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Aglient VS Serie Betriebshandbuch

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Inhaltsverzeichnis

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Vacuum Products Division
Komponenten-Lecks
BETRIEBSHANDBUCH
ucher Serie VS
Handbuchnummer: 699909948
Revision E
October 2017

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Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Aglient VS Serie

  • Seite 1 Vacuum Products Division Komponenten-Lecks BETRIEBSHANDBUCH ucher Serie VS Handbuchnummer: 699909948 Revision E October 2017...
  • Seite 2 Komponenten-Lecksucher der Serie VS Copyright 2017 Agilent Inc.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Komponenten-Lecksucher der Serie VS INHALTSVERZEICHNIS Vorwort ............................. xv Dokumentationsnormen ......................xv Text ............................xv Hinweise zu Gefahren und Sicherheit ..................xvi Lösungsmittel ........................xvii Sauberkeit bei Vakuumgeräten ................... xvii Umgang mit O-Ringen ......................xviii Maschinen, allgemein ......................xix Stromversorgung und statische Empfindlichkeit ..............xix Spektrometer........................
  • Seite 4 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abschnitt 2. Betrieb des Lecksuchers VS C15 über die Anzeige des vorderen Bedienfelds ..2-1 2.6.1 Einschaltfolge......................2-2 2.1 Erste Inbetriebnahme und Abschalten ................2-3 2.1.1 Inbetriebnahme ......................2-3 2.1.2 Kalibriertes Leck ......................2-4 2.1.3 Abschalten ........................2-5 2.2 VS C15 Anzeige........................
  • Seite 5 Komponenten-Lecksucher der Serie VS Abschnitt 5. Der Profinet-Anschluss und seine Bedienung ............5-1 5.1 Protokoll (PROFINET-I/O) ....................5-1 5.1.1 Einführung in die PROFINET I/O-Schnittstelle............5-1 5.1.2 Einrichtung PROFINET I/O-Schnittstelle..............5-1 5.2 VS-C15 ProfiNet Datenstruktur .................... 5-2 5.2.1 PROFINET Eingabedaten ................... 5-2 5.2.2 PROFINET Ausgabedaten ..................
  • Seite 6 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Anhang C. Fehlersuche .........................C-1 C.1 Service 1/Service 2 Befehle ....................C-1 C.1.1 SERVICE1 .........................C-1 C.1.2 SERVICE2 .........................C-2 C.2 Fehlermeldung Warten auf Systemdruck wird auf der Anzeige an der Gerätevorderseite angezeigt ....................C-3 C.3 Betriebsfehler ........................C-11 C.4 Funktionsprobleme......................C-15 Anhang D. Lecksuche - Einführung ....................D-1 D.1 Leckprüfung –...
  • Seite 7 Komponenten-Lecksucher der Serie VS Abbildung Basiseinheit VS C15, Umrisszeichnung................1-3 Abmessungen der Anzeigeeinheit VS C15: Vorderseite und Seite ........1-4 C15 Verbindungsschema....................1-7 Vorderseite der VS C15 Basiseinheit.................. 1-9 Vorderseite der VS C15 Anzeige ..................1-9 Rückseite der VS C15 Basiseinheit .................. 1-12 Rückseite der VSC15 Anzeigeeinheit ................
  • Seite 8 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Kalibrierungsleck O-Ring ....................B-4 Klemme NW25 zum Spektrometer ..................B-5 Klemme NW25 zum Spektrometer ..................B-5 Muttern der Pumpenfüße ....................B-5 Testanschluss-Verbindung ....................B-6 Pumpe an Montage-Baugruppe..................B-6 Schrauben Geräteoberseite....................B-8 B-10 Gebläsestecker ........................B-8 B-11 Gebläsefilter........................B-9 B-12 Schrauben außen am Gebläse ...................B-9 B-13 Unterlegscheibe/Mutter/Abstandsscheibe des Gebläses ..........B-10 B-14 Schrauben Geräteoberseite....................B-11 B-15...
  • Seite 9 Komponenten-Lecksucher der Serie VS B-49 Zum Spektrometer führende Kabel ...................B-35 B-50 Schrauben Spektrometerabdeckung ................B-35 B-51 Schrauben Spektrometerkopf-Baugruppe ................B-36 B-52 Spektrometerbaugruppe, Ausbau ..................B-36 B-53 O-Ring..........................B-37 B-54 Innen im Spektrometergehäuse ..................B-37 B-55 Schrauben Kopfbaugruppe ....................B-38 B-56 Pin-Schaltplan Kopf der Ionenquelle.................B-39 B-57 Schrauben Geräteoberseite ....................B-40 B-58 Turbo-Entlüftung .......................B-41 B-59...
  • Seite 10 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Leckmessung: Outside In (von außen nach innen) ............D-4 Leckmessung: Inside Out (von innen nach außen) ............D-5 Lokalisieren von Lecks: Inside Out (von innen nach außen) ..........D-6 Anreicherung: Inside Out (von innen nach außen) .............D-6 Vakuumsystem ........................D-7 VS C15 Interconnection Diagram ..................E-2...
  • Seite 11 Komponenten-Lecksucher der Serie VS Tabelle Anforderungen für die Installation ..................1-6 Komponenten an der Rückseite der Basiseinheit ............1-12 Komponenten an der Rückseite der Anzeigeeinheit ............1-14 Funktionen des VSC15 der SerieVS................1-16 Spezifikation des Dynamikbereichs ................. 1-18 Inbetriebnahme des VS-C15....................2-3 Allgemeine Beschreibung ....................
  • Seite 12 Komponenten-Lecksucherder Serie VS...

  • Seite 13: Vorwort

    Komponenten-Lecksucher der Serie VS Vorwort Dokumentationsnormen HINWEIS VORSICHT WARNUNG Text...

  • Seite 14: Hinweise Zu Gefahren Und Sicherheit

    Komponenten-Lecksucher der Serie VS Hinweise zu Gefahren und Sicherheit * Die Warnmeldungen dienen dazu, die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine bestimmte Verfahren oder Praxis, die bei Nichtbeachtung zu schweren Verletzungen führen können.

  • Seite 15: Lösungsmittel

    Komponenten-Lecksucher der Serie VS Lösungsmittel WARNUNG VORSICHT Sauberkeit bei Vakuumgeräten VORSICHT xvii...

