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Siemens ELMISKOP 101 Bedienungsanleitung Seite 22

Hochleistungs-elektronenmikroskop

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5. lustierung gemäß Punkt 2 bis 4 so lange wiederholen bis der Abstand der Beu-
gungspunkte <I0 mm ist
6. Projektiv-Polschuh einfahren und Zentrierung so lange wiederholen bis der Ab-
stand der Beugungspunkte <etwa 20 mm ist.
8.8. Zentrierung des
1. Feinstrahlfleck mit Projektiv (ohne Polschuh/V = 2600) vergrößern (Kondensor 1
Stigmators im
maximal erregt). Kondensorblende ausfahren
Kondensor
2. Beide Stigmatorpotentiometer (43) auf Mitte stellen
3. Kaustikfigur durch Strahlverschiebung (Einsteller (33b)) in Leuchtschirmmitte brin-
gen.
4. Ein Stigmator-Potentiometer (43) bis zum Anschlag drehen und ausgewanderten
Strahlfleck mit den beiden zugehörigen lustierpotentiometern (42) zurück in Leucht-
schirmmitte bringen. Den gleichen Vorgang am anderen Anschlag des Potentio-
meters (43) wiederholen. Gleiche lustierung beim zweiten Stigmator-Potentio-
meter vornehmen.
5. Projektiv ausschalten. Kondensor 1 wieder auf sechs Rasten erregen. Kondensor-
blende einfahren und zentrieren.
8.9.Zentrierung des
Vorbedingungen: Umpolpunkt und Drehzentrum in Leuchtschirmmitte (Abschnitte
Objektiv-Stigmators
8.3.
und
8. 4.).
1. Etwa 100 OOOfache Vergrößerung einstellen. Lochfolie einschleusen
2. Eines der Stigmatorpotentiometer (34a) auf Null stellen (Kerbe nach oben)
3. Mit dem anderen Potentiometer (34a) Stigmator auf maximale Erregung bringen
(Erkennbar am Umkehrpunkt der Bildbewegung)
4. Beide zugehörige lustierpotentiometer (34b) so einstellen, daß bei abwechseln-
dem Ein- und Austasten der Nulltaste keine Bildbewegung mehr erfolgt. (Die
Nulltaste befindet sich zwischen den beiden Einstellern (34a)).
5.
Gleichen Vorgang mit dem anderen System wiederholen.
C Pflege
und Wartung
9.1. Kathodenwechsel
1. Mikroskopröhre belüften
2. Elektronenstrahler nach hinten kippen (Bild 11); Oberteil rastet ein; oberen seit-
lichen Knopf (119b) herausziehen und Oberteil zur Seite schwenken
3. Anodenraum mit Abdeckplatte abdecken
4. Oberwurfmutter (124) abschrauben, Wehneltzylinder (123) abziehen, Kathode
aus der Fassung herausziehen
5. Neue Kathode einsetzen
6. Gereinigten Wehneltzylinder (123) aufschieben und Oberwurfmutter (124) auf-
schrauben
7.
Bei Bedarf Anode (122) mit Anodenteller (121) ausschrauben (mit Werkzeug
(132)) und reinigen. Zylinder (120) ebenfalls herausheben und reinigen. Einbau
in umgekehrter Reihenfolge vornehmen
8. Oberen seitlichen Knopf (119b) ziehen, dabei Oberteil zurückschwenken bis
zum Einrasten
9. Unteren Knopf (1 19c) ziehen und Oberteil auf Unterteil aufsetzen
10. Mikroskopröhre evakuieren
11. Bei Wiederinbetriebnahme, insbesondere bei Verwendung von Spitzenkathoden,
ist zu empfehlen, den Elektronenstrahler zunächst nach kürzerem Betrieb bei
40 kV und 60 kV, etwa 5 min mit geheizter Kathode bei 80 kV zu betreiben.
Erst dann sollte
-
falls gewünscht
-
auf Betrieb bei 100 kV übergegangen wer-
den. Es wird empfohlen, auf gleiche Weise zu verfahren, wenn die Hochspan-
nung längere Zeit nicht eingeschaltet wurde
12.
Zum leichteren Auffinden des Strahles nach einem Kathodenwechsel ist es
zweckmäßig, den Kreuzschalter (41) für die Kathodenverschiebung zunächst so
zu betätigen, daß die mittleren Schrauben in den Gegenfederbuchsen der Stell-
motoren (60) für die Kathodenverschiebung mit dem Gehäuse der Gegenfedern
bündig abschließen.

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