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10 Technische Daten
Pin
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22
Modellabhängige Belegung des D-Sub-Steckers 25W3 (X = belegt):
Modell
P-545.2C8S
P-545.3C8S
P-545 Nanopositionierer
Signal
Funktion
Bidirektional
Datenleitung für ID-Chip
---
(nicht verbunden)
---
(nicht verbunden)
---
(nicht verbunden)
Eingang
Piezospannung +, Kanal 3
Eingang
Piezospannung +, Kanal 2
Eingang
Piezospannung +, Kanal 1
Eingang
Target-Sensorsignal, Kanal 1
(beweglicher Teil des kapazitiven Sensors)
GND
Schirm von Target-Sensorsignal, Kanal 2
GND
Schirm von Target-Sensorsignal, Kanal 3
---
(nicht verbunden)
---
(nicht verbunden)
---
(nicht verbunden)
---
(nicht verbunden)
---
(nicht verbunden)
Eingang
Piezospannung –, Kanal 3
Eingang
Piezospannung –, Kanal 2
Eingang
Piezospannung –, Kanal 1
GND
Schirm von Target-Sensorsignal, Kanal 1
Piezospannung
Kanal 1
Kanal 2
Pins 10 und
Pins 9 und
21
20
X
X
X
X
PZ272D
Sensorsignal
(Probe / Target / Schirm)
Kanal 3
Kanal 1
Pins 8 und
Pins A3, 11
19
und 22
–
X
X
X
Version: 1.1.0
Kanal 2
Kanal 3
Pins A1, 1
Pins A2, 2
und 12
und 13
X
–
X
X
47
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