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Bestimmungsgemäßer Gebrauch; Funktion - INFICON Edge CDG045D2 Gebrauchsanleitung

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Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild.
Nicht beschriftete Abbildungen entsprechen einer Messröhre mit
Stecker D-Sub 15-polig und Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF.
Sie gelten sinngemäß auch für die anderen Messröhren.
Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehal-
ten.
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Die temperaturgeregelten Capacitance Diaphragm Gauges der
Serien CDG045D2 und CDG100D2 sind Vakuum-Messröhren
und erlauben die Absolutdruck-Messung von Gasen in unter-
schiedlichen Messbereichen (→  2).
Die Messröhren gehören zu der Edge™ Familie und können mit
einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder mit einem kunden-
eigenen Auswertegerät betrieben werden.

Funktion

Eine keramische Membran wird durch den Druck ausgelenkt.
Diese Auslenkung wird kapazitiv gemessen und durch die digi-
tale Elektronik in ein analoges, lineares Ausgangssignal umge-
wandelt.
Das Ausgangssignal ist unabhängig von der zu messenden Gas-
art.
Der auf konstant 45 °C oder 100 °C geheizte Sensor erlaubt
sehr genaue Druckmessungen. Durch die Temperaturregelung
werden Umgebungseinflüsse weitgehend vermieden. Bei Pro-
zessanwendungen wird die Ablagerung von Prozess- und Pro-
zessnebenprodukten reduziert. Ein integriertes Baffle schützt
den Sensor vor Beschichtung.
4
tina86d1-c
(2019-03)

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