Verwandte Anleitungen für Mitutoyo FS 70
Inhaltszusammenfassung für Mitutoyo FS 70
- Seite 1 Nr. 99MBA014D2 SERIE Nr. 378 FS 70 Mikroskop BEDIENUNUNGSANLEITUNG Lesen Sie diese Bedienungsanleitung vor der Inbetriebnahme des Gerätes sorgfältig durch und halten Sie sie griffbereit.
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Seite 3: Symbolerklärungen In Diesem Handbuch
Symbolerklärungen in diesem Handbuch Sicherheitsmaßnahmen Die in diesem Handbuch benutzten Symbole sollen die korrekte Bedienung des Mikroskops erleichtern und vor möglichen Personen- oder Sachschäden warnen. Folgende Symbole weisen auf allgemeine Gefahren hin (Warnhinweise und Vorsichtsmaßnahmen). Hinweis auf eine mögliche, gefährliche Situation, die zu schweren Verletzungen oder zum Tod führen kann, wenn sie nicht vermieden wird. -
Seite 4: Hinweise Und Tipps In Diesem Handbuch
Vorgehensweisen seinen speziellen Anforderungen entsprechend zu nutzen. Ein Tipp bietet auch Referenz-Informationen zu dem im Text behandelten Thema. Mitutoyo übernimmt keine Haftung gegenüber irgendeiner Partei für Schäden oder Verluste, die direkt oder indirekt, durch eine nicht diesem Handbuch entsprechende Nutzung verursacht werden. -
Seite 5: Vorsichtsmaßnahmen Beim Gebrauch
Stromschlägen führen. 3) Auf korrekte Erdung des Mikroskops achten! WARNUNG 4) Wenden Sie sich vor dem Auswechseln der Sicherung an Mitutoyo. 5) Nur die angegebenen Leuchtmittel verwenden! Verwendung ungeeigneter Leuchtmittel kann Geräteausfall oder Feuer verursachen. (Angegebenes Leuchtmittel: JCR12V100W10H) 6) Leuchtmittel und umgebende Bauteile vor dem Auswechseln abkühlen lassen! (Empfohlene Dauer: ca. -
Seite 6: Installationsbedingungen
Installationsbedingungen Um eine optimale Leistungsfähigkeit und Sicherheit der optischen Präzisionsgeräte dieser Serie zu gewährleisten, achten Sie unbedingt auf Einhaltung der folgenden Umgebungsbedingungen. 1. Erschütterungen WICHTIG Der Aufstellungsort sollte möglichst frei von Erschütterungen sein. Wenn das Mikroskop über längere Zeit in einer Umgebung mit starken Erschütterungen benutzt wird, können Probleme an den Präzisionsbauteilen auftreten und die Betrachtungsqualität kann sich verschlechtern. -
Seite 7: Entsorgung Alter Elektrischer Und Elektronischer Geräte
Entsorgung alter elektrischer und elektronischer Geräte (gilt für die Europäische Union und andere europäische Staaten mit Systemen zur separaten Entsorgung) Dieses Symbol auf einem Produkt oder seiner Verpackung zeigt an, dass das Produkt nicht über den Hausmüll entsorgt werden darf. Um schädliche Einflüsse auf die Umwelt durch WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment (elektrische und elektronische Abfälle)) zu verringern und das Volumen von WEEE auf Mülldeponien zu minimieren, sollen Elektrogeräte wieder verwendet oder verwertet werden. -
Seite 8: Inhaltsverzeichnis
INHALTSVERZEICHNIS Symbolerklärungen in diesem Handbuch ........i ....................Sicherheitsmaßnahmen........... i ................................. Hinweise und Tipps in diesem Handbuch........ii ....................Vorsichtsmaßnahmen beim Gebrauch ........iii ...................... - Seite 9 3.6 Betrachtung bei polarisiertem Licht........... 3.7 DIC- (Differential Interference Contrast) Betrachtung ..(nur bei FS70 und FS70Z) 3.8 Bedienung des Schwenkkopfs..........3.8.1 Betrachtungshöhe (-winkel) des Binokulars einstellen ........3-6 3.8.2 Strahlengang umschalten.............3-6 4 Inspektion und Wartung ..............................4-1 ..
- Seite 10 MEMO viii Nr. 99MBA014D2...
