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Schichtdickenmessung Zylindrischer Beschichteter Proben - BAQ kaloMAX II Handbuch

Kalottenschleifgerät
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Auswertung der Kalotten
9.2

Schichtdickenmessung zylindrischer beschichteter Proben

Wird die Kalotte in eine zylindrische Probe geschliffen, ergeben sich Ellipsen
anstelle der Ringe. Die Schichtdicke wird mit der gleichen Formel berechnet wie
bei ebenen Proben. D und d müssen dazu unbedingt auf der Längsachse der
Ellipse bestimmt werden. Die folgende Abbildung verdeutlicht das Prinzip
anhand eines Zweischichtsystems:
Abbildung 5: Schichtdickenmessung auf einer zylindrischen Probe
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