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Siemens ELMISKOP 101 Bedienungsanleitung Seite 13

Hochleistungs-elektronenmikroskop

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Vorbedingung: Gerät nach Abschnitt 3.1. und 3.2. justieren.
'
3.3. Korrektur des
1. Zwischenlinse (PI) auf Marke "S" des Vergrößerungsanzeigeinstrumentes erregen
Objektiv-Astigmatis-
und Projektiv-Polschuh einfahren (yergrößerung 55 000 : 1).
mus, Kontrolle der
Objektiv-Apertur-
2. Kondensor 2 etwas überfokussieren und Strahlstrom bis auf etwa 10 FA einstellen
blende auf Sauberkeit
(wenn nötig).
3. Beobachtung des Endbild-Leuchtschirms mit der Binokularlupe. Dazu Endbild-
Leuchtschirm bis zur 45'-Raste hochklappen (Stelltrieb
(47))
und Lupe auf den
Schirm scharfstellen. Loch geeigneter Größe (etwa 5 mm
G)
mit Hilfe der Triebe
(82) der Objekttischverstellung in Gesichtsfeld der Lupe bringen.
4. Mit dem Objektiv-Stromeinsteller (28) Objekt scharfstellen. Bei leichter Uber-
fokussierung mittels Objektiv-Feinstromeinsteller sind nun die Fresnelsäume zu
beobachten.
5. Beide Einstellpotentiometer (34a) für den Objektivstigmator so lange abwech-
selnd betätigen, bis die Fresnelsäume beim Fokussieren des Objektivs mittels
Objektiv-Feinstromeinstellers gleichmäßig verschwinden.
6. Aperturblenden auf Sauberkeit prüfen:
Schalter (14) auf "Diffr." schalten.
Mit Stromeinsteller "Diffr."
für Beugung (32) Beugungspunkt scharfstellen. Ob-
jektiv-Aperturblende einfahren und zum Beugungspunkt zentrieren.
Schalter (14) auf Stellung "I" zurückschalten und Astigmatismus kontrollieren.
Der bereits korrigierte Astigmatismus darf sich durch die eingefahrene Apertur-
blende nicht verändert haben. Andernfalls Aperturblenden austauschen.
Anmerkung: Eine Astigmatismusfeinkorrektur ist bei hohen Vergrößerungen auch
an Phasenstrukturen von Objekten möglich.
Die elektronenoptische Vergrößerung Iäßt sich beim ELMISKOP 101 in einem weiten
3.4. Wahl der
Bereich variieren. Dazu werden die drei Abbildungslinsen Objektiv, Zwischenlinse
Vergrößerung
und Projektiv in verschiedener Weise zu einstufiger, zweistufiger oder dreistufiger
(vgl. Tafel 1)
Arbeitsweise kombiniert. Im unteren Bereich lassen sich Vergrößerungen einstellen,
wie sie in der Lichtoptik angewendet werden. Die obere Grenze der Vergrößerung
liegt über 250 000 :
1.
Es lassen sich sowohl fest vorgegebene als auch kontinuier-
lich veränderbare Vergrößerungen einstellen, letztere durch Anderung des Zwischen-
linsenstroms mit Stromeinsteller (31). Der Wahlschalter (14) steht dabei auf Stellung I.
Die Vergrößerung wird am Anzeigeinstrument (15) abgelesen. Dieses hat ent-
sprechend den einstellbaren Vergrößerungsbereichen drei Skalen. Die jeweils zu-
treffende Skale wird durch Aufleuchten einer der Signallampen (13) neben dem Ver-
größerungsanzeigeinstrument angezeigt.
In Schalterstellung II sind Zwischenlinse und Projektiv so miteinander fest gekop-
pelt, daß sich zwei verzeichnungskompensierte Vergrößerungsstufen ergeben, je
nachdem, o b der Projektivpolschuh eingefahren ist oder nicht. P1 ist dann nicht
mehr regelbar. Eine Anzeige am Vergrößerungsanzeigeinstrument (15) erfolgt dabei
nicht. Außerdem Iäßt sich bei einer eingestellten hohen Vergrößerung durch ein-
faches Umschalten auf
"11"
bequem eine kleinere Ubersichtsvergrößerung erzielen,
ohne die ursprüngliche Einstellung zu verändern.
Die einstellbaren Vergrößerungen sind in Tafel 1 zusammengestellt.

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