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Seite 11: Übersicht
Funktion der einzelnen Bauteile. Diese Bedienungsanleitung gilt für verschiedene FS70-Modelle. Übersicht Die Mikroskope der Serie FS70 von Mitutoyo werden überwiegend in Systemen zur Fehleranalyse eingesetzt. Sie zeichnen sich durch folgende Merkmale aus: Hervorragende Eigenschaften zur Inspektion von Präzisionswerkstücken wie Halbleiterwafern und Magnetköpfen. -
Seite 12: Systemkonfiguration
1.2.2 Systemkonfiguration Das System besteht aus folgenden Komponenten: DIC-Einheit Trinokular-Tubus 0:100 Nr. 378-156 Polarisationseinheit Nr. 378-092 FS70 (Nr. 378-184-1) FS70-TH (Nr. 378-184-3) FS70Z (Nr. 378-185-1) FS70Z-TH (Nr. 378-185-3) FS70-S (Nr. 378-184-2) FS70-THS (Nr. 378-184-4) FS70-ZS (Nr. 378-185-2) FS70Z-THS (Nr. 378-185-4) motorischer Revolver motorische motorischer Revolver... - Seite 13 1. Übersicht TV-System YAG Laser YAG Lasereinheit (1064/532/355 nm) (1064/532/355 nm) Polarisationseinheit Nr. 378-094 0,5x Adapter Polarisationseinheit Nr. 375-054 Nr. 378-093 Adapter B Nr. 378-042 Okular FS70L (Nr. 378-186-1) FS70L-TH (Nr. 378-186-3) FS70L4 (Nr. 378-187-1) FS70L4-TH (Nr. 378-187-3) FS70L-S (Nr. 378-186-2) FS70L-THS (Nr.
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Seite 14: Bezeichnung Und Funktion Der Einzelnen Bauteile
1.3 Bezeichnung und Funktion der einzelnen Bauteile Dieser Abschnitt gibt die Bezeichnungen und Funktionen der verschiedenen Bauteile des Systems an. 1.3.1 Mikroskop 1) FS70 5) TV/Kamera-Adapter-Anschluss (Okular) 2) Fokussierungseinheit 1) Hebel für Aperturblende Binokular trinokularer Tubus Feineinstellrad Grobeinstellrad 9) Analysator-Steckplatz 8) Steckplatz für Polarisator 10) DIC-Steckplatz... - Seite 15 1. Übersicht 3) FS70L 6) Lasereingang (Okular) 2) Fokussierungseinheit 1) Hebel für Aperturblende Binokular 7) Strahlengang-Umschaltung trinokularer Tubus Feineinstellrad Grobeinstellrad 9) Analysator-Steckplatz 8) Polarisator-Steckplatz 3) Revolver (Sonderzubehör) (Objektiv) 4) FS70L4 6) Lasereingang (Okular) 2) Fokussierungseinheit Binokular 7) Strahlengang-Umschaltung 1) Hebel für Aperturblende trinokularer Tubus Feineinstellrad 11) Hebel für GIF-Filter-...
