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3 Produktbeschreibung
Piezoresistive Dehnungssensoren
Piezoresistive Dehnungssensoren bestehen aus einer dünnen Halbleiterfolie, die auf der
Piezokeramik oder für verbesserte Präzision auf dem Führungssystem eines Flexure-
Positionierers aufgebracht ist. Diese Art der Positionsmessung erfolgt mit Kontakt und indirekt,
da die Position der Bewegungsplattform aus einer Messung am Hebel, an der Führung oder am
Piezostapel abgeleitet wird. Dehnmesssensoren leiten die Positionsinformation aus ihrer
Ausdehnung ab. Vollbrückenschaltungen mit mehreren Dehnmessstreifen je Achse verbessern
die thermische Stabilität.
3.7
Integration des P-545 in Mikroskope
P-545 Positionierer können auf einfache Weise in Mikroskope integriert werden. Hierfür wird
ein P-545 auf einen Kreuztisch M-545 montiert. Weitere Informationen siehe "Optionales
Zubehör" (S. 12) und "P-545 auf Kreuztisch M-545 befestigen" (S. 22).
Abbildung 4:
14
Version: 1.1.0
Positionierer P-545 und Kreuztisch M-545 in einem Mikroskop (Ausschnitt)
1: Obere Brennebene (ca. 3 mm oberhalb der unteren Montagefläche)
2: Untergrenze der Brennebene (ca. 10 mm unterhalb der Obergrenze, abhängig vom
Mikroskop)
3: Mikroskop-Objektiv
PZ272D
P-545 Nanopositionierer
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