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3 Technische Daten
Überdruck
Vakuum
Empfindlichkeit
Ausheizbarkeit
Betriebstemperaturen
Ionenquellen
Massenfilter
14
Zulässiger Überdruck (absolut)
Betriebsdruck
mit Faraday
mit SEV
Kleinster nachweisbarer Partialdruck
ohne SEV
Channeltron
mit 90° off-axis SEV und Zählelek-
tronik
)
1
Empfindlichkeit für Argon
ohne SEV
Channeltron
mit 90° off-axis SEV
Gültig für die Ausführung mit Axialbeam-Ionenquelle und Massenbereich 100.
mit Anschlussgehäuse
ohne Anschlussgehäuse
mit SEV 90°
ohne SEV
Channeltron
Emissionsstrom
Degas
Katoden Anzahl
Katodenmaterialien
Abmessungen
Stabdurchmesser
Stabsystem Länge
Feldradius
Material
Stäbe
Halterung
Einbauöffnung
1)
bei IE = 1 mA, Einheitsauflösung, Axialionenquelle und QME 125-1
2)
Vorsicht: Anschlussgehäuse max 180 °C
≤ 2 bar (absolut)
-4
≤ 1×10
mbar (am Ort der Ionenquelle)
-5
≤ 1×10
mbar (am Ort der Ionenquelle)
-11
3 × 10
mbar
− 14
5 × 10
mbar
− 14
5 × 10
mbar
-
4
2×10
A/mbar
>100 A/mbar
>1000 A/mbar
mit SEV 90° ohne SEV
≤ 180 °C
≤ 400 °C
2)
180 °C
2)
300 °C
2)
100 °C
Axialbeam
"gasdicht"
0.1 ... 1 mA
0.1 ... 1 mA
1
1
Rhenium
Rhenium
Wolfram
Wolfram
Ir yttriert
Ir yttriert
ø6 mm
100 mm
ø2.6 mm
Edelstahl
Glaskeramik
∼ ø30 mm
Channeltron
≤ 180 °C
≤ 180 °C
≤ 300 °C
≤ 400 °C
Gitter
Crossbeam
0.1 ... 1 mA
0.1 ... 1 mA
2 ... 20 mA
2
2
Rhenium
Wolfram
Wolfram
Ir yttriert
BG 805 988 BD 25
(0202)
QMA125.bet
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