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Seite 16: Fiberoptische Beleuchtung (Glasfaserlicht)(Sonderzubehör)
⑦ Strahlengang-Umschaltung: Für Binokular-Verwendung Umschaltknopf eindrücken, für Laserbearbeitung oder Betrachtung auf dem TV-Monitor Umschaltknopf heraus ziehen. (Nur bei FS70L und FS70L4.) ⑧ Polarisator-Steckplatz: Öffnung zum Einsetzen des Polarisators. Die Polarisierungsrichtung ist bei FS70, FS70Z und FS70L fest vorgegeben; bei FS70L4 kann sie um bis zu 180° gedreht werden. -
Seite 17: Aufbau
Prüfen Sie beim Auspacken, ob Bauteile und Zubehör komplett sind und ob das FS70 beim Versand nicht beschädigt wurde. Bei Fragen wenden Sie sich an den Händler oder Ihre nächste Mitutoyo-Niederlassung. 2.2 Aufbau und Einstellung Nach dem Aufbauen des FS70 prüfen Sie sämtliche Funktionen, wie in den Abschnitten 2.2.1 bis 2.2.10 beschrieben. -
Seite 18: Anbringen Des Revolvers
2.2.2 Anbringen des Revolvers Setzen Sie den Revolver (Sonderzubehör) in den optischen Tubus ein, wie nachfolgend beschrieben. Revolver festhalten und so ausrichten, dass die beiden Stifte in die Bohrungen am ① optischen Tubus passen, dann nach oben schieben. Revolver weiter festhalten und mit einem Innensechsschlüssel (SW 1,5 mm) die ②... -
Seite 19: Einsetzen Der Objektive
2. Aufbau 2.2.3 Einsetzen der Objektive Entfernen Sie die Abdeckkappen vom Revolver und schrauben Sie die Objektive ein. Es können maximal 4 Objektive eingesetzt werden. Falls Sie einen Revolver mit Zentriermechanismus verwenden muss das Objektiv mit dem größten Vergrößerungsfaktor in die Referenzöffnung ohne Zentriermechanismus eingesetzt werden. -
Seite 20: Aperturblende Zentrieren
2.2.6 Aperturblende zentrieren Die Aperturblende wurde werksseitig so ausgerichtet, dass der Blenden-Mittelpunkt mit dem des Strahlengangs oder des Sehfelds übereinstimmt. Falls eine Neuausrichtung erforderlich ist, weil der Blenden-Mittelpunkt dezentriert ist, gehen Sie vor wie im Folgenden beschrieben. Nehmen Sie eines der Okulare ab und schauen Sie vom optischen Tubus aus in das ①... -
Seite 21: Ccd-Kamera Montieren
2. Aufbau 2.2.7 CCD-Kamera montieren Hier wird das Anbringen einer vom Anwender bereit gestellten CCD-Kamera erläutert. Um die CCD-Kamera optimal nutzen zu können, sind - je nach verwendeter Kamera - weitere Einstellungen erforderlich. Diese Einstellungen werden in Abschnitt 2.2.8 beschrieben. Bei Modell FS70, FS70Z und FS70ZL Halten Sie den Adapter B (Sonderzubehör) bereit. -
Seite 22: Fokalebene Der Kamera Einstellen
2.2.8 Fokalebene der Kamera einstellen Richten Sie die Kamera in der optischen Achse so aus, dass sich der Brennpunkt bei Änderung des Vergrößerungsfaktors nicht wesentlich ändert. Prüfen Sie die Position der Fokalebene wie nachfolgend beschrieben und stellen Sie sie bei Bedarf ein. Schauen Sie in das Okular und bringen Sie den Indexpunkt als Referenz in den Mittelpunkt ①... -
Seite 23: Laser-Einheit Montieren
2. Aufbau 2.2.9 Laser-Einheit montieren Gehen Sie beim Einsetzen der Laser-Einheit in die Laser-Aufnahme und der Montage auf den Laser-Eingang vor, wie nachfolgend beschrieben. Richten Sie den Knopf zum Lösen der Sicherheitsvorrichtung an der Laser-Einheit auf ① den Stift an der Laser-Aufnahme aus und setzen Sie die Laser-Einheit in den Laser-Eingang ein. -
Seite 24: Benutzerdefinierte Einstellungen
2.2.10 Benutzerdefinierte Einstellungen Pupillendistanz, Dioptrien und optimale Helligkeit variieren von Anwender zu Anwender. Vor jeder Nutzung des Mikroskops muss der Anwender die folgenden Einstellungen vornehmen. 1) Dioptrie-Einstellung Stellen Sie die Dioptrie des Okulars ein wie folgt: Drehen Sie den Dioptrie-Einstellring des Okulars bis die untere Ringkante auf die weiße ①... -
Seite 25: Bedienung
