Technische Daten; Spezifikationen; Datentabelle P-5X7 - PI P-5 7 Serie Benutzerhandbuch

10 Technische Daten

10 Technische Daten
Änderungen vorbehalten. Die aktuellen Produktspezifikationen finden Sie auf der Seite des
Produkts unter www.pi.de (https://www.pi.de).
In diesem Kapitel

Spezifikationen ............................................................................................................................. 37

Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen .......................................................................... 41
Abmessungen............................................................................................................................... 42
Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ............................................................................ 45
Pinbelegung ................................................................................................................................. 45
10.1 Spezifikationen
10.1.1

Datentabelle P-5x7

Bewegen P-517.2CL
Aktive Achsen X, Y
Stellweg in X 100 µm
Stellweg in Y 100 µm
Stellweg in X, ungeregelt 130 µm
Stellweg in Y, ungeregelt 130 µm
Linearitätsabweichung in X 0,03 %
Linearitätsabweichung in Y 0,03 %
Stellweg in Z
Stellweg in Z, ungeregelt
Linearitätsabweichung in Z
Rotationsbereich in θZ
Rotationsbereich in θZ,
ungeregelt
Linearitätsabweichung in θZ
Positionieren P-517.2CL
Integrierter Sensor Kapazitiv,
direkte
Positions-
messung
Systemauflösung in X 1 nm
Systemauflösung in Y 1 nm
Auflösung in X, ungeregelt 0,3 nm
Auflösung in Y, ungeregelt 0,3 nm
Bidirektionale ± 5 nm
Wiederholgenauigkeit in X
Bidirektionale ± 5 nm
Wiederholgenauigkeit in Y
Systemauflösung in Z
Auflösung in Z, ungeregelt
P-5x7/P-5x8 Positionierer
P-517.2CD P-527.2CL P-527.2CD
X, Y X, Y X, Y
100 µm 200 µm 200 µm
100 µm 200 µm 200 µm
130 µm 250 µm 250 µm
130 µm 250 µm 250 µm
0,03 % 0,03 % 0,03 %
0,03 % 0,03 % 0,03 %
P-517.2CD P-527.2CL P-527.2CD
Kapazitiv, Kapazitiv, Kapazitiv,
direkte direkte direkte
Positions- Positions- Positions-
messung messung messung
1 nm 2 nm 2 nm
1 nm 2 nm 2 nm
0,3 nm 0,5 nm 0,5 nm
0,3 nm 0,5 nm 0,5 nm
± 5 nm ± 10 nm ± 10 nm
± 5 nm ± 10 nm ± 10 nm
PZ82D
P-517.3CL P-517.3CD P-527.3CL
X, Y, Z X, Y, Z X, Y, Z
100 µm 100 µm 200 µm
100 µm 100 µm 200 µm
130 µm 130 µm 250 µm
130 µm 130 µm 250 µm
0,03 % 0,03 % 0,03 %
0,03 % 0,03 % 0,03 %
20 µm 20 µm 20 µm
25 µm 25 µm 25 µm
0,03 % 0,03 % 0,03 %
P-517.3CL P-517.3CD P-527.3CL
Kapazitiv, Kapazitiv, Kapazitiv,
direkte direkte direkte
Positions- Positions- Positions-
messung messung messung
1 nm 1 nm 2 nm
1 nm 1 nm 2 nm
0,3 nm 0,3 nm 0,5 nm
0,3 nm 0,3 nm 0,5 nm
± 5 nm ± 5 nm ± 10 nm
± 5 nm ± 5 nm ± 10 nm
0,1 nm 0,1 nm 0,1 nm
0,1 nm 0,1 nm 0,1 nm
Version: 3.2.0
P-527.3CD P-517.RCD P-527.RCD Toleranz
X, Y, Z X, Y, θZ X, Y, θZ
200 µm 100 µm 200 µm
200 µm 100 µm 200 µm
250 µm 130 µm 250 µm
250 µm 130 µm 250 µm
0,03 % 0,03 % 0,03 %
0,03 % 0,03 % 0,03 %
20 µm
25 µm
0,03 %
1 mrad 2 mrad
2,6 mrad 5 mrad
0,15 % 0,15 %
P-527.3CD P-517.RCD P-527.RCD Toleranz
Kapazitiv, Kapazitiv, Kapazitiv,
direkte indirekte indirekte
Positions- Positions- Positions-
messung messung messung
2 nm 1 nm 2 nm
2 nm 1 nm 2 nm
0,5 nm 0,3 nm 0,5 nm
0,5 nm 0,3 nm 0,5 nm
± 10 nm ± 5 nm ± 10 nm
± 10 nm ± 5 nm ± 10 nm
0,1 nm
0,1 nm
±20 %
±20 %
typ.
typ.
±20 %
typ.
±20 %
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
typ.
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