  • Seite 16: Umgang Mit O-Ringen

    Komponenten-Lecksucher der Serie VS HINWEIS Umgang mit O-Ringen HINWEIS HINWEIS VORSICHT ❑ ❑ ❑ ❑ xviii...

  • Seite 17: Maschinen, Allgemein

    Komponenten-Lecksucher der Serie VS Maschinen, allgemein ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ WARNUNG ❑ ❑ WARNUNG WARNUNG...

  • Seite 18: Stromversorgung Und Statische Empfindlichkeit

    Komponenten-Lecksucher der Serie VS VORSICHT WARNUNG VORSICHT Stromversorgung und statische Empfindlichkeit ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...
  • Seite 19 Komponenten-Lecksucher der Serie VS Abbildung 1 24 V (GS) Eingangsstromanschluss VORSICHT ❑ ❑ ❑ VORSICHT...
  • Seite 20 Komponenten-Lecksucher der Serie VS VORSICHT ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ xxii...
  • Seite 21 Komponenten-Lecksucher der Serie VS WARNUNG ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ xxiii...

  • Seite 22: Spektrometer

    Komponenten-Lecksucher der Serie VS Spektrometer WARNUNG VORSICHT VORSICHT VORSICHT Pumpen WARNUNG WARNUNG ° xxiv...

  • Seite 23: Agilent Services

    Komponenten-Lecksucher der Serie VS WARNUNG Agilent Services ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 24: Abschnitt 1. Einführung Zum Komponenten-Lecksucher Der Serie Vs

    VS Series Component Leak Detector Abschnitt 1. Einführung zum Komponenten- Lecksucher der Serie VS 1.1 Komponenten-Lecksucher der Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...
  • Seite 25 VS Series Component Leak Detector VORSICHT...

  • Seite 26: Konfigurationen Des Komponenten-Lecksuchers Der Serie Vs

    VS Series Component Leak Detector 1.1.1 Konfigurationen des Komponenten-Lecksuchers der Serie VS Dieser Abschnitt enthalt Umrisszeichnungen der Basiseinheit VSC15BU und der Anzeigeeinheit VSC15DU. Die Abmessungen werden in Zoll (in Klammern) und in mm (unter den Klammern) spezifiziert. Abbildung 1-1 zeigt die Umrisszeichnung und die Abmessungen der Systemeinheit VS C15.
  • Seite 27 VS Series Component Leak Detector Abbildung 1-2 zeigt die Umrisszeichnung und die Abmessungen der Anzeigeeinheit VS C15. !6"t]t1"9l:l ----r--+-r--:: [,o;t)06 Abbildung 1-2 Abmessungen der Anzeigeeinheit VS C15: Vorderseite und Seite...

  • Seite 28: Auspacken Des Lecksuchers

    VS Series Component Leak Detector 1.2 Auspacken des Lecksuchers ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ 1.2.1 Anleitungen zum Auspacken...

  • Seite 29: Installation

    VS Series Component Leak Detector 1.3 Installation VORSICHT Tabelle 1-1 Anforderungen für die Installation Element Anforderung ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ zwischen den VS C15-Einheiten und dem externen Stromversorgungssystem.

  • Seite 30: Typisches Verbindungsschema Für Lecksuchsystem Vs C15

    VS Series Component Leak Detector Tabelle 1-1 Anforderungen für die Installation ❑ ❑ 1.3.1 Typisches Verbindungsschema für Lecksuchsystem VS C15 Kundenseitig bereitgestellt Externes 24-V VS C15 VS C15 PC RS232 Analoges GS-Netzteil, Anzeigeeinheit ProfiNet-Modul (HyperTermina Messgerät (0 -10 V) (optional) (optional) Kalibrierleck Testkammer...

  • Seite 31: Helium

    VS Series Component Leak Detector 1.3.2 Helium 1.3.3 Empfohlene zusätzliche Anschlüsse ❑ ❑ ❑ ❑ 1.3.4 Lagerung ❑ ❑...

  • Seite 32: Vorderseiten

    VS Series Component Leak Detector 1.4 Vorderseiten 1.4.1 VS C15 Basiseinheit Abbildung 1-4 Vorderseite der VS C15 Basiseinheit 1.4.2 VS C15 Anzeigeeinheit Abbildung 1-5 Vorderseite der VS C15 Anzeige...

  • Seite 33: Lcd-Display

    VS Series Component Leak Detector 1.4.2.1 LCD-Display ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ 1-10...
  • Seite 34 VS Series Component Leak Detector 1-11...

  • Seite 35: Rückseite

    VS Series Component Leak Detector 1.5 Rückseite 1.5.1 VS C15 Basiseinheit Abbildung 1-6 Rückseite der VS C15 Basiseinheit Tabelle 1-2 Komponenten an der Rückseite der Basiseinheit Name Beschreibung 1-12...

  • Seite 36: Komponenten An Der Rückseite Der Basiseinheit

    VS Series Component Leak Detector Tabelle 1-2 Komponenten an der Rückseite der Basiseinheit (Fortsetzung) Name Beschreibung 1-13...

  • Seite 37: Vs C15 Anzeigeeinheit

    VS Series Component Leak Detector 1.5.2 VS C15 Anzeigeeinheit Abbildung 1-7 Rückseite der VSC15 Anzeigeeinheit Tabelle 1-3 Komponenten an der Rückseite der Anzeigeeinheit 1-14...

  • Seite 38: Funktionen

    VS Series Component Leak Detector 1.6 Funktionen ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ 1-15...
  • Seite 39 VS Series Component Leak Detector Tabelle 1-4 Funktionen des VSC15 der SerieVS Funktion Beschreibung 1-16...

  • Seite 40: Funktionen Des Vsc15 Der Serievs

    VS Series Component Leak Detector Tabelle 1-4 Funktionen des VSC15 der SerieVS (Fortsetzung) Funktion Beschreibung 1-17...

  • Seite 41: Spezifikation Des Dynamikbereichs

    VS Series Component Leak Detector Tabelle 1-5 Spezifikation des Dynamikbereichs 1-18...