３ ３ ３ ３ Bedienung In diesem Kapitel ist die Bedienung des Mikroskops für die unterschiedlichen Anwendungen erläutert. 3.1 Fokussierung Drehen Sie den Revolver und wählen Sie das Objektiv mit der kleinsten Vergrößerung. ① Drehen Sie das Grobeinstellrad an der Fokussierungseinheit, um die Mikroskopeinheit ②... -
Seite 26: Strahlengang Umschalten (Nur Bei Fs70L Und Fs70L4)
Strahlengang umschalten (nur bei FS70L und FS70L4) Die Mikroskope mit Laser-Unterstützung sind mit einem Mechanismus zum Umschalten des Strahlengangs ausgerüstet. Als Übertragungsverhältnis zwischen dem Strahlengang bei binokularer Betrachtung und dem bei Laser-Einsatz kann wahlweise 100 % : 0 % oder 0 % : 100 % eingestellt werden. -
Seite 27: Bedienung
3. Bedienung 3.5 Verwendung der Filter Für die Serie FS70 stehen verschiedene Filter als Sonderzubehör zur Verfügung. Wählen Sie für die jeweilige Anwendung den geeigneten Filter aus. Bei den Modellen FS70, FS70L und FS70L4 werden die Filter in die Aufnahme für das Glasfaserlicht auf der linken Seite der Mikroskopeinheit und in die optionale fiberoptische Beleuchtung eingesetzt. -
Seite 28: Betrachtung Bei Polarisiertem Licht
Betrachtung bei polarisiertem Licht Die Betrachtung bei polarisiertem Licht dient der Untersuchung spezieller optischer Eigenschaften des Werkstücks und erfolgt mit Hilfe der Polarisator-Einheit (Polarisator und Analysator), die als Sonderzubehör erhältlich ist. Die Vorgehensweise bei den unterschiedlichen Mikroskop-Modellen ist nachfolgend beschrieben. 1) 1) 1) 1) Bei Modell FS70 und FS70L Setzen Sie den Polarisator bis zum Anschlag in den Steckplatz in der Aufnahme für die fiberoptische Beleuchtung links und den Analysator in den Schlitz rechts am Mikroskop... -
Seite 29: Dic- (Differential Interference Contrast)Betrachtung
3. Bedienung Bei Modell FS70L4 Setzen Sie den Polarisator bis zum Anschlag in den Steckplatz in der Aufnahme für die fiberoptische Beleuchtung links und die beiden Analysatoren in die Schlitze rechts am Mikroskop ein. Der Analysator kann um 180° gedreht werden. Polarisator Analysator HINWEIS... -
Seite 30: Bedienung Des Schwenkkopfs
Bedienung des Schwenkkopfs Hier wird die Bedienung des Mikroskops mit schwenkbarem Binokulartubus beschrieben. 3.8.1 Betrachtungshöhe (-winkel) des Binokulars einstellen ① Lösen Sie die Klemmschraube auf der rechten Seite des Schwenkkopfs. ② Halten Sie den Tubus mit einer Hand fest und schwenken Sie ihn in die gewünschte Position. Ziehen Sie die Klemmschraube wieder an. -
Seite 31: Inspektion Und Wartung
４ Inspektion und Wartung Dieses Kapitel beschreibt die tägliche Wartung der FS70 Mikroskope wie z. B. Reinigen und Auswechseln von Verbrauchsartikeln. Tägliche Wartung Um die optimale Leistung und eine lange und sichere Nutzung des Mikroskops zu gewährleisten, sollte das Gerät täglich geprüft und gewartet werden. Staub und Schmutz beeinträchtigen die Funktion des Mikroskops. -
Seite 32: Regelmäßige Inspektionen
Das FS70 Mikroskop sollte in regelmäßigen Abständen von einem Service-Techniker überprüft werden, um seine volle Leistungsfähigkeit zu erhalten. Wenden Sie sich an Ihren Händler oder direkt an Mitutoyo. Leuchtmittel auswechseln Das Leuchtmittel ist ein Verbrauchsartikel. Informationen über das Auswechseln finden Sie in der Bedienungsanleitung der fiberoptischen Beleuchtung. -
Seite 33: Fehler Und Abhilfen
Bei Fehlfunktionen des FS70 Mikroskops versuchen Sie zunächst, das Problem anhand der folgenden Tabellen zu diagnostizieren und zu beheben. Sollte dies nicht gelingen, wenden Sie sich an Ihren Fachhändler oder an den Mitutoyo-Kundendienst. Probleme bei der Betrachtung Symptom Mögliche Ursachen Abhilfen... -
Seite 34: Probleme Bei Der Bedienung
