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V a c u u m
I n s t r u m e n t s
VSH87PN, VSH88PN, VSH89PN
Vakuum Transmitter
Vacuum Transducer
®Registered trademark of Profibus & Profinet International (PI)
Betriebsanleitung
Operating Instructions
Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für thyracont VSH87PN

  • Seite 1 V a c u u m I n s t r u m e n t s VSH87PN, VSH88PN, VSH89PN Vakuum Transmitter Vacuum Transducer ®Registered trademark of Profibus & Profinet International (PI) Betriebsanleitung Operating Instructions...
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    5.7 Sensor Parameter ......6 Wartung und Service 7 Technische Daten 8 Konformitätserklärung Hersteller: Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max-Emanuel-Straße 10 D-94036 Passau Tel.: ++49/851/95986-0 E-Mail: info@thyracont-vacuum.com Internet: https://www.thyracont-vacuum.com...
  • Seite 4: Hinweise Für Ihre Sicherheit

    1 Hinweise für Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich über Gefahren, die vom Gerät ausgehen und Gefahren, die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits- und Unfall-Verhütungsvorschriften Prüfen Sie regelmäßig die Einhaltung aller Schutzmaßnahmen Installieren Sie das VSH unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedingun- gen;...
  • Seite 5: Vakuum Transmitter Vsh

    2 Vakuum Transmitter VSH 2.1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern VSH87PN, VSH88PN, VSH89PN. Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild. Technische Änderungen oh- ne vorherige Anzeige sind vorbehalten. 2.2 Lieferumfang Zum Lieferumfang gehören: Transmitter VSH...
  • Seite 6: Produktbeschreibung

    2.3 Produktbeschreibung Der Vakuum Transmitter VSH dient zur Absolutdruck-Messung in gasförmigen Me- dien im Bereich 5,0x10 - 1000 mbar. Er überträgt Messwerte und Daten per Profinet Schnittstelle und darf nur an geeignete und hierfür vorgesehene Kompo- nenten angeschlossen werden. Zusätzlich besitzt das Gerät eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Datenübertra- gung (siehe Abschnitt 5.1).
  • Seite 7: Installation

    3 Installation 3.1 Hinweise zur Installation Keine eigenmächtigen Umbauten oder Veränderungen am Gerät vornehmen! Aufstellungsort: Innenräume Für nicht vollklimatisierte Betriebsräume gilt: Temperatur: +5 C ... +50 C Rel. Luftfeuchte: max. 80% bis 30 C, max. 50% bei 40 C, nicht betauend Luftdruck: 860 - 1060 hPa (mbar) 3.2 Vakuumanschluss Schmutz und Beschädigungen, insbesondere am Flansch, beein-...
  • Seite 8: Elektrischer Anschluss

    Bei Überdruck im Vakuumsystem > 1 bar Versehentliches Öffnen von Spannelementen kann zu Verletzun- gen durch herumfliegende Teile führen! Ungesicherte Schlauch- verbindungen können sich lösen und Gesundheitsschäden durch ausströmende Prozessmedien herbeiführen! Bei Überdruck im Vakuumsystem 1,5 bis 4 bar Bei KF-Flanschverbindungen können Elastomer-Dichtringe dem Druck nicht mehr standhalten.
  • Seite 9: Profinet Pn P1 / Pn P2

    3.3.2 Profinet PN P1 / PN P2 Bei den Profinet Ports 1 und 2 handelt es sich um integrierte 2-Port-Switches, so- mit ist kein zusätzlicher externer Switch erforderlich. Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV-gerecht gemäß untenstehender Pinbelegung herzustellen: Stecker 2x M12, D-kodiert, 4polig, weiblich Pin1: Tx+ / Transmit Data +...
  • Seite 10: Betrieb

    4 Betrieb 4.1 Allgemeines Messprinzip Der Vakuum Transmitter VSH besitzt eine interne Kombination aus Piranisen- sor, der die Wärmeleitfähigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt, und einem Heißkathoden-Ionisationssensor nach Bayard Alpert. Beim Wärmeleitungssensor wird ein Wendel-Filament in einer Wheatstone Brü- ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt. Die notwendige Brücken- spannung ist ein Maß...
  • Seite 11: Status Led

    4.2 Status LED Die Status LED des VSH signalisiert folgende Betriebszustände: 4.3 Ausheizen Soll die Vakuumkammer mit angeflanschtem VSH ausgeheizt werden, so darf die Temperatur am Sensorflansch 180 C keinesfalls überschreiten. Die Spannungsversorgung des Transmitters muss während des Ausheizens der Kammer ausgeschaltet sein. Anderenfalls kann es zu Schäden an der Elektronik kommen! VSH-Profinet-200116...
  • Seite 12: Kommunikation

    Schalter mit einem dünnen Schraubendreher oder ähnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 16 einzustellen. Danach den Gummistopfen wieder einset- zen. Bei der Kommunikation werden die Telegramme gemäß Thyracont Protokoll Versi- on V2 als ASCII-Code übertragen. Ausführliche Informationen hierzu finden Sie in der gesonderten Beschreibung »Thyracont Communication Protocol«.
  • Seite 13: Die Profinet Schnittstelle Des Vsh

