • Seite 65: Rezipienten Ausheizen

    Betrieb über das Display Gaseinlass öffnen 1. Wechseln Sie in das Menü "Steuerung". 2. Drücken Sie die Taste "Einlassventil öffnen". Abfolge beim Öffnen ● Das Pumpventil V2 öffnet und schließt mehrmals kurz in einem festgelegten Intervall um unzuläs- sige Druckstöße zu vermeiden. ●...

  • Seite 66: Elektronenvervielfacher Ein- Und Ausschalten

    Betrieb über das Display Emission einschalten 1. Wechseln Sie in das Menü "Steuerung". 2. Drücken Sie die Taste "Emission an". Abfolge beim Einschalten ● Der GSD 350 schaltet die Emission des Filaments ein. ● Der GSD 350 hält den Emissionsstrom des eingeschalteten Filaments konstant und überwacht diesen ständig.

  • Seite 67: Menü "Messung

    Betrieb über das Display 8.6 Menü "Messung" Abhängig vom Betriebszustand des Gerätes bietet das Menü folgende Funktionen: ● vorhandene Messrezepte aufrufen und starten ● Im Auslieferungszustand: Massenscan (Default SCAN AIR / Spectrum Scan) oder Messung ein- zelner Massen (Default Selected Masses Air / Selected Masses) Messung starten 1.

  • Seite 68: Außerbetriebnahme

    Außerbetriebnahme 9 Außerbetriebnahme HINWEIS Starke Erschütterungen beschädigen die Turbopumpe Starke Erschütterungen und Schwingungen beim Betrieb und nach dem Abschalten beschädigen die Turbopumpe. ► Vermeiden Sie Erschütterungen und Schwingungen im Betrieb, zum Beispiel durch Fahren über Kabel und Türschwellen. ► Vermeiden Sie Erschütterungen bis zu 5 Minuten nach Abschalten des Systems. HINWEIS Sachschäden durch Unterbrechung der Versorgungsspannung während des Betriebs Ziehen des Netzsteckers oder Ausschalten des Hauptschalters während des Betriebs belastet das...

  • Seite 69: Wartung

    Für die Durchführung von Wartungsarbeiten von Wartung Level 2 und Wartung Level 3 (Revision) empfehlen wir den Pfeiffer Vacuum Service. Bei Überschreiten der erforderlichen, unten aufgeführten Intervalle oder bei unsachgemäß ausgeführten Wartungsarbeiten, entfallen jegliche Gewährleistungs- und Haftungsansprüche gegenüber Pfeiffer Vacuum. Dies gilt auch, wenn Sie keine originalen Ersatz- teile verwenden. Baugruppe...
  • Seite 70 Wartung Baugruppe Intervall Wartung Ersatzteil / Wartungs- Beschreibung Level satz und Tätigkeit Hochvakuumsystem Kupferdichtung der Flanschver- immer wenn CF- 490DFL040-S-S5 bindung DN 40 CF austau- Flanschverbindung schen geöffnet wird Betriebsmittelspeicher der Tur- 4 Jahre PM 143 740 -T (siehe Seite 75) bopumpe wechseln Siehe zusätzlich Betriebs- anleitung der Turbopum-...

  • Seite 71: Grundgerät Warten

    Wartung Baugruppe Intervall Wartung Ersatzteil / Wartungs- Beschreibung Level satz und Tätigkeit Quarzkapillare austauschen wenn verstopft B1975082EC (siehe Seite 91) PT 167 015 -T Elektronische Komponenten Display austauschen bei Defekt PT 167 025 (siehe Seite 92) Kalibriereinheit (Option) Kalibriermedium (PFTBA) nach- bei Bedarf PT 167 031 (siehe Seite 94)

  • Seite 72: 2Seitenabdeckungen Entfernen/Anbringen

    Wartung Voraussetzungen ● GSD 350 ausgeschaltet ● Netzkabel abgezogen Benötigtes Werkzeug ● Innensechskantschlüssel, SW 2 Gaseinlassabdeckung entfernen 1. Lösen Sie die Innensechskantschrauben der Gaseinlassabdeckung vom Chassis. 2. Nehmen Sie die Gaseinlassabdeckung vorsichtig nach vorne ab. – Achten Sie auf die Isolierung. Gaseinlassabdeckung anbringen 1.

