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INFICON Edge CDG045D2 Gebrauchsanleitung Seite 26

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Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre-
chend der nachfolgenden Tabelle:
F.S.
1100 mbar
1000 Torr
500 Torr/mbar
200 Torr/mbar
100 Torr/mbar
50 Torr/mbar
20 Torr/mbar
10 Torr/mbar
5 Torr/mbar
2 Torr/mbar
1 Torr/mbar
Die Messröhre bei konstanten Umgebungsbedingungen
mind. 90 Minuten betreiben (bis Messwert stabil ist).
26
<5×10
<2.5×10
<10
<5×10
<2.5×10
<10
<5×10
<2.5×10
<10
<5×10
Wird die Nullpunkteinstellung bei zu hohem Enddruck
durchgeführt (>25% von F.S.), kann Zero nicht erreicht
werden und die LED <STATUS> blinkt grün. In diesem
Fall erst die Werkseinstellungen aktivieren und dann den
Nullpunkt erneut abgleichen (→  33).
Empfohlener Enddruck
bei Nullpunkteinstellung
<6.65×10
-2
Torr
<6.65×10
-2
Torr
<3.33×10
-2
Torr
<1.33×10
-3
Torr
<6.65×10
-3
Torr
<3.33×10
-3
Torr
<1.33×10
-4
Torr
<6.65×10
-4
Torr
<3.33×10
-4
Torr
<1.33×10
-5
Torr
<6.65×10
0
-2
Pa
<6.65×10
0
Pa
0
-2
Pa
<3.33×10
-0
-2
Pa
<1.33×10
-1
-3
Pa
<6.65×10
-1
-3
Pa
<3.33×10
-1
-3
Pa
<1.33×10
-2
-4
Pa
<6.65×10
-2
-4
Pa
<3.33×10
-2
-4
Pa
<1.33×10
-3
-5
Pa
<6.65×10
tina86d1-c
(2019-03)
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar
mbar

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