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Aglient VS Serie Betriebshandbuch Seite 8

Inhaltsverzeichnis

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B-3
Kalibrierungsleck O-Ring ....................................................................................................B-4
B-4
Klemme NW25 zum Spektrometer .....................................................................................B-5
B-5
Klemme NW25 zum Spektrometer .....................................................................................B-5
B-6
Muttern der Pumpenfüße ....................................................................................................B-5
B-7
Testanschluss-Verbindung .................................................................................................B-6
B-8
Pumpe an Montage-Baugruppe..........................................................................................B-6
B-9
Schrauben Geräteoberseite................................................................................................B-8
B-10
Gebläsestecker ...................................................................................................................B-8
B-11
Gebläsefilter........................................................................................................................B-9
B-12
Schrauben außen am Gebläse ...........................................................................................B-9
B-13
Unterlegscheibe/Mutter/Abstandsscheibe des Gebläses .................................................B-10
B-14
Schrauben Geräteoberseite..............................................................................................B-11
B-15
Entlüftungsschraube der Turbo-Pumpe ............................................................................B-11
B-16
Turbopumpenflansch ........................................................................................................B-12
B-17
Eingesetzter Turbopumpenflansch ...................................................................................B-12
B-18
Eingesetztes Kalibrierungsleck .........................................................................................B-13
B-19
J7 Stecker und Ventil ........................................................................................................B-13
B-20
J7 Stecker an der diskreten I/O-Platine ............................................................................B-14
B-21
Anschluss Leckbaugruppen-Platine .................................................................................B-14
B-22
Anschluss Hauptplatine ....................................................................................................B-15
B-23
Schrauben Geräteoberseite..............................................................................................B-17
B-24
Verbindungen zur Turbo-Reglerkarte ...............................................................................B-17
B-25
Schrauben der Turbo-Reglerkarte ....................................................................................B-18
B-26
Schrauben Geräteoberseite..............................................................................................B-19
B-27
Stecker J100 .....................................................................................................................B-19
B-28
Befestigungsschrauben ....................................................................................................B-20
B-29
Anschließen an die Hauptplatine ......................................................................................B-20
B-30
Untere Pins .......................................................................................................................B-21
B-31
Schrauben Geräteoberseite..............................................................................................B-22
B-32
Anschlüsse .......................................................................................................................B-22
B-33
Befestigungsschrauben ....................................................................................................B-23
B-34
Schrauben Geräteoberseite..............................................................................................B-24
B-35
Abstandshalter der Hauptplatine ......................................................................................B-25
B-36
Verkabelung der Hauptplatine ..........................................................................................B-26
B-37
Befestigungsschrauben Hauptplatine ...............................................................................B-26
B-38
Schrauben Geräteoberseite..............................................................................................B-27
B-39
Verkabelung der diskreten I/O-Platine ..............................................................................B-28
B-40
Profinet und I/O-Stecker ...................................................................................................B-28
B-41
Schrauben Geräteoberseite..............................................................................................B-29
B-42
Verkabelung am Kalibrierungsleck ...................................................................................B-30
B-43
Entfernen der Klemme ......................................................................................................B-30
B-44
Schrauben Kalibrierungsleck ............................................................................................B-31
B-45
Anschluss für die Leckbaugruppen-Platine ......................................................................B-31
B-46
Schrauben Geräteoberseite..............................................................................................B-33
B-47
Turbo-Entlüftung ...............................................................................................................B-34
B-48
NW-16 Entlüften ...............................................................................................................B-34
Komponenten-Lecksucherder Serie VS

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