  • Seite 42: Abschnitt 2. Betrieb Des Lecksuchers Vs C15 Über Die Anzeige Des Vorderen Bedienfelds

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abschnitt 2. Betrieb des Lecksuchers VS C15 über die Anzeige des vorderen Bedienfelds ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ HINWEIS ❑ HINWEIS...

  • Seite 43: Einschaltfolge

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.6.1 Einschaltfolge ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 44: Erste Inbetriebnahme Und Abschalten

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.1 Erste Inbetriebnahme und Abschalten 2.1.1 Inbetriebnahme HINWEIS Tabelle 2-1 Inbetriebnahme des VS-C15 Funktion zur Systeminbetriebnahme Anzeige an der Vorderseite des Geräts HINWEIS...

  • Seite 45: Kalibriertes Leck

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.1.2 Kalibriertes Leck 2.1.2.1 Interne Kalibrierung über die Anzeige an der Vorderseite HINWEIS...

  • Seite 46: Abschalten

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.1.2.2 Vollständige externe Kalibrierung über die Anzeige an der Vorderseite HINWEIS 2.1.3 Abschalten ❑ ❑...

  • Seite 47: Vs C15 Anzeige

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2 VS C15 Anzeige 2.2.1 Bildschirmablauf *Verfügbar seit SPLIT Februar 2011 FLOW* [GETEILTER DURCHFLUSS] Abbildung 2-1 Bildschirmablauf...
  • Seite 48 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 2-2 Allgemeine Beschreibung Bildschirm Zweck ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 49: Allgemeine Beschreibung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 2-2 Allgemeine Beschreibung (Fortsetzung) Bildschirm Zweck ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 50: Grundfunktionen Der Schaltflächen

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.2 Grundfunktionen der Schaltflächen Tabelle 2-3 Grundlegende Schaltflächenelemente und ihre Funktion Element Funktion ❑ ❑ ❑...
  • Seite 51 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 2-4 Symbol Bedeutung ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ 2-10...

  • Seite 52: Bildschirm Home [Start]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.3 Bildschirm HOME [START] Logarithmisches Lineares Balkendiagramm Balkendiagramm Abbildung 2-2 Bildschirm HOME [START] 2-11...
  • Seite 53 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ 2-12...
  • Seite 54 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung 2-3 Bildschirm „Leak Rate vs. Time“ [Leckrate im Verhältnis zur Zeit] Tabelle 2-5 Betriebszustände des Lecksuchers VS C15 Anzeige Beschreibung 2-13...

  • Seite 55: Betriebszustände Des Lecksuchers Vs C15

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 2-5 Betriebszustände des Lecksuchers VS C15 (Fortsetzung) Tabelle 2-6 Lecksucherzustände ❑ ❑ 2-14...

  • Seite 56: Lecksucherzustände

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 2-6 Lecksucherzustände (Fortsetzung) 2-15...

  • Seite 57: Bildschirm „Control Panel" [Systemsteuerung]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.4 Bildschirm „Control Panel“ [Systemsteuerung] Abbildung 2-4 Bildschirm „Control Panel“ [Systemsteuerung] 2-16...
  • Seite 58 Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2-17...
  • Seite 59 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ 2-18...
  • Seite 60 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ 2-19...
  • Seite 61 Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.4.3 Bildschirm mit grafischer Darstellung Abbildung 2-5 Grafische Darstellung Mit der Schaltfläche ❑ ❑ 2-20...
  • Seite 62 Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2-21...

  • Seite 63: Bildschirm „Menus" [Menüs]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.5 Bildschirm „Menus“ [Menüs] Abbildung 2-6 Erster Menübildschirm 2-22...
  • Seite 64 Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.5.1 Bildschirm „Calibration Set-Up“ [Kalibrierungseinrichtung] ❑ ❑ ❑ ❑ Abbildung 2-7 Bildschirm „Calibration Set-Up“ [Kalibrierungseinrichtung] HINWEIS 2-23...
  • Seite 65 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ 2-24...
  • Seite 66 Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.5.2 Bildschirm „Reject and Audio Set Points“ [Rückweisungs- und Audio-Sollwerte] ❑ ❑ ❑ 2-25...
  • Seite 67 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung 2-8 Reject and Audio Setpoints [Rückweisungs- und Lautstärke-Sollwerte] ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ 2-26...
  • Seite 68 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ HINWEIS ❑ ❑ ❑ 2-27...

  • Seite 69: Übertragungswerte Mit Stabilisierungs-Timer

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.5.3 Übertragungswerte mit Stabilisierungs-Timer ❑ HINWEIS Abbildung 2-9 Übertragungswerte mit Stabilisierungs-Timer 2-28...
  • Seite 70 Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.5.4 Bildschirm „Leak Rate Ranging“ [Leckratenbereich] Abbildung 2-10 Leckratenbereich 2-29...
  • Seite 71 Komponenten-Lecksucherder Serie VS HINWEIS 2-30...
  • Seite 72 Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2-31...

  • Seite 73: System Information [Systeminformationen]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.5.5 System Information [Systeminformationen] ❑ Abbildung 2-11 System Information [Systeminformationen] Tabelle 2-7 Angezeigte Systeminformationen Anzeige Beschreibung Maßnahme 2-32...

  • Seite 74: Angezeigte Systeminformationen

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 2-7 Angezeigte Systeminformationen (Fortsetzung) Anzeige Beschreibung Maßnahme 2-33...

  • Seite 75: Control Panel Access [Zugriff Auf Die Systemsteuerung]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.2.5.6 Control Panel Access [Zugriff auf die Systemsteuerung] ❑ Abbildung 2-12 Control Panel Access [Zugriff auf die Systemsteuerung] 2.3 Das Menü „Set-Up“ [Einrichtung] VORSICHT 2-34...
  • Seite 76 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung 2-13 Der Bildschirm „Set-Up“ [Einrichtung] – Erster Bildschirm 2-35...
  • Seite 77 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ Abbildung 2-14 Bildschirm für den Kennwortschutz ❑ Abbildung 2-15 Der Bildschirm „Set-Up“ [Einrichtung] – Zweiter Bildschirm 2-36...
  • Seite 78 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ 2-37...

  • Seite 79: Erweiterte Parameter

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.6 Erweiterte Parameter Abbildung 2-16 Bildschirm „Advanced Parameters“ [Erweiterte Parameter] 2-38...
  • Seite 80 Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2-39...