  • Seite 73: 3Gehäuseabdeckung Entfernen/Anbringen

    ► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen. ► Schalten Sie das Gerät nicht ein wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. ► Trennen Sie das Gerät vor dem Reinigen immer von der Stromversorgung.

  • Seite 74: 5Schutzgitter Der Lüfter Reinigen

    ► Betreiben Sie das Gerät entfernt von Flüssigkeiten und Feuchtigkeitsquellen. ► Sehen Sie spezielle Maßnahmen vor, falls Tropfwasser zu befürchten ist. ► Schalten Sie das Gerät nicht ein wenn Flüssigkeit eingedrungen ist, sondern kontaktieren Sie das Pfeiffer Vacuum Service Center. HINWEIS Beschädigung durch ungeeignete Reinigungsmittel Ungeeignete Reinigungsmittel beschädigen das Produkt.

  • Seite 75: Hochvakuumsystem Warten

    Wartung Voraussetzungen ● GSD 350 ausgeschaltet ● Netzkabel abgezogen ● Seitenabdeckungen entfernt Benötigtes Gerät ● Staubsauger Vorgehen 1. Reinigen Sie das Schutzgitter, sobald Sie einen deutlich sichtbaren Belag erkennen und bevor die Luftzirkulation nicht mehr ausreicht. 2. Entfernen Sie den Staub mit einem Staubsauger aus dem Schutzgitter. 10.3 Hochvakuumsystem warten 10.3.1 Betriebsmittelspeicher der Turbopumpe austauschen Voraussetzungen...

  • Seite 76: 2Flutventil Austauschen

    Wartung 10.3.2 Flutventil austauschen Der Austausch erfolgt duch den Pfeiffer Vacuum Service. ► Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. 10.4 Vorvakuumsystem warten 10.4.1 Membranpumpe austauschen Voraussetzungen ● GSD 350 ausgeschaltet ● Netzkabel abgezogen ● Turbopumpe im Stillstand ● Seitenabdeckungen entfernt ● Gehäuseabdeckung entfernt Benötigte Werkzeuge...

  • Seite 77: 2Membranen Der Membranpumpe Austauschen

    Wartung Abb. 51: Abgas- und Ansaugschlauch anschließen und abziehen 1 Lösering Schlauch Membranpumpe ausbauen 1. Setzen die RS485-Adresse der neuen Membranpumpe mit Hilfe eines aktuellen DCU 110/180/310 mit entsprechendem Verbindungskabel auf den Wert "10". 2. Drücken Sie den Lösering des Abgasanschlusses der Membranpumpe auf beiden Seiten gleich fest herunter, um die Haltekrallen gleichmäßig zu öffnen und Kratzer auf dem Abgasschlauch zu verhindern.

  • Seite 78: Gasanalyseeinheit Warten

    Wartung Vorgehen 1. Tauschen Sie die Membranen und Ventile spätestens nach 15.000 Betriebsstunden aus. 2. Tauschen Sie die Membranen und Ventile gemäß der Betriebsanleitung zur Membranpumpe aus. 10.5 Gasanalyseeinheit warten 10.5.1 Analysator QMA 250 M warten HINWEIS Beeinträchtigung durch Verunreinigungen und Beschädigungen Das Berühren von Geräten oder Komponenten mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate und führt zu Fehlmessungen.

  • Seite 79: Tab. 13: Ermittelte Empfindlichkeit Des Prismapro

    Wenn Sie einen Verlust der Messempfindlichkeit feststellen, kann die Ursache eine nachlassende Ver- stärkung des eingebauten Elektronenvervielfachers (EM) oder eine Verschmutzung der Ionenquelle sein. In solch einem Fall empfiehlt Pfeiffer Vacuum, die Empfindlichkeit des PrismaPro mit abgeschalte- tem Elektronenvervielfacher, also nur mit dem Faraday-Detektor, zu bestimmen.

