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Pfeiffer Vacuum QMA 125 Betriebsanleitung Seite 32

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6.3.2 Gitter-Ionenquelle
6.3.3 Crossbeam-Ionenquelle
6.4 Demontage und Reini-
gung des Massenfilters
32
Katode abnehmen ( →
Anschlussschraube (h) des Gitters
lösen und Anschlussdraht heraus-
ziehen.
Zur Demontage des Gitters (a) die
Schrauben (f) lösen.
Gitter nicht verbiegen.
Isoliertüllen (i) und Bedampfungs-
schutz (k) entfernen.
Nach Lösen der Schrauben (e) kann
die Grundplatte (d) (Einschuss-
blende) entfernt werden.
Das Gitter kann durch chemisches
Beizen (in verdünnter Salpetersäure
etc.) oder durch Ausheizen im Hoch-
vakuum bei 800...1000° C gereinigt
werden.
Zusammenbau in umgekehrter Rei-
henfolge. Keramikisolation (i) ersetzen.
Katoden ausbauen ( →
Alle anderen Anschlussdrähte eben-
falls lösen.
Die vier Muttern (f) entfernen.
Die Teile werden jetzt eines nach
dem anderen abgehoben
Zusammenbau in umgekehrter Rich-
tung. Dabei ist auf die richtige Ori-
entierung der Isolierringe und Schut-
zkappen zu achten.
Vor dem Festziehen der 4 Muttern (f)
muss die Ionenquelle zentriert wer-
den. Dazu führt man den mit-ge-
lieferten Zentrierbolzen von oben
soweit ein, dass sein Vorderende in
die Eintrittsblende (1 mm Durch-
messer) eingreift. Dabei ist darauf zu
achten, dass die Dünnblechteile,
also auch die Eintrittsblende, nicht
verbogen werden. Während des vor-
sichtigen und gleichmässigen Fest-
ziehens der Muttern ist darauf zu
achten, dass alle Teile richtig inein-
ander einrasten. Nach dem Fest-
ziehen muss sich der Zentrierbolzen
leicht drehen und herausziehen las-
sen. Wenn er klemmt, ist die Zen-
trierung nicht korrekt. Die Fokussier-
Linse (g) zentriert sich normalerwei-
se von allein richtig. Im Zweifelsfall
kann man durch Anlegen eines
Haarlineals kontrollieren, ob ihr äu-
sserer Umfang mit dem der Grund-
platte (h) konzentrisch ist.
39)
f
g
h
i
k
39)
c
e
d
a
b
c
d
e
f
f
BG 805 988 BD 25
(0202)
QMA125.bet

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