  • Seite 81: Manuelle Feineinstellung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.7 Manuelle Feineinstellung HINWEIS Abbildung 2-17 Bildschirm „Manual Tuning“ [Manuelle Einstellung] 2-40...
  • Seite 82 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ 2-41...

  • Seite 83: Manuelles Einstellungsverfahren (Internes Oder Externes Standardleck)

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ 2.3.8 Manuelles Einstellungsverfahren (internes oder externes Standardleck) HINWEIS HINWEIS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ 2-42...

  • Seite 84: Manual Valve Control [Manuelle Ventilsteuerung]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.9 Manual Valve Control [Manuelle Ventilsteuerung] Abbildung 2-18 Bildschirm „Manual Valve Control“ [Manuelle Ventilsteuerung] 2.3.10 Output Control [Ausgabesteuerung] ❑ 2-43...
  • Seite 85 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung 2-19 Bildschirm „Output Control“ [Ausgabesteuerung] 2-44...

  • Seite 86: Units [Einheiten]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.11 Units [Einheiten] ❑ Abbildung 2-20 Units [Einheiten] 2-45...

  • Seite 87: Languages [Sprachen]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.12 Languages [Sprachen] ❑ Abbildung 2-21 Languages [Sprachen] 2-46...

  • Seite 88: Gauge Calibration [Messgerätekalibrierung]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.13 Gauge Calibration [Messgerätekalibrierung] Abbildung 2-22 Gauge Calibration [Messgerätekalibrierung] 2-47...
  • Seite 89 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ 2.3.13.7 Vakuumkalibrierung (Niederdruck) ❑ 2-48...

  • Seite 90: Atmosphärische Kalibrierung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.13.8 Atmosphärische Kalibrierung 2-49...

  • Seite 91: Maintenance [Wartung]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.14 Maintenance [Wartung] ❑ Abbildung 2-23 Maintenance [Wartung] 2-50...

  • Seite 92: Einstellen Von Datum Und Uhrzeit

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.14.1 Einstellen von Datum und Uhrzeit Abbildung 2-24 Current Date & Time Set-Up [Einstellung des aktuellen Datums und der Uhrzeit] 2-51...
  • Seite 93 Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.14.2 Internal Calibrated Leak [Internes Kalibrierleck] Abbildung 2-25 Internal Calibrated Leak [Internes Kalibrierleck] 2-52...
  • Seite 94 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ 2-53...

  • Seite 95: Cal Leak Expiration Set-Up [Einstellung Der Kalibrierleckgültigkeit]

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.14.3 Cal Leak Expiration Set-Up [Einstellung der Kalibrierleckgültigkeit] Abbildung 2-26 Cal Leak Expiration Set-Up [Einstellung der Kalibrierleckgültigkeit] 2-54...
  • Seite 96 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung 2-27 Bildschirm „System Defaults“ [System-Voreinstellungen] ❑ ❑ ❑ ❑ 2-55...

  • Seite 97: Geteilter Durchflussbetrieb Oder Paralleler Pumpenbetrieb

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 2.3.15 Geteilter Durchflussbetrieb oder Paralleler Pumpenbetrieb Abbildung 2-28 Geteilter Durchfluss HINWEIS 2-56...
  • Seite 98 Komponenten-Lecksucherder Serie VS HINWEIS ❑ ❑ ❑ 2-57...
  • Seite 99 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung 2-29 Tastenfeld für die Leckrate HINWEIS 2-58...

  • Seite 100: Abschnitt 3. Der I/O-Anschluss Und Seine Bedienung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abschnitt 3. Der I/O-Anschluss und seine Bedienung 3.1 I/O-Anschluss-Stecker: Für den Kunden zugängliche Ein- und Ausgaben Tabelle 3-1 Pin-Signale des I/O-Anschluss-Steckers Verhalten des PIN-Nr. Signalbezeichnung Stufe Beschreibung Lecksuchers...

  • Seite 101: Pin-Signale Des I/O-Anschluss-Steckers

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 3-1 Pin-Signale des I/O-Anschluss-Steckers (Fortsetzung) Verhalten des PIN-Nr. Signalbezeichnung Stufe Beschreibung Lecksuchers...
  • Seite 102 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 3-1 Pin-Signale des I/O-Anschluss-Steckers (Fortsetzung) Verhalten des PIN-Nr. Signalbezeichnung Stufe Beschreibung Lecksuchers...
  • Seite 103 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 3-1 Pin-Signale des I/O-Anschluss-Steckers (Fortsetzung) Verhalten des PIN-Nr. Signalbezeichnung Stufe Beschreibung Lecksuchers...
  • Seite 104 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 3-1 Pin-Signale des I/O-Anschluss-Steckers (Fortsetzung) Verhalten des PIN-Nr. Signalbezeichnung Stufe Beschreibung Lecksuchers Abbildung 3-1 Optisch Isolierter Ausgang – Schaltplan...

  • Seite 105: Analoge Ausgangsspannung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung 3-2 Optisch Isolierter Eingang – Schaltplan 3.2 Analoge Ausgangsspannung ❑ ❑ ❑...
  • Seite 106 Komponenten-Lecksucherder Serie VS HINWEIS Abbildung 3-3 Leckrate im Vgl. zu Analoger Ausgang - 1V\Dec...

  • Seite 107: Inbetriebnahme Vs C15

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung 3-4 Leckrate im Vgl. zu Analoger Ausgang - 2V\Dec HINWEIS Tabelle 3-2 Inbetriebnahme VS C15 Funktion Inbetriebnahme des Systems...

  • Seite 108: Interne Kalibrierung Über Den I/O-Anschluss

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS HINWEIS HINWEIS 3.2.1 Interne Kalibrierung über den I/O-Anschluss 3.2.2 Volle externe Kalibrierung über den I/O-Anschluss...

  • Seite 109: I/O-Integrierung: Markierte Punkte

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS HINWEIS 3.3 I/O-Integrierung: Markierte Punkte 3-10...
  • Seite 110 Komponenten-Lecksucherder Serie VS HINWEIS HINWEIS 3-11...

