Pfeiffer Vacuum RME 005 Betriebsanleitung

Betriebsanleitung
inkl. Herstellererklärung
Regelventil
RME 005
BP 805 057 BD (0004)
Produktidentifikation
Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des Typen-
schildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein:
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Typ:
No:
F-No:
V
Gültigkeit
Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit der Artikel-
nummer PFI39932.
Sie finden die Artikelnummer auf dem Typenschild.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbe-
halten.
Bestimmungsgemässer Gebrauch
Das Regelventil RME 005 dient zusammen mit dem Regel-
gerät RVC 300 oder einem kundeneigenen Regelgerät dem
Regeln von Gasströmen und somit zur Aufrechterhaltung des
gewünschten Druckes in einem Vakuumsystem.
Es dürfen keine Flüssiggase geregelt werden.
Funktion
Das Regelventil RME 005 öffnet und schliesst in Abhängig-
keit der Regelspannung.
Es ist stromlos geschlossen.
Beispiel eines Regelkreises:
Vakuum-
Gaseinlass
system
Regelventil
RME 005
Sicherheit
Verwendete Symbole
GEFAHR
Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher
Art.
WARNUNG
Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt-
schäden.
Hinweis
Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeach-
ten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden
führen.
Personalqualifikation
Fachpersonal
Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen
nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeig-
nete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen
Erfahrungen verfügen oder durch den Betreiber entspre-
chend geschult wurden.
Grundlegende Sicherheitsvermerke
•= Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Pro-
zessmedien die einschlägigen Vorschriften und halten Sie
W
die Schutzmassnahmen ein.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen zwischen Werk-
stoffen und Prozessmedien.
•= Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschlägigen
Vorschriften und Einhaltung der Schutzmassnahmen zu-
lässig. Beachten Sie zudem die in diesem Dokument an-
gegebenen Sicherheitsvermerke.
•= Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine
eventuelle Kontamination. Beachten Sie beim Umgang mit
kontaminierten Teilen die einschlägigen Vorschriften und
halten Sie die Schutzmassnahmen ein.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer
weiter.
Verantwortung und Gewährleistung
Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Ge-
währleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen
•= dieses Dokument missachten
•= das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen
•= am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Ände-
rungen, usw.) vornehmen
•= das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zu-
gehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist.
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten
Prozessmedien liegt beim Betreiber.
Regelgerät
(z.B. RVC 300)
Drucksensor
Vakuumpumpe
Technische Daten
Vakuumanschluss M14×1
Anschlusszubehör
Flanschanschluss DN 10 ISO-KF
Rohranschluss AD ¼"
AD 6 mm
Einbaulage beliebig, vorzugsweise senk-
rechte Lage
Nennweite 1.6 mm
-8
Druckbereich 1×10
-9
Dichtheit 1×10
Gasfluss für Luft bei
-5
Differenzdruck ∆ p = 1 bar 1×10
Ansprechzeit 10 ... 15 ms
(0 ... 90% des Hubs)
Regelspannung 0 ... 24 VDC
Leistung 2 W
Einschaltdauer (ED) 100%
Schutzart IP 51
Temperaturen
Umgebung 5 °C ... 50 °C
1)
Eigenerwärmung
Spule 55 °C
Gehäuse 50 °C
Ausheizen 80 °C (mit stromloser Spule)
Werkstoffe
Gehäuse Edelstahl 1.4301
Ankerteller Edelstahl 1.4510
Führungsrohr Edelstahl 1.4105
Dichtungen FPM
Gewicht 80 g
1)
ED 100% und Umgebung 40 °C
Abmessungen [mm]
2.8 × 0.5
6.5
8 17 8
33
Gasflusskurve
Beispiel einer Gasflusskurve (Mittelwert) bei einem Differenz-
druck ∆ p = 1 bar.
Gasfluss [mbar l/s]
1×10 3
1×10 2
1×10 1
1×10
0
1×10 -1
1×10
-2
1×10 -3
1×10 -4
1×10 -5
Regelventil geschlossen
1×10 -6
6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20
... 2 bar (absolut)
mbar l/s
... 100 mbar l/s
48
21
SW17
Regelventil offen
21 22 23 24 25
Regelspannung [V]