  • Seite 80: 2Totaldruckmessröhre Warten

    Wartung 7. Setzen Sie den Analysator mit einer neuen versilberten Kupferdichtung in den Rezipienten ein. – Achten Sie auf die korrekte Position der Nut des Analysators ("9-Uhr-Position") am Durchfüh- rungsflansch. 8. Setzen Sie die Elektronikeinheit auf den Analysator. – Die Nut des Analysators muss in die Lasche der Elektronikeinheit greifen. 9.

  • Seite 81: Gaseinlasssystem Des Omnistar Warten

    ► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch. Edelstahlkapillare zunächst kürzen oder austauschen Pfeiffer Vacuum empfiehlt zunächst die Edelstahlkapillare zu kürzen oder auszutauschen und erst dann die Blende zu tauschen, wenn die Arbeiten an der Edelstahlkapillare nicht den gewünschten Erfolg gebracht haben.

  • Seite 82: 1Gaseinlass Demontieren

    Wartung 10.6.1 Gaseinlass demontieren HINWEIS Zerstörung der Turbopumpe durch unvollständige innere Gasführung Fehlt die Keramikhülse, die Druckfeder oder einer der beiden O-Ringe der inneren Gasführung führt die Inbetriebnahme des GSD 350 zur Zerstörung der Turbopumpe. ► Kontrollieren Sie die Vollständigkeit der inneren Gasführung. ►...

  • Seite 83: 2Blende Austauschen

    Wartung 10.6.2 Blende austauschen Voraussetzungen ● GSD 350 ausgeschaltet ● Netzkabel abgezogen ● Turbopumpe im Stillstand ● Gaseinlass demontiert Benötigtes Werkzeug ● Spezialwerkzeug für die Blende des Gaseinlasssystems Benötigtes Ersatzteil ● Blende, 50 μm (Bestellnummer BK212576) Vorgehen 1. Schrauben Sie die Gasführung aus dem Ventilblock heraus. 2.

  • Seite 84: Gaseinlasssystem Des Thermostar Warten

    ► Führen Sie alle Arbeiten in einem gut beleuchteten Bereich durch. Quarzkapillare zunächst kürzen oder austauschen Pfeiffer Vacuum empfiehlt zunächst die Quarzkapillare zu kürzen oder auszutauschen und erst dann die Blende zu tauschen, wenn die Arbeiten an der Quarzkapillare nicht den ge- wünschten Erfolg gebracht haben.

  • Seite 85: 1Gaseinlass Demontieren

    Wartung Abb. 57: Teile der inneren Gasführung 1 Keramikhülse Blende 2 Druckfeder O-Ring, innen 3 Gasführung O-Ring, außen 10.7.1 Gaseinlass demontieren HINWEIS Zerstörung der Turbopumpe durch unvollständige innere Gasführung Fehlt die Keramikhülse, die Druckfeder oder einer der beiden O-Ringe der inneren Gasführung führt die Inbetriebnahme des GSD 350 zur Zerstörung der Turbopumpe.

  • Seite 86: 2Blende Austauschen

    Wartung Abb. 58: Gaseinlass demontieren 1 Senkschraube Befestigungsmutter 2 Gaseinlassflansch Federring (2×) 3 Federring Innensechskantschraube (2×) 4 Temperaturfühler Vorgehen 1. Entfernen Sie die Isoliermanschette vom Gaseinlassgehäuse. 2. Ziehen Sie die Quarzkapillare im Gaseinlassgehäuse etwas aus dem Kapillarschlauch heraus. – Falls das nicht möglich ist: Öffnen Sie die Kapillarverschraubung am Gaseinlassflansch. Zie- hen Sie die Quarzkapillare dort heraus.

  • Seite 87: 3Innere Gasführung Mit Blende Austauschen

    Wartung 10.7.3 Innere Gasführung mit Blende austauschen Voraussetzungen ● GSD 350 ausgeschaltet ● Netzkabel abgezogen ● Turbopumpe im Stillstand ● Gaseinlass demontiert Benötigtes Werkzeug ● Spezialwerkzeug für die Blende des Gaseinlasssystems Benötigte Ersatzteile ● Ersatzteilsatz (Bestellnummer PT 167 014 -T) Vorgehen 1.