  • Seite 111: Eingänge: Hilfreiche Tipps

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 3.4 Eingänge: Hilfreiche Tipps HINWEIS ❑ ❑ ❑ HINWEIS 3-12...

  • Seite 112: Abschnitt 4. Die Schnittstelle Rs-232 Und Ihre Bedienung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abschnitt 4. Die Schnittstelle RS-232 und ihre Bedienung 4.1 Serieller Anschluss Tabelle 4-1 Serielle Steckverbindung – Zusammenfassung EIA-Bezeichnung Beschreibung Abbildung 4-1 Serieller Anschluss – Aufbau...

  • Seite 113: Protokoll (Rs-232), Diagnose-Anschluss

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 4.2 Protokoll (RS-232), Diagnose-Anschluss ❑ ❑ ❑...

  • Seite 114: Datenaustausch Über Die Rs-232 Schnittstelle

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 4.3 Datenaustausch über die RS-232 Schnittstelle HINWEIS ❑ ❑ 4.3.1 Anweisungen zum Einrichten von Windows HyperTerminal ❑ ❑...
  • Seite 115 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...
  • Seite 116 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-2 Interne Betriebsparameter Abfrage Rückmeldung...

  • Seite 117: Interne Betriebsparameter

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-2 Interne Betriebsparameter (Fortsetzung)
  • Seite 118 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-2 Interne Betriebsparameter (Fortsetzung)
  • Seite 119 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-2 Interne Betriebsparameter (Fortsetzung)
  • Seite 120 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-3 Nicht-flüchtige Betriebsparameter Befehl Parameter ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 121: Nicht-Flüchtige Betriebsparameter

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-3 Nicht-flüchtige Betriebsparameter (Fortsetzung) 4-10...
  • Seite 122 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-3 Nicht-flüchtige Betriebsparameter (Fortsetzung) 4-11...

  • Seite 123: Spektrometer-Betriebsparameter

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-4 Spektrometer-Betriebsparameter Befehl Parameter Tabelle 4-5 Lecksuchmaßnahmen Befehl Maßnahme 4-12...
  • Seite 124 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-5 Lecksuchmaßnahmen (Fortsetzung) 4-13...
  • Seite 125 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 4-5 Lecksuchmaßnahmen (Fortsetzung) 4-14...

  • Seite 126: Inbetriebnahme Vs C15

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS HINWEIS Tabelle 4-6 Inbetriebnahme VS C15 RS232 Funktion Inbetriebnahme des Systems Vorgang und Rückmeldung HINWEIS HINWEIS 4-15...

  • Seite 127: Interne Kalibrierung Über Die Rs232-Schnittstelle

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 4.3.2 Interne Kalibrierung über die RS232-Schnittstelle 4-16...

  • Seite 128: Abschnitt 5. Der Profinet-Anschluss Und Seine Bedienung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abschnitt 5. Der Profinet-Anschluss und seine Bedienung 5.1 Protokoll (PROFINET-I/O) 5.1.1 Einführung in die PROFINET I/O-Schnittstelle 5.1.2 Einrichtung PROFINET I/O-Schnittstelle HINWEIS...

  • Seite 129: Vs-C15 Profinet Datenstruktur

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 5.2 VS-C15 ProfiNet Datenstruktur 5.2.1 PROFINET Eingabedaten ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...
  • Seite 130 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 131: Profinet Ausgabedaten

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 5.2.2 PROFINET Ausgabedaten ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 132: Konfiguration Und Status-Variablen-Schnittstelle

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ 5.2.3 Konfiguration und Status-Variablen-Schnittstelle...

  • Seite 133: Konfigurations- Und Status-Variablen

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 5.2.4 Konfigurations- und Status-Variablen Tabelle 5-1 Konfigurations- und Status-Variablen Index Variable Zugriff Beschreibung Antwort...

  • Seite 134: Konfigurations- Und Status-Variablen

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 5-1 Konfigurations- und Status-Variablen (Fortsetzung) Index Variable Zugriff Beschreibung Antwort HINWEIS Tabelle 5-2 Inbetriebnahme des VS-C15 Funktion bei Inbetriebnahme ProfiNet HINWEIS HINWEIS...

  • Seite 135: Interne Kalibrierung Über Den Optionalen Profinet-Anschluss

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 5.2.5 Interne Kalibrierung über den optionalen Profinet-Anschluss HINWEIS 5.2.6 Volle externe Kalibrierung über den optionalen Profinet-Anschluss HINWEIS...

  • Seite 136: Abschnitt 6. Wartung Und Instandhaltung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abschnitt 6. Wartung und Instandhaltung HINWEIS WARNUNG...
  • Seite 137 Komponenten-Lecksucherder Serie VS VORSICHT ® HINWEIS VORSICHT ® HINWEIS HINWEIS...

  • Seite 138: Planmäßige Wartung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 6-1 Planmäßige Wartung Beschreibung Täglich 12 Monate Tabelle 6-2 Bedarfsabhängige Wartung Funktion Häufigstes Symptom...

  • Seite 139: Tägliche Wartung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 6-3 Sicherungen und Trennschalter Funktion Typ, MFG, PIN Einbaulage HINWEIS 6.1 Tägliche Wartung 6.1.1 Empfindlichkeitsprüfung...

  • Seite 140: Ersatzteilliste

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS 6.2 Ersatzteilliste Tabelle 6-4 Ersatzteile für den Lecksucher Zusammenbau Teilenummer...

  • Seite 141: Lecksucher-Zubehörliste

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Tabelle 6-4 Ersatzteile für den Lecksucher (Fortsetzung) 6.3 Lecksucher-Zubehörliste Tabelle 6-5 Lecksucherzubehör Zusammenbau Teilenummer...

  • Seite 142: Anhang A. Beschreibung Der Hardware In Lecksuchern Der Serie Vs

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Anhang A. Beschreibung der Hardware in Lecksuchern der Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ A.1 Beschreibung der Spektrometerröhre...
  • Seite 143 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 144: Teilenummern Und Beschreibungen Der Pcbs

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS A.2 Teilenummern und Beschreibungen der PCBs ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ A.2.1 CPU-PCB ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 145: Pcb Der Hauptplatine

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ A.2.2 PCB der Hauptplatine ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 146: Ionenquellen-Pcb

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ A.2.3 Ionenquellen-PCB ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 147: Pcb Mit Turbosteuerung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ A.2.4 PCB mit Turbosteuerung ❑ ❑ ❑ ❑ A.2.5 PCB Bedienelement Vorderseite ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 148: Vorverstärker-Pcb

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ A.2.6 Vorverstärker-PCB ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ A.2.7 Temperatursensor PCB...

