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Technische Ausstattung; Picma® Piezoaktoren; Festkörpergelenksführungen; Positionssensoren - PI P-545.2C8S PInano Benutzerhandbuch

Nanopositionierer
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3 Produktbeschreibung
Produktnummer
P-545.C25
P-545.PP3
Eine Gesamtübersicht über das Zubehör finden Sie in unserer Broschüre "Microscope Stage
Configurator" (https://www.physikinstrumente.com/stage-configurator).
 Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst (S. 35).
3.6

Technische Ausstattung

3.6.1
PICMA® Piezoaktoren
P-545-Positionierer werden von PICMA® Piezoaktoren angetrieben. PICMA® Aktoren sind
vollkeramisch isoliert und daher konventionellen Aktoren in Leistung und Lebensdauer weit
überlegen. Der monolithische Piezokeramikblock ist durch die keramische Isolierschicht vor
Luftfeuchtigkeit und gegen Ausfälle durch erhöhten Leckstrom geschützt. Auch unter extremen
Umgebungsbedingungen wird so eine besonders hohe Zuverlässigkeit erreicht. Im Gegensatz zu
motorischen Antrieben gibt es keine rotierenden oder reibenden Teile. Die Piezoaktoren sind
dadurch spiel-, wartungs- und verschleißfrei.
3.6.2
Festkörpergelenksführungen
P-545-Positionierer verfügen über Festkörpergelenksführungen (Flexures) für reibungsfreie
Bewegung und hohe Führungsgenauigkeiten.
Ein Flexure ist ein haft- und gleitreibungsfreies Element, das auf der elastischen Deformation
(Biegung) eines Festkörpers (z. B. Stahl) basiert und völlig ohne rollende oder gleitende Teile
auskommt. Flexureelemente zeigen eine hohe Steifigkeit und Belastbarkeit.
Festkörpergelenksführungen sind wartungs- und verschleißfrei. Sie sind 100 %
vakuumkompatibel, arbeiten in einem weiten Temperaturbereich und benötigen keinerlei
Schmierstoffe.
3.6.3

Positionssensoren

Für den positionsgeregelten Betrieb ist der P-545 je nach Modell (S. 9) entweder mit kapazitiven
Sensoren oder piezoresistiven Dehnungssensoren ausgestattet.
Kapazitive Sensoren
Kapazitive Sensoren messen die Position unmittelbar an der Bewegungsplattform
(Direktmetrologie) und arbeiten berührungslos. Weder Reibung noch Hysterese beeinträchtigen
die Bewegung, wodurch in Kombination mit der hohen Positionsauflösung ausgezeichnete
Linearitätswerte erreicht werden. Kapazitive Sensoren erreichen in Verbindung mit geeigneter
Elektronik die beste Auflösung, Stabilität und Bandbreite.
P-545 Nanopositionierer
Beschreibung
Deckglashalter mit Öffnung für Deckgläser 25 mm × 25 mm, passend für
P-545.SH3
Universalhalterplatte für Zubehör, geeignet für PInano® Piezotische
PZ272D
Version: 1.1.0
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