  • Seite 88: Kapillare Warten

    Wartung 10.8 Kapillare warten Kapillare kürzen oder auszutauschen Pfeiffer Vacuum empfiehlt zunächst die Kapillare zu kürzen oder auszutauschen und erst dann die Blende zu tauschen, wenn die Arbeiten an der Kapillare nicht den gewünschten Erfolg gebracht haben. Stellt sich im GSD 350 nicht der erwartete Totaldruck ein, sondern bleibt der Totaldruck auch bei geö- ffnetem Gaseinlass (OmniStar) bei <...

  • Seite 89: 2Edelstahlkapillare Austauschen

    Wartung Edelstahlkapillare mit der Feile kürzen 1. Ziehen Sie die Edelstahlkapillare genügend weit aus dem Kapillarschlauch heraus. 2. Kerben Sie die Edelstahlkapillare vorsichtig an zwei gegenüberliegenden Stellen ein. – Einkerbungen = max. 0,5 mm tief 3. Biegen Sie die Edelstahlkapillare vorsichtig, bis sie an den Einkerbungen bricht. Gerät in Betrieb nehmen 1.

  • Seite 90: 3Quarzkapillare Kürzen

    Wartung Vorgehen 1. Schneiden Sie die Länge der Edelstahlkapillare zu (siehe Kapitel “Edelstahlkapillare kürzen”, Sei- 88). – Kapillarlänge = Länge des Kapillarschlauches + 15 cm + benötigte Länge an der Mess- stelle 2. Entfernen Sie die Isoliermanschette vom Gaseinlassgehäuse. 3. Öffnen Sie die Klemmringverschraubung. 4.

  • Seite 91: 4Quarzkapillare Austauschen

    Wartung Gerät in Betrieb nehmen 1. Starten Sie das Pumpsystem. 2. Warten Sie die Hochlaufzeit der Turbopumpe ab (ca. 10 Minuten). Druck im Rezipienten prüfen 1. Überprüfen Sie den Druck im Rezipienten. – Der angezeigte Druck muss ≥ 1 × 10 hPa sein.

  • Seite 92: Heizungen Warten

    ► Bringen Sie einen Warnhinweis an. ► Stellen Sie sicher, dass das Produkt abgekühlt ist, bevor Sie Arbeiten durchführen. ► Tragen Sie Schutzhandschuhe (gemäß EN 420). 10.9.1 Kapillarschlauch austauschen Der Austausch erfolgt duch den Pfeiffer Vacuum Service. ► Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service.

  • Seite 93: Poe-Injektor Austauschen

    6. Setzen Sie das Display in den GSD 350 ein. Während des Hochlaufs gleicht der GSD 350 das Display automatisch auf die Konfiguration des GSD 350 ab. 10.10.2 PoE-Injektor austauschen Der Austausch erfolgt duch den Pfeiffer Vacuum Service. ► Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service.

  • Seite 94: Kalibriereinheit Warten

    4. Montieren Sie das Glas-Vorratsgefäß am Absperrventil. – Achten Sie auf die Dichrung und die Blende. 5. Befestigen Sie die Verschraubung über dem Glas-Vorratsgefäß von Hand. 10.11.2 Kalibrierventil austauschen Der Austausch erfolgt duch den Pfeiffer Vacuum Service. ► Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service.

  • Seite 95: Manuellen Druckregler Austauschen

    8. Stecken Sie den Anschlussstecker auf das Sperrgasventil. 9. Befestigen Sie die Sicherungsschraube des Anschlusssteckers. 10. Schließen Sie die Sperrgaszuführung an das Sperrgasventil an. 10.12.2 Manuellen Druckregler austauschen Voreinstellung des Druckreglers Ändern Sie nicht die Voreinstellung. Pfeiffer Vacuum hat den Druckregler werkseitig vorein- gestellt. 95/114...