  • Seite 149: Diskretes I/O-Pcb

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS A.2.8 Diskretes I/O-PCB ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ A.2.9 PROFINET I/O-Modul...
  • Seite 150 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...
  • Seite 151 Komponenten-Lecksucherder Serie VS...

  • Seite 152: Anhang B. Vorgehensweisen Beim Austauschen

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Anhang B. Vorgehensweisen beim Austauschen B.1 VS-C15 Austausch im Feld: Teilenr. EXVSC15BU...

  • Seite 153: Konfigurieren Eines Im Feld Ausgetauschten Oder Neuen Vs-C15

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS B.1.1 Konfigurieren eines im Feld ausgetauschten oder neuen VS-C15 B.2 Austauschen der Turbopumpe ❑ ❑ ❑ ❑ WARNUNG...
  • Seite 154 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-1 Schrauben Geräteoberseite VORSICHT...
  • Seite 155 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ Abbildung B-2 NW25 Klemme mit Kalibrierungsleck nicht vorhanden Abbildung B-3 Kalibrierungsleck O-Ring...
  • Seite 156 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-4 Klemme NW25 zum Spektrometer Abbildung B-5 Klemme NW25 zum Spektrometer Abbildung B-6 Muttern der Pumpenfüße...
  • Seite 157 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-7 Testanschluss-Verbindung Abbildung B-8 Pumpe an Montage-Baugruppe...

  • Seite 158: Austauschen Des Gebläses

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS B.3 Austauschen des Gebläses ❑ ❑ WARNUNG...
  • Seite 159 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-9 Schrauben Geräteoberseite Abbildung B-10 Gebläsestecker...
  • Seite 160 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-11 Gebläsefilter Abbildung B-12 Schrauben außen am Gebläse...

  • Seite 161: Kalibrierungsleck

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-13 Unterlegscheibe/Mutter/Abstandsscheibe des Gebläses B.4 Kalibrierungsleck ❑ ❑ WARNUNG B-10...
  • Seite 162 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-14 Schrauben Geräteoberseite Abbildung B-15 Entlüftungsschraube der Turbo-Pumpe B-11...
  • Seite 163 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-16 Turbopumpenflansch Eingesetzter O-Ring Abbildung B-17 Eingesetzter Turbopumpenflansch B-12...
  • Seite 164 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-18 Eingesetztes Kalibrierungsleck Abbildung B-19 J7 Stecker und Ventil B-13...
  • Seite 165 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-20 J7 Stecker an der diskreten I/O-Platine Abbildung B-21 Anschluss Leckbaugruppen-Platine B-14...
  • Seite 166 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-22 Anschluss Hauptplatine ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ B-15...

  • Seite 167: Turbo-Reglerkarte

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ B.5 Turbo-Reglerkarte ❑ ❑ WARNUNG VORSICHT B-16...
  • Seite 168 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-23 Schrauben Geräteoberseite ❑ ❑ ❑ Kabel J5 Kabel J3 Kabel P2 Abbildung B-24 Verbindungen zur Turbo-Reglerkarte B-17...

  • Seite 169: Cpu-Karte

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-25 Schrauben der Turbo-Reglerkarte ❑ ❑ ❑ B.6 CPU-Karte ❑ ❑ WARNUNG VORSICHT B-18...
  • Seite 170 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-26 Schrauben Geräteoberseite Abbildung B-27 Stecker J100 B-19...
  • Seite 171 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-28 Befestigungsschrauben Abbildung B-29 Anschließen an die Hauptplatine B-20...

  • Seite 172: Ionenquellen-Platine

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-30 Untere Pins B.7 Ionenquellen-Platine ❑ ❑ WARNUNG VORSICHT B-21...
  • Seite 173 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-31 Schrauben Geräteoberseite ❑ ❑ Kabel P2 Kabel P4 Abbildung B-32 Anschlüsse B-22...
  • Seite 174 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-33 Befestigungsschrauben ❑ ❑ B-23...

  • Seite 175: Hauptplatine

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS B.8 Hauptplatine ❑ ❑ WARNUNG VORSICHT Abbildung B-34 Schrauben Geräteoberseite B-24...
  • Seite 176 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-35 Abstandshalter der Hauptplatine B-25...
  • Seite 177 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-36 Verkabelung der Hauptplatine Abbildung B-37 Befestigungsschrauben Hauptplatine B-26...

  • Seite 178: Diskrete I/O-Platine

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS B.9 Diskrete I/O-Platine ❑ ❑ WARNUNG VORSICHT Abbildung B-38 Schrauben Geräteoberseite B-27...
  • Seite 179 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ Abbildung B-39 Verkabelung der diskreten I/O-Platine ❑ ❑ Abbildung B-40 Profinet und I/O-Stecker ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ B-28...

  • Seite 180: Austauschen Des Kalibrierungslecks

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ B.10 Austauschen des Kalibrierungslecks ❑ ❑ WARNUNG Abbildung B-41 Schrauben Geräteoberseite B-29...
  • Seite 181 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-42 Verkabelung am Kalibrierungsleck Abbildung B-43 Entfernen der Klemme B-30...
  • Seite 182 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-44 Schrauben Kalibrierungsleck Abbildung B-45 Anschluss für die Leckbaugruppen-Platine B-31...
  • Seite 183 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ B-32...

  • Seite 184: Austauschen Des Spektrometerkopfs M1

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS B.11 Austauschen des Spektrometerkopfs M1 ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ WARNUNG HINWEIS Abbildung B-46 Schrauben Geräteoberseite B-33...
  • Seite 185 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ Abbildung B-47 Turbo-Entlüftung NW-16 zum Entlüften öffnen Abbildung B-48 NW-16 Entlüften B-34...
  • Seite 186 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-49 Zum Spektrometer führende Kabel VORSICHT Abbildung B-50 Schrauben Spektrometerabdeckung B-35...
  • Seite 187 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-51 Schrauben Spektrometerkopf-Baugruppe HINWEIS Abbildung B-52 Spektrometerbaugruppe, Ausbau B-36...
  • Seite 188 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-53 O-Ring HINWEIS Abbildung B-54 Innen im Spektrometergehäuse B-37...
  • Seite 189 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-55 Schrauben Kopfbaugruppe HINWEIS HINWEIS B-38...
  • Seite 190 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-56 Pin-Schaltplan Kopf der Ionenquelle B-39...