5.2 Probleme bei der Bedienung Symptom Mögliche Ursachen Abhilfen siehe Bei Binokular- 1) Pupillenabstand für den Anwender 1) Pupillenabstand richtig 2.2.10 betrachtung kommen richtig eingestellt? einstellen rechtes und linkes Bild nicht zusammen schnelle Augen- 1) Dioptrie-Einstellung für den 1) Dioptrie-Einstellung 2.2.10 ermüdung bei der Anwender korrekt? -
Seite 35: Spezifikationen
６ Spezifkationen diesem Kapitel finden Spezifikationen Standardkomponenten der FS70 Mikroskope sowie das Standard- und Sonderzubehör für die Serie. Mikroskop FS70 FS70-TH FS70Z FS70Z-T FS70L FS70L-T FS70L4 FS70L4-T Modell FS70-S FS70-TH FS70Z-S FS70L-S FS70L4- FS70Z-TH FS70L-TH FS70L4-TH 378-184-1 378-184-3 378-185-1 378-185-3 378-186-1 378-186-3 378-187-1... -
Seite 36: Laser-Aufnahme
Laser-Aufnahme 79,6 Abstand zwischen Lasereingang und Maske (mm) ＦＳ７０Ｌ ＦＳ７０Ｌ４ Modell ３５５ ５３２ １０６４ ２６６ ５３２ Wellenlänge (nm) Obergrenze für ２６ １７ ７１ ２４ ３２ Lasereingabe (mJ / cm pro Impuls) min. 5 min. 5 min. 5 min. 5 min. 5 Impulsdauer (ns) ７０... -
Seite 37: Sonderzubehör
6. Spezifikationen Sonderzubehör FS70/ FS70-S FS70Z/ FS70Z-S FS70L/ FS70L-S FS70L4/ Best.-Nr. Bezeichnung FS70-TH/ FS70ZTH/ FS70LTH/ FS70L4-S FS70-THS FS70Z-THS FS70L-THS FS70L4TH/ FS70L4-THS *）Details ○ ○ ○ ○ 378-856 Okularpaar 10X siehe nächste ○ ○ ○ ○ 378-857 Okularpaar 15X Seite ○ ○... - Seite 38 FS70L4/ FS70/ FS70-S FS70Z/ FS70Z-S FS70L/ FS70L-S FS70L4-S Best.-Nr. FS70-TH/ FS70Z-TH/ FS70L-TH/ Bezeichnung FS70L4-TH/ FS70-THS FS70Z-THS FS70L-THS FS70L4-THS ▼ Farbfilter (für externe ○ ○ ○ ○ 12AAB252 Kaltlichtquelle) ＮＤ８ ▼ Farbfilter (für externe ○ ○ ○ ○ 12BAA583 Kaltlichtquelle) ＧＩＦ ▼...
- Seite 39 Außendurchmesser: 26 mm, 36 Gewindegänge/ Zoll: gemäß JIS B-7141 Einschraubgewinde FS70L4 für Modelle Neben den oben genannten Objektiven bietet Mitutoyo noch zahlreiche weitere an. Genaue Informationen finden Sie im entsprechenden Prospekt. Achten Sie bei Laser-Einsatz unbedingt darauf, die NIR/NUV/UV-Objektive zu WICHTIG verwenden.
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Seite 40: Spezifikationen Der Objektive Und Okulare
Spezifikationen der Objektive und Okulare <Serie FS UL WD> M plan-apochromatische Okular WF (großes Sehfeld) Objektive ＷＦ１０×２４ ＷＦ１５×／１６ ＷＦ２０×／１２ (für Hellfeld) Tubus-Objektiv 1x Tubus-Objektiv 1x Tubus-Objektiv 1x T.M. F.D. T.M. F.D. T.M. F.D. Ｍ N.A. ((m) ((m) ((m) ((m) 1× 0,025 11,0 10×... - Seite 41 6. Spezifikationen <Serie FS UL WD NUV> Okular WF (großes Sehfeld) M Plan Apo NUV Objektive ＷＦ１０×２４ ＷＦ１５×／１６ ＷＦ２０×／１２ (für Hellfeld) Tubus-Objektiv 1x Tubus-Objektiv 1x Tubus-Objektiv 1x ∅ ∅ ∅ Ｍ N.A. T.M. F.D. T.M. F.D. T.M. F.D. W.D. (μm) (μm) (μm) (μm)
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Seite 42: Layout Des Optischen Systems
6.6 Layout des optischen Systems (1) FS70, FS70-S Zwischenbild Zwischenbild Zwischenbild Lichtquelle (Glasfaserlicht) Halbspiegel Objektiv-Position Werkstück (2) FS70-TH, FS70-THS Zwischenbild Zwischenbild Zwischenbild Lichtquelle (Glasfaserlicht) Halbspiegel Objektiv-Position Werkstück 6 - 8 Nr. 99MBA014D2... - Seite 43 6. Spezifikationen (3) FS70Z, FS70Z-S Zwischenbild Zwischenbild Lichtquelle (Glasfaserlicht) Zwischenbild Halbspiegel Spiegel Objektiv-Position Werkstück (4) FS70Z-TH, FS70Z-THS Zwischenbild Zwischenbild Lichtquelle (Glasfaserlicht) Zwischenbild Halbspiegel Spiegel Objektiv-Position Werkstück 6 - 9 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 44 (5) FS70L, FS70L-Z Lasermaskenposition Laserschutzfilter Zwischenbild Zwischenbild Prisma zur Strahlengang-Umschaltung Lichtquelle Halbspiegel (Glasfaserlicht) Objektiv-Position Werkstück (6) FS70L-TH, FS70L-THS Lasermaskenposition Zwischenbild Laserschutzfilter Zwischenbild Lichtquelle Halbspiegel (Glasfaserlicht) Objektiv-Position Werkstück 6 - 10 Nr. 99MBA014D2...