  • Seite 96: Digitalen Druckregler Austauschen

    ► Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service. 10.12.3 Digitalen Druckregler austauschen Voreinstellung des Druckreglers Ändern Sie nicht die Voreinstellung. Pfeiffer Vacuum hat den Druckregler werkseitig vorein- gestellt. Der Austausch erfolgt duch den Pfeiffer Vacuum Service. ► Kontaktieren Sie den Pfeiffer Vacuum Service.

  • Seite 97: Fehlerbehebung

    Fehlerbehebung 11 Fehlerbehebung Hinweise zur Fehlerbehebung in den Hilfe-Menüs Weitere Hinweise zur Fehlerbehebung und zu Fehlermeldungen beim Betrieb des Gerätes über das Web-Interface oder beim Verwenden der PV MassSpec-Software finden Sie in den entsprechenden Hilfe-Menüs. Problem Mögliche Ursache Behebung Nach dem Einschalten bleibt das Display Keine Versorgungs- Überprüfen Sie den Netzan- dunkel.
  • Seite 98 Fehlerbehebung Problem Mögliche Ursache Behebung Nach dem Steuerungsbefehl "Abpumpen" Hochlaufzeit der Warten Sie die Hochlaufzeit von erreicht die Turbopumpe nicht die Nenn- Turbopumpe noch < 8 Minuten ab. drehzahl (Symbol bleibt dunkelgrün). nicht beendet Einlassdruck zu Reduzieren Sie den Druck auf hoch (nur bei Ther- der Einlassseite der Kapillare auf moStar)
  • Seite 99 Fehlerbehebung Problem Mögliche Ursache Behebung Druck im Rezipienten ist bei geschlosse- System noch nicht Pumpen Sie weiter ab. lange im Betrieb nem Gaseinlassventil > 1 × 10 hPa (nur bei OmniStar). Feuchtigkeitsgehalt Heizen Sie den Rezipienten aus. im Vakuumsystem zu hoch Einlassvetil undicht Tauschen Sie den Ventilblock aus.

  • Seite 100: Tab. 14: Fehlerbehebung

    Fehlerbehebung Problem Mögliche Ursache Behebung Keine Massenpeaks beim Kalibrieren der Empfindlichkeit des Siehe Betriebsanleitung zu Pris- Massenskala im Bereich > 200 u zu se- PrismaPro zu ge- maPro. hen (bei Variante mit Kalibriereinheit) ring Vorrat an Kalibrier- Füllen Sie Kalibriermedium nach. medium zu gering Absperrventil der Überprüfen Sie die Steckverbin-...

  • Seite 101: Versand

    Sicherheit und die Gesundheit des Servicepersonals. ► Halten Sie die Hinweise für den sicheren Versand ein. Kostenpflichtige Dekontamination Pfeiffer Vacuum dekontaminiert nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Pro- dukte kostenpflichtig. Hinweise für den sicheren Versand ► Senden Sie mikrobiologisch, explosiv oder radioaktiv kontaminierte Produkte nicht ein.

  • Seite 102: Recycling Und Entsorgung

    Schutz von Umwelt und Personen betreffenden Vorschriften er- folgen, um die Verschwendung von Naturressourcen zu reduzieren und Verschmutzungen zu verhindern. 13.1 Allgemeine Entsorgungshinweise Pfeiffer Vacuum Produkte enthalten Werkstoffe, die Sie recyclen müssen. ► Entsorgen Sie unsere Produkte nach Beschaffenheit als – Eisen – Aluminium –...

  • Seite 103: Servicelösungen Von Pfeiffer Vacuum

    Wir sind stets darauf bedacht, unsere Kernkompetenz, den Service an Vakuumkomponenten, zu per- fektionieren. Nach dem Kauf eines Produktes von Pfeiffer Vacuum ist unser Service noch lange nicht zu Ende. Oft fängt Service dann erst richtig an. Natürlich in bewährter Pfeiffer Vacuum Qualität.
  • Seite 104 6. Bringen Sie die Erklärung zur Kontaminierung außen an der Verpa- ckung an. ERKLÄRUNG KONTAMINIERUNG 7. Senden Sie nun Ihr Produkt an Ihr lokales Service Center. 8. Sie erhalten eine Rückmeldung/ein Angebot von Pfeiffer Vacuum. Für alle Serviceaufträge gelten unsere Verkaufs- und Lieferbedingungen sowie die Reparatur- und War- tungsbedingungen für Vakuumgeräte und -komponenten.