  • Seite 191: Austauschen Der Ionenquelle

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS B.12 Austauschen der Ionenquelle ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ WARNUNG HINWEIS Abbildung B-57 Schrauben Geräteoberseite B-40...
  • Seite 192 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ Abbildung B-58 Turbo-Entlüftung NW-16 öffnen zum Entlüften Abbildung B-59 Entlüftung des NW-16 B-41...
  • Seite 193 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-60 Zum Spektrometer führende Kabel VORSICHT Abbildung B-61 Schrauben Spektrometerabdeckung B-42...
  • Seite 194 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-62 Schrauben Spektrometerkopf-Baugruppe HINWEIS Abbildung B-63 Ausbau Spektrometerbaugruppe B-43...
  • Seite 195 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-64 O-Ring HINWEIS Abbildung B-65 Innen im Spektrometergehäuse B-44...
  • Seite 196 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Kollimator-Schraube Koppel-Schrauben Kammerkabel M5 Stützen- Schrauben Abbildung B-66 Ionen-Stützenbaugruppe VORSICHT M5 Stützen- Schrauben Abbildung B-67 M4 Stützen-Schrauben B-45...
  • Seite 197 Komponenten-Lecksucherder Serie VS HINWEIS Kollimatorkabel M2 Schraube Abbildung B-68 Partielle Druckplatte VORSICHT Ionenkammer M1,6 Schraube Kammerkabel Abbildung B-69 Extraktorplatte B-46...
  • Seite 198 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Flächen zur Ausrichtung des Filaments Filament- Baugruppe Koppel Abbildung B-70 Koppel- und Filament-Baugruppe Filament-Position Filament-Pfosten M2 Schraube und Unterlegscheibe Keramik-Position Koppel-Schraube Abbildung B-71 Filament-Position B-47...
  • Seite 199 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-72 Ausrichtung des Filaments HINWEIS HINWEIS Abbildung B-73 Pin-Schaltplan Kopf der Ionenquelle B-48...
  • Seite 200 Komponenten-Lecksucherder Serie VS B-49...

  • Seite 201: Austauschen Des Filaments

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS B.13 Austauschen des Filaments ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ WARNUNG HINWEIS HINWEIS B-50...
  • Seite 202 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-74 Schrauben Geräteoberseite ❑ ❑ Abbildung B-75 Turbo-Entlüftung B-51...
  • Seite 203 Komponenten-Lecksucherder Serie VS NW-16 öffnen zum Entlüften Abbildung B-76 Entlüftung des NW-16 Abbildung B-77 Zum Spektrometer führende Kabel VORSICHT B-52...
  • Seite 204 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-78 Schrauben Spektrometerabdeckung Abbildung B-79 Schrauben Spektrometerkopf-Baugruppe HINWEIS B-53...
  • Seite 205 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-80 Ausbau Spektrometerbaugruppe Abbildung B-81 O-Ring B-54...
  • Seite 206 Komponenten-Lecksucherder Serie VS HINWEIS Abbildung B-82 Innen im Spektrometergehäuse Flächen zum Ausrichten des Filaments Filament- Baugruppe Koppel Abbildung B-83 Koppel-Schrauben B-55...
  • Seite 207 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Flächen zum Ausrichten des Filaments Filament- Baugruppe Koppel Abbildung B-84 Koppel- und Filament-Baugruppe B-56...
  • Seite 208 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Filament-Position Filament-Pfosten M2 Schraube und Unterlegscheibe Keramik-Position Koppel-Schraube Abbildung B-85 Filament-Position Abbildung B-86 Ausrichtung des Filaments HINWEIS B-57...
  • Seite 209 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung B-87 Pin-Schaltplan Kopf der Ionenquelle B-58...

  • Seite 210: Anhang C. Fehlersuche

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Anhang C. Fehlersuche C.1 Service 1/Service 2 Befehle C.1.1 SERVICE1...

  • Seite 211: Service2

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS C.1.2 SERVICE2...
  • Seite 212 Komponenten-Lecksucherder Serie VS C.2 Error message [Fehlermeldung] Warten auf Systemdruck wird auf der Anzeige an der Gerätevorderseite angezeigt ❑ ❑...
  • Seite 213 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ Die Fehlermeldung System Not Ready (System nicht bereit) ist nun auf der Anzeige an der Gerätevorderseite zu sehen. ❑ ❑ ❑ Die Fehlermeldung Offset Fault (Versatzfehler) und ein blinkendes C werden im Anschluss an einen Kalibrierungsversuch auf der Anzeige an der Gerätevorderseite angezeigt...
  • Seite 214 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ Die Fehlermeldung Offset Fault (Versatzfehler) und ein blinkendes C werden im Anschluss an einen Kalibrierungsversuch auf der Anzeige an der Gerätevorderseite angezeigt. ❑ ❑ ❑ ❑...
  • Seite 215 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ Die Fehlermeldung Spec Tube (Spektrometerröhre) ist nun auf der Anzeige an der Gerätevorderseite zu sehen.
  • Seite 216 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung C-1 Spektrometer (Ionenquellen-Baugruppe) Vorverstärker- Extender Kopfflansch Reflektor Leitvorrichtungs- Elektronik Filament Faraday- Platte Erdungsplat Kollimator Entstörungs baugruppe Abbildung C-2 Spektrometerkopf: Zersetzung...
  • Seite 217 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung C-3 Vorverstärkerkarte - Messpunkte VORSICHT Tabelle C-1 Spektrometerkopf, Vorverstärkerkarte J1 Pin-Zuweisungen Die Fehlermeldung Both Filaments No Emission (Beide Filamente Keine Emission) wird auf der Anzeige an der Gerätevorderseite angezeigt...
  • Seite 218 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ HINWEIS ❑...
  • Seite 219 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ C-10...

