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Statusmeldungen Der Messgeräte; Aktiv-Pirani-Messröhre (Apg); Fehler-/Diagnoseüberwachung Bei Apg-Messröhren - Edwards D39701000 Betriebsanleitung

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4.8.2
Statusmeldungen der Messgeräte
Die Standard-Statusmeldungen werden in
Diagnosemeldungen
Not Connected
Disconnected
New ID
Uknw
4.8.3
Aktiv-Pirani-Messröhre (APG)
Hinweis:
Eine ausführliche Spezifikation und Anweisungen zum Einsatz der Messröhren der Baureihen APG und
APGX sind den entsprechenden Betriebsanleitung (D02171885, D02371880 und D02391880) zu entnehmen.
Die Aktiv-Pirani-Messröhre (APG) ist ein gasabhängiges, nach dem Prinzip der Wärmeleitfähigkeit arbeitendes
Messgerät für den hohen Druckbereich. Der Messbereich der Baureihe APG-M und der korrosionsfesten Baureihe
APG-MP liegt zwischen 100 mbar und 10
-4
10 mbar und 10
mbar (7,5 bis 7,5 x 10
verminderter Genauigkeit an.
Hinweis:
Bei Drücken über 600 mbar ist die Empfindlichkeit geringer, und der Controller zeigt
Atmosphärendruck an.
Hinweis:
Bevor die APG-Messröhre in Betrieb genommen wird und danach in regelmäßigen Abständen, sollte eine
Atmosphärendruck- und Vakuumkalibrierung nach den Anweisungen in der Betriebsanleitung (D02171885,
D02371880 und D02391880) durchgeführt werden.
Die Einstellung für eine APG-Messröhre entspricht dem Standard-Setup, wie oben in
Für APG-Messröhren gibt es keine zusätzlichen Setup-Optionen. (Siehe „Optionen des Standard-Setups (alle
Messgeräte)"
Abschnitt
4.8.1.)
Es gibt keine spezifischen Fehler-/Diagnosemeldungen für APG-Messröhren. (Siehe
Tabelle 13 - Fehler-/Diagnoseüberwachung bei APG-Messröhren
Diagnosemeldungen
Over Range
Under Range
© Edwards Limited 2019. Alle Rechte vorbehalten.
Tabelle 12
erläutert.
Tabelle 12 - Statusmeldungen der Messgeräte
Beschreibung
Gibt an, dass kein Messgerät an den Controller angeschlossen wurde, oder,
wenn ein Kabel angeschlossen wurde, ist an dessen anderem Ende
möglicherweise kein Messgerät angeschlossen.
Die Messröhrenverbindung wurde absichtlich oder versehentlich getrennt.
Gibt an, dass ein neues Messgerät an den Controller angeschlossen wurde. Das
Messgerät wird vom Controller erkannt, muss jedoch vom Anwender bestätigt
werden, bevor der Controller den Betrieb des Messgeräts im System freigibt.
Gibt an, dass das angeschlossene Messgerät vom Controller nicht erkannt
wurde. In diesem Fall zeigt der TIC das Messgerät weiterhin als „Uknw" an und
gibt einen Ausgang nur in Volt an.
-3
mbar (75 bis 7,5 x 10
-5
Torr). Alle Messröhren zeigen Drücke bis 1000 mbar (750 Torr) mit
Beschreibung
(Messröhren-Ausgang >11,000 V)
Zeigt an, dass entweder der gemessene Gasdruck außerhalb des Messbereichs
der Messröhre liegt oder dass bei der Messröhre ein Defekt vorliegt.
Löschen Sie die Fehlermeldung, verringern Sie den Prozessdruck, sodass er
innerhalb des Messbereichs der Messröhre liegt, führen Sie ein „Scroll" zur
Zeile durch, in der die Messröhre angezeigt wird, und drücken Sie „Cycle".
Wenn die Messröhre keinen Druckwert liefert, sollte sie ausgetauscht werden.
Dieser Fehler tritt am häufigsten bei Gasen mit geringem Molekulargewicht
auf, beispielsweise Helium.
(Messröhren-Ausgang <1,800 V)
Zeigt an, dass entweder ein Kalibrierungsfehler vorliegt oder die Messröhre
defekt ist.
Eichen Sie die Messröhre, wie in ihrer Anleitung beschrieben. Wenn der Fehler
weiter besteht, tauschen Sie die Messröhre aus.
-4
Torr); der Messbereich von APG-L liegt zwischen
Abschnitt 4.8.1
Tabelle
D39701882 Issue F
beschrieben.
13).
Seite 23

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Diese Anleitung auch für:

D39702000

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