  • Seite 105: Ersatzteile

    Ersatzteile 15 Ersatzteile Ersatzteile bestellen ► Halten Sie die Artikelnummer und ggf. noch weitere Angaben auf dem Typenschild bereit. ► Setzen Sie nur originale Ersatzteile ein. Bezeichnung Bestellnummer Beschreibung / Lieferumfang Gaseinlass (OmniStar) PT 167 016 -T Flanscheinsatz mit Ventilen, Blende 50 µm, 2 O-Ringen und Gasführung, ohne Edel- stahlkapillare Gaseinlass (ThermoStar)

  • Seite 106: Spezialwerkzeug

    Spezialwerkzeug 16 Spezialwerkzeug Bezeichnung Bestellnummer Verwendung Schlüssel für Gehäusede- PV M40 813 (siehe Kapitel “Betriebsmittelspeicher der Turbopum- ckel pe austauschen”, Seite 75) Tab. 16: Spezialwerkzeug Abb. 67: Schlüssel PV M40 813 für Gehäusedeckel der Turbopumpe 106/114...

  • Seite 107: Zubehör

    Zubehör 17 Zubehör Beachten Sie das Zubehörportfolio für ThermoStar und OmniStar auf unserer Homepage. 17.1 Zubehörinformationen Kapillarschlauchadapter Der Kapillarschlauchadapter dient dem zuverlässigen Anschluss des Kapillarschlauchs. Abb. 68: Kapillarschlauchadapter 17.2 Zubehör bestellen Beschreibung Bestellnummer PT 167 070 -T Kapillarschlauchadapter Tab. 17: Zubehör 107/114...

  • Seite 108: Technische Daten Und Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen 18 Technische Daten und Abmessungen 18.1 Allgemeines mbar Torr | mm Hg mbar 1 · 10 0,75 1000 1000 1 · 10 0,01 0,01 1 · 10 1 · 10 7,5 · 10 0,75 1 · 10 0,01 1000 Torr | mm Hg 1,33...
  • Seite 109 Technische Daten und Abmessungen Ausführung (Massenbereich) 1 bis 100 u 1 bis 200 u 1 bis 300 u Durchmesser OmniStar: AD = 1/16", ID = 0,15 mm ThermoStar: AD 0,23 mm, ID = 0,15 mm Betriebstemperatur der Kapillare 200 °C (350 °C erhältlich) Abgas Zulässiger Druck ≤...

  • Seite 110: Abmessungen

    Technische Daten und Abmessungen Ausführung (Massenbereich) 1 bis 100 u 1 bis 200 u 1 bis 300 u Betriebsbereitschaft nach 10 Minuten Zeit zwischen Ausschalten und Neustart > 10 Sekunden Abschaltzeit 15 Minuten Benutzersteuerung Analoge Eingänge 5× ±10 V, Auflösung 14 und 16 bit Digitale Eingänge 4×...

  • Seite 111: Zertifizierung

    The product GSD 350 OmniStar/ThermoStar - conforms to the UL standards UL 61010-1:2012 R4.16 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use Part 1: General requirements UL 61010-2-010:2014 Safety requirements for electrical equipment for measurement, control and laboratory use...

  • Seite 112: Konformitätserklärung

    Konformitätserklärung Erklärung für Produkt(e) vom Typ: Gasanalysesystem GSD 350 OmniStar GSD 350 ThermoStar Hiermit erklären wir, dass das aufgeführte Produkt allen einschlägigen Bestimmungen folg- ender europäischer Richtlinien entspricht. Elektromagnetische Verträglichkeit 2014/30/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe 2011/65/EU Beschränkung der Verwendung bestimmter gefährlicher Stoffe, delegierte Richtlinie...
  • Seite 113 113/114...

Diese Anleitung auch für:

Gsd 350 thermostar

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