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10 Technische Daten
10.1.2
Datentabelle P-5x8
Bewegen
P-558.ZCD
Aktive Achsen
Z
Stellweg in Z
50 µm
Stellweg in Z, ungeregelt
60 µm
Linearitätsabweichung in Z
0,03 %
Gieren (Rotatorisches
± 25 µrad
Übersprechen in θX bei
Bewegung in Z)
Neigen (Rotatorisches
± 25 µrad
Übersprechen in θY bei
Bewegung in Z)
Rollen (Rotatorisches
± 5 µrad
Übersprechen in θZ bei
Bewegung in Z)
Rotationsbereich in θX
Rotationsbereich in θY
Rotationsbereich in θX,
ungeregelt
Rotationsbereich in θY,
ungeregelt
Linearitätsabweichung in θX
Linearitätsabweichung in θY
Positionieren
P-558.ZCD
Integrierter Sensor
Kapazitiv,
direkte
Positions-
messung
Systemauflösung in Z
0,5 nm
Auflösung in Z, ungeregelt
0,2 nm
Bidirektionale
± 5 nm
Wiederholgenauigkeit in Z
Systemauflösung in θX
Systemauflösung in θY
Auflösung in θX, ungeregelt
Auflösung in θY, ungeregelt
Bidirektionale
Wiederholgenauigkeit in θX
Bidirektionale
Wiederholgenauigkeit in θY
Antriebseigenschaften
P-558.ZCD
Antriebstyp
PICMA®
Elektrische Kapazität in Z
6 µF
Mechanische Eigenschaften
P-558.ZCD
Führung
Festkörper-
gelenks-
führung mit
Hebelüber-
setzung
Steifigkeit in Z
4 N/µm
Resonanzfrequenz in Z,
245 Hz
belastet mit 2500 g
Resonanzfrequenz in Z,
410 Hz
belastet mit 500 g
Resonanzfrequenz in Z,
570 Hz
unbelastet
Zulässige Druckkraft in Z
50 N
P-5x7/P-5x8 Positionierer
P-558.ZCL
P-518.ZCD
P-518.ZCL
Z
Z
Z
50 µm
100 µm
100 µm
60 µm
140 µm
140 µm
0,03 %
0,03 %
0,03 %
± 25 µrad
± 25 µrad
± 25 µrad
± 25 µrad
± 25 µrad
± 25 µrad
± 5 µrad
± 5 µrad
± 5 µrad
P-558.ZCL
P-518.ZCD
P-518.ZCL
Kapazitiv,
Kapazitiv,
Kapazitiv,
direkte
direkte
direkte
Positions-
Positions-
Positions-
messung
messung
messung
0,5 nm
0,8 nm
0,8 nm
0,2 nm
0,2 nm
0,2 nm
± 5 nm
± 5 nm
± 5 nm
P-558.ZCL
P-518.ZCD
P-518.ZCL
PICMA®
PICMA®
PICMA®
6 µF
8,4 µF
8,4 µF
P-558.ZCL
P-518.ZCD
P-518.ZCL
Festkörper-
Festkörper-
Festkörper-
gelenks-
gelenks-
gelenks-
führung mit
führung mit
führung mit
Hebelüber-
Hebelüber-
Hebelüber-
setzung
setzung
setzung
4 N/µm
2,7 N/µm
2,7 N/µm
245 Hz
200 Hz
200 Hz
410 Hz
350 Hz
350 Hz
570 Hz
500 Hz
500 Hz
50 N
50 N
50 N
PZ82D
P-528.ZCD
P-528.ZCL
P-558.TCD
Z
Z
Z, θX, θY
200 µm
200 µm
50 µm
240 µm
240 µm
60 µm
0,03 %
0,03 %
0,03 %
± 50 µrad
± 50 µrad
± 25 µrad
± 50 µrad
± 50 µrad
± 25 µrad
± 10 µrad
± 10 µrad
± 5 µrad
0,5 mrad
0,5 mrad
0,6 mrad
0,6 mrad
0,15 %
0,15 %
P-528.ZCD
P-528.ZCL
P-558.TCD
Kapazitiv,
Kapazitiv,
Kapazitiv,
direkte
direkte
indirekte
Positions-
Positions-
Positions-
messung
messung
messung
1 nm
1 nm
0,5 nm
0,6 nm
0,6 nm
0,2 nm
± 10 nm
± 10 nm
± 5 nm
0,05 µrad
0,05 µrad
0,02 µrad
0,02 µrad
± 0,03 µrad
± 0,03 µrad
P-528.ZCD
P-528.ZCL
P-558.TCD
PICMA®
PICMA®
PICMA®
14,8 µF
14,8 µF
1,5 µF
P-528.ZCD
P-528.ZCL
P-558.TCD
Festkörper-
Festkörper-
Festkörper-
gelenks-
gelenks-
gelenks-
führung mit
führung mit
führung mit
Hebelüber-
Hebelüber-
Hebelüber-
setzung
setzung
setzung
1,5 N/µm
1,5 N/µm
4 N/µm
130 Hz
130 Hz
245 Hz
210 Hz
210 Hz
410 Hz
350 Hz
350 Hz
570 Hz
50 N
50 N
50 N
Version: 3.2.0
P-518.TCD
P-528.TCD
Toleranz
Z, θX, θY
Z, θX, θY
100 µm
200 µm
140 µm
240 µm
±20 %
0,03 %
0,03 %
typ.
± 25 µrad
± 50 µrad
max.
± 25 µrad
± 50 µrad
max.
± 5 µrad
± 10 µrad
max.
1 mrad
2 mrad
1 mrad
2 mrad
1,4 mrad
2,4 mrad
±20 %
1,4 mrad
2,4 mrad
±20 %
0,15 %
0,15 %
typ.
0,15 %
0,15 %
typ.
P-518.TCD
P-528.TCD
Toleranz
Kapazitiv,
Kapazitiv,
indirekte
indirekte
Positions-
Positions-
messung
messung
0,8 nm
1 nm
0,4 nm
0,6 nm
typ.
± 5 nm
± 10 nm
typ.
0,05 µrad
0,1 µrad
0,05 µrad
0,1 µrad
0,04 µrad
0,06 µrad
typ.
0,04 µrad
0,06 µrad
typ.
± 0,05 µrad
± 0,1 µrad
typ.
± 0,05 µrad
± 0,1 µrad
typ.
P-518.TCD
P-528.TCD
Toleranz
PICMA®
PICMA®
2,1 µF
3,7 µF
±20 %
P-518.TCD
P-528.TCD
Toleranz
Festkörper-
Festkörper-
gelenks-
gelenks-
führung mit
führung mit
Hebelüber-
Hebelüber-
setzung
setzung
2,7 N/µm
1,5 N/µm
±20 %
200 Hz
130 Hz
±20 %
350 Hz
210 Hz
±20 %
500 Hz
350 Hz
±20 %
50 N
50 N
max.
39
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