Inhaltsverzeichnis - INFICON BAG402 Gebrauchsanleitung

Inhalt
Produktidentifikation
Gültigkeit
Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Funktion
Lieferumfang
1 Sicherheit
1.1 Verwendete Symbole
1.2 Personalqualifikation
1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke
1.4 Verantwortung und Gewährleistung
2 Technische Daten
2.1 Beziehung Messsignal - Druck
2.2 Gasartabhängigkeit
3 Einbau
3.1 Vakuumanschluss
3.1.1 Elektronikeinheit abnehmen / aufsetzen
3.1.2 Optionales Baffle einbauen / ausbauen
3.2 Elektrischer Anschluss
4 Betrieb
4.1 Anzeigen
4.2 Messröhre in Betrieb nehmen
4.3 Gasartabhängigkeit
4.4 Verschmutzung (Degas)
4.5 Filament-Wahl
4.5.1 Über den Diagnostik-Port (RS232C)
4.5.2 