Inhaltsverzeichnis
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XM multi-axis calibrator
Spezifikationen
Position
Genauigkeit
Auflösung
Messbereich
Winkel (Kipp-/Gierwinkel)
Genauigkeit
Auflösung
Messbereich
Geradheit
Genauigkeit
Auflösung
Messbereich
Rollwinkel
Genauigkeit
Auflösung
Messbereich
Hinweis: Die Genauigkeitswerte sind mit einer statistischen Sicherheit von 95% (k=2) angegeben. Fehler, die im Zusammenhang mit der Normalisierung der
Messwerte auf eine Materialtemperatur von 20 °C entstehen, sind darin nicht berücksichtigt.
±0,5 ppm (bei Kompensation der Umgebungseinflüsse)
1 nm
0 m bis 4 m
±0.006A ±(0.5 μrad +0.1M μrad)
(M = gemessener Abstand in Metern) (A = Anzeige des Winkelmesswertes)
0.03 μrad
±500 µrad
±0.01A ±2 μm (A = Anzeige des Geradheitsmesswertes)
0.25 μm
250 µm radius
±0.01A ±9.1 μrad (A = Anzeige des Winkelmesswertes)
0,5 μrad
±500 µrad
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Fehlerbehebung
