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10 Technische Daten
10
Technische Daten
Änderungen vorbehalten. Die aktuellen Produktspezifikationen finden Sie auf der Seite des
Produkts unter www.pi.de (https://www.pi.de).
In diesem Kapitel
Spezifikationen ............................................................................................................................. 33
Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen .......................................................................... 35
Abmessungen............................................................................................................................... 36
Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ............................................................................ 36
Pinbelegung ................................................................................................................................. 37
10.1
Spezifikationen
10.1.1
Datentabelle
Aktive Achsen
Bewegung und Positionieren
Integrierter Sensor
Stellweg in X, Y, geregelt
Stellweg in Z, geregelt
Kippwinkel in θ
Kippwinkel in θ
Auflösung in X, Y, ungeregelt / geregelt
Auflösung in Z, ungeregelt / geregelt
Auflösung in θ
Auflösung in θ
Linearitätsabweichung in X, Y, Z
Linearitätsabweichung in θ
Wiederholgenauigkeit in X, Y
Wiederholgenauigkeit in Z
Wiederholgenauigkeit in θ
Wiederholgenauigkeit in θ
Ebenheit
P-587 Positionierer
, θ
, geregelt
X
Y
, geregelt
Z
, θ
, ungeregelt / geregelt
X
Y
, ungeregelt / geregelt
Z
, θ
, θ
X
Y
Z
, θ
X
Y
Z
P-587.6CD
X, Y, Z, θ
, θ
, θ
X
Y
Z
Kapazitiv
800
200
±0,5
±0,5
0,9 / 2,2
0,4 / 0,7
0,05 / 0,1
0,1 / 0,3
0,01
0,1
±3
±2
±0,1
±0,15
<15
PZ251D
Einheit
Toleranz
µm
µm
mrad
mrad
nm
typ.
nm
typ.
µrad
typ.
µrad
typ.
%
typ.
%
typ.
nm
typ.
nm
typ.
µrad
typ.
µrad
typ.
nm
typ.
Version: 1.1.0
33
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