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Seite 45: Spezifikationen
6. Spezifikationen (7) FS70L4, FS70L4-S Lasermaskenposition Zwischenbild Laserschutzfilter Zwischenbild Prisma zur Strahlengang-Umschaltung Zwischenbild Halbspiegel Lichtquelle (Glasfaserlicht) Spiegel Spiegel Halbspiegel Objektiv-Position Werkstück (8) FS70L4-TH, FS70L4-THS Lasermaskenposition Zwischenbild Laserschutzfilter Zwischenbild Zwischenbild Halbspiegel Lichtquelle (Glasfaserlicht) Spiegel Halbspiegel Spiegel Objektiv-Position Werkstück 6 - 11 Nr. -
Seite 46: Abmessungen
6.7 Abmessungen (1) FS70 Einheit: mm (Inch) Zwischenbild- position vertikaler Pupillen- Verfahrbereich position 4-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 12 Nr. 99MBA014D2... - Seite 47 6. Spezifikationen (2) FS70-S Einheit: mm (Inch) Zwischenbild- position vertikaler Pupillen- Verfahrbereich position 5-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 13 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 48 (3) FS70-TH Einheit: mm (Inch) Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 4-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 14 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 49 6. Spezifikationen (4) FS70-THS Einheit: mm (Inch) Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 5-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 15 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 50 Einheit: mm (Inch) (5) FS70Z Zwischenbild- position vertikaler Pupillen- Verfahrbereich position 4-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 16 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 51 6. Spezifikationen Einheit: mm (Inch) (6) FS70Z-S Zwischenbild- position vertikaler Pupillen- Verfahrbereich position 5-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 17 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 52 Einheit: mm (Inch) (7) FS70Z-TH Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 4-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 18 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 53 6. Spezifikationen Einheit: mm (Inch) (8) FS70Z-THS Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 5-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 19 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 54 Einheit: mm (Inch) (9) FS70L Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 4-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 20 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 55 6. Spezifikationen Einheit: mm (Inch) (10) FS70L-S Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 5-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 21 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 56 Einheit: mm (Inch) (11) FS70L-TH Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 4-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 22 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 57 6. Spezifikationen Einheit: mm (Inch) (12) FS70L-THS Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 5-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 23 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 58 Einheit: mm (Inch) (13) FS70-L4 Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 4-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 24 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 59 6. Spezifikationen Einheit: mm (Inch) (14) FS70L4-S Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 5-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 25 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 60 Einheit: mm (Inch) (15) FS70L4-TH Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 4-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 26 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 61 6. Spezifikationen Einheit: mm (Inch) (16) FS70L4-THS Zwischenbild- position Pupillen- vertikaler position Verfahrbereich 5-M4 Tiefe 8 Position der Montagebohrungen 6 - 27 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 62 MEMO 6 - 28 Nr. 99MBA014D2...
- Seite 64 Mitutoyo Europe GmbH Borsigstr. 8 -10 41469 Neuss T +49 (0)2137 -102-0 F +49 (0)2137 - 86 85 info@mitutoyo.de www.mitutoyo.eu...