  • Seite 220: Betriebsfehler

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS C.3 Betriebsfehler HINWEIS Die Fehlermeldung Gain Too High (Verstärkung zu hoch) und ein blinkendes C werden nach einem Kalibrierungsversuch in der Anzeige vorne am Gerät angezeigt. ❑ ❑ Unzureichendes Heliumsignal während der Kalibrierung – Verstärkung > 9,0 intern, Verstärkung >...
  • Seite 221 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ Die Fehlermeldung Gain Too Low (Verstärkung zu niedrig) und ein blinkendes C werden nach einem Kalibrierungsversuch in der Anzeige vorne am Gerät angezeigt. Zu starkes Heliumsignal während der Kalibrierung - Verstärkung < .1. ❑...
  • Seite 222 Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung C-4 Ionenquellen-Platine – Messpunkte Die Fehlermeldung No Ion Peak (keine Ionenspitze) und ein blinkendes C werden nach einem Kalibrierungsversuch in der Anzeige vorne am Gerät angezeigt. Ausgabe aus dem A/D-Konvertierer an der Vorverstärker-Platine ist konstant (keine Änderung beim Lesen).
  • Seite 223 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ Problem der I/O-Platine ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 224: Funktionsprobleme

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS C.4 Funktionsprobleme Starker Helium-Hintergrund - nach einer vollständigen Kalibrierung bei abgeblendetem Testanschluss ❑ ❑ Unstabiler Leckratenwert - (Test- und Feintest-Betriebsmodi) ❑ ❑ C-15...
  • Seite 225 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ Anzeige an der Gerätevorderseite – Schwierigkeit beim Auswählen von Menüs oder beim Aktivieren/Deaktivieren von Funktionen/Optionen ❑...

  • Seite 226: Anhang D. Lecksuche - Einführung

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Anhang D. Lecksuche - Einführung D.1 Leckprüfung – warum ist sie erforderlich? ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ D.2 Helium-Lecksuchtechnologien von Agilent ❑ ❑...
  • Seite 227 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ Abbildung D-1 Prinzip der magnetischen Abscheidung ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 228: Methoden Der Lecksuche

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung D-2 Selektiver Ionenpumpen-Sucher D.3 Methoden der Lecksuche...

  • Seite 229: Vakuum-Test „Outside-In" (Von Außen Nach Innen)

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS D.3.1 Vakuum-Test „Outside-in“ (von außen nach innen) D.3.1.1 Lokalisieren von Lecks Abbildung D-3 Lokalisieren von Lecks: Outside In (von außen nach innen) D.3.1.2 Leckmessung Abbildung D-4 Leckmessung: Outside In (von außen nach innen)

  • Seite 230: Drucktest (Inside-Out, Von Innen Nach Außen)

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS D.3.2 Drucktest (Inside-out, von innen nach außen) D.3.2.1 Leckmessung Abbildung D-5 Leckmessung: Inside Out (von innen nach außen) D.3.2.2 Lokalisieren von Lecks...

  • Seite 231: Lecktests Bei Anlagen

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Abbildung D-6 Lokalisieren von Lecks: Inside Out (von innen nach außen) D.3.2.2.1 Anreicherungstest Abbildung D-7 Anreicherung: Inside Out (von innen nach außen) D.3.3 Lecktests bei Anlagen...
  • Seite 232 Komponenten-Lecksucherder Serie VS D.3.3.1 Vakuumsysteme Abbildung D-8 Vakuumsystem D.3.3.2 Druckanlagen...

  • Seite 233: Typische Lecksuch-Anwendungen

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS D.4 Typische Lecksuch-Anwendungen D.4.1 Qualitätskontrolle von Fertigungsteilen und Baugruppen ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ D.4.2 Wartung von Anlagen ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...

  • Seite 234: In Das System Integrierte Lecksuche

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ D.4.3 In das System integrierte Lecksuche ❑ ❑ ❑ D.4.4 Massenfertigungsteile ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑...
  • Seite 235 Komponenten-Lecksucherder Serie VS ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ ❑ D-10...

  • Seite 236: Anhang E. Technische Daten

    Komponenten-Lecksucherder Serie VS Anhang E. Technische Daten E.1 Technische Daten Tabelle E-1 Lecksucher-Serie – Technische Daten Technische Daten Beschreibung...
  • Seite 240 Trocken laufende TriScroll 600 VakuumPumpe Vacuum Products Division Anleitung für Warenrücksendungen Sehr geehrter Kunde, bitte beachten Sie die nachfolgende Anleitung, wenn Sie Waren an uns zurücksenden. 1) Füllen Sie den beigefügten “Antrag für Warenrücksendungen” vollständig aus und senden Sie ihn an Agilent Technologies (siehe unten).
  • Seite 241 Trocken laufende TriScroll 600 VakuumPumpe Vacuum Products Division Antrag für Warenrücksendungen (Gesundheits- und Sicherheitserklärung) Beachten Sie bitte die wichtigen Regelungen auf Seite 3, gültig für alle Rücksendungen. 1) FIRMENNAME UND ADRESSE Firmenname: Kontaktperson: Tel: Email: Fax: Versandanschrift: Rechnungsanschrift: Nur in Europa: USt.ID Nummer: Nur in USA/Kanada: Versteuerbar Nicht Versteuerbar...
  • Seite 242 Trocken laufende TriScroll 600 VakuumPumpe Vacum Products Division Antrag für Warenrücksendungen (Gesundheits- und Sicherheitserklärung) Bitte benutzen Sie folgende Fehlerbezeichnungen, um die Art des Problems mit dem Produkt auf Seite 2 zu beschreiben. TURBOPUMPE / TURBOCONTROLLER ART DES DEFEKT / FEHLFUNKTION POSITION PARAMETER - Geräusch...
  • Seite 243 Komponenten-Lecksucher der Serie VS...

  • Seite 245: Service & Support

    Service & Support Nordamerika Indien Südostasien Agilent Technologies Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Vacuum Products Division Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue G01. Prime Corporate Park, Unit 201, Level 2 uptown 2, Lexington, MA 02421, USA 230/231, Sahar Road, 2 Jalan SS21/37, Damansara Uptown...

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