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Auswertung der Kalotten
Das Kalottenschleifverfahren ermöglicht die Schichtdickenmessung von Ein-
und Mehrlagenschichten auf Proben unterschiedlicher Geometrie. Aufgrund
der „Schichtverbreiterung" durch den Kalottenschliff, kann die Auswertung mit
einem
normalen
Auswertesoftware wird kaloSOFT empfohlen.
Weitere Informationen über GSX-500 und kaloSOFT auf www.baq.de
9.1
Schichtdickenmessung ebener beschichteter Proben
Damit die Schichtdicke der zu prüfenden Beschichtung bestimmt werden kann,
muss die Schlifftiefe größer als die Schichtdicke sein. In diesem Fall ist jede
einzelne Schicht unter dem Mikroskop sichtbar und kann ausgemessen werden.
Abbildung 4: Schichtdickenmessung auf einer ebenen Probe
Auflichtmikroskop
Auswertung der Kalotten
(z.B.
GSX-500)
Bezeichnungen
h: gesuchte Schichtdicke
R: Kugelradius
T: gesamte Eindringtiefe
t: Eindringtiefe in das Substrat
D: äußerer Kalottendurchmesser
d: innerer Kalottendurchmesser
erfolgen.
Als
19
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