    5.2 Die Profinet Schnittstelle des VSH Profinet® ist ein eingetragenes Markenzeichen der Profibus & Profinet Internatio- nal (PI). Für die Kommunikation über die Profinet Schnittstelle existiert eine separate An- leitung, welche dem Gerät beiliegt. Die Beschreibung auf den folgenden Seiten bezieht sich daher auf die über RS485 ansprechbaren Parameter.
  • Seite 14: Parameterübersicht

    5.3 Parameterübersicht RS485 Command Profinet Code Type of Device Product Name Serial Number Device Serial Number Head (Sensor) Version Device Version Firmware Version Bootloader Baud Rate Response Delay Device Restart Measurement Range Measurement Value Measurement Value 1 (Pirani) Measurement Value 3 (Hot Cathode) Adjust High (Atmosphere Pressure) Adjust Low (Zero Pressure) Sensor Transition...
  • Seite 15: Geräte-Parameter Und Information

    5.4 Geräte-Parameter und Information Type of Device (TD): Abfragen des Gerätetyps, z.B. VSH208 Product Name (PN): Abfragen des Produktnamens (entspricht der Artikelnummer) Serial Number Device (SD): Abfragen der Geräte-Seriennummer Serial Number Head (SH): Abfragen der Seriennummer des Sensorkopfes Version Device (VD): Abfragen der Hardware-Versionsnummer des Geräts Version Firmware (VF): Abfragen der Firmware-Versionsnummer des Geräts...
  • Seite 16: Messwertabfrage

    5.5 Messwertabfrage Measurement Range (MR): Abfragen des Messbereichs Measurement Value MV: Abfragen des aktuell gemessenen Druckwertes Measurement Value M1: Abfragen des aktuell vom Pirani-Sensor gemessenen Druckwertes Measurement Value M3: Abfragen des aktuell vom Heißkathodensensor gemessenen Druckwertes. Bei ausgeschalteter Heißkathode wird der Fehlercode »_ SEDIS« zurückgegeben. ) Nicht über Profinet ansprechbar 5.6 Nachjustieren Das Gerät ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24 V stehend, d.h.
  • Seite 17 In diesem Fall ist es angebracht, bei einem Druck unterhalb 2,0x10 mbar die Anode des Sensors durch Ausheizen von Ablagerungen und adsorbierten Gas- molekülen zu reinigen. Die Anode erwärmt sich dabei durch ohmsche Heizung auf bis zu 800 C. Der Parameter dient zum Abfragen und Steuern des Ausheizvorganges. »0«: Degas aus »1«:...
  • Seite 18 Hierzu ist es möglich, den Sensor mithilfe des Geräte-Parameters »Cathode Con- trol« (CC) per Softwarebefehl zu deaktivieren: »0«: Heißkathode deaktiviert, kein Einschalten des Heißkathoden-Sensors »1«: Heißkathode aktiv, automatisches Ein- / Ausschalten des Heißkatho- den-Sensors (Default) Bei deaktivierter Heißkathode verhält sich der VSH wie ein reiner Pirani-Transmitter mit Messbereich 1000 - 1,0x10 mbar.
  • Seite 19 Gasart-Korrekturfaktoren - Gas Correction Factor (C1 / C3) Das Mess-Signal des VSH ist gasartabhängig. Das Gerät ist auf N bzw. trockene Luft abgeglichen. Für andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0,1 mbar korrigiert werden, indem entsprechende Korrekturfaktoren für beide Sensortypen gesetzt werden.
  • Seite 20: Wartung Und Service

    »ERROR1« via RS485 / Elektronik oder Sensor Gerät einschicken oder Status LED dauer-rot defekt Sensor ersetzen Status LED dauer-orange Heißkathode Filament 1 ggfs. Sensor ersetzen defekt Access Code »7« via Fehlermeldung / Warnung siehe gesonderte RS485 Beschreibung Thyracont Communication Protocol VSH-Profinet-200116...
  • Seite 21 VSH-Profinet-200116...
  • Seite 22: Technische Daten

    7 Technische Daten Messprinzip Wärmeleitfähigkeit Pirani / Heißkathode Bayard Alpert, gasartabhängig Messbereich 1000 - 5,0x10 mbar (750 - 5,0x10 Torr) Max. Überlast 4 bar abs. Genauigkeit 1000 ... 10 mbar: ca. 30% v. Messwert 10 ... 1,0x10 mbar: 10% v. Messwert Wiederholbarkeit 10 ...
  • Seite 23 Ausheiztemperatur max. 180 C am Flansch (Spannungsversorgung ausgeschaltet) Spannungsversorgung 20 - 30 VDC Leistungsaufnahme max. 8 W, zusätzlich 1 W für Degas, 1,6 W für Profinet RS485 Schnittstelle 9,6 ... 115 kBd, 8 databit, 1 stopbit, no parity Anschluss: M12 Rundsteckverbinder A-codiert, 5polig, weibl., verschraubbar Profinet Schnittstelle Anschluss: M12 Rundsteckverbinder...
  • Seite 24: Konformitätserklärung

    8 Konformitätserklärung VSH-Profinet-200116...
  • Seite 46: Declaration Of Conformity

    8 Declaration of Conformity VSH-Profinet-200116...
  • Seite 47 VSH-Profinet-200116...
  • Seite 48 VSH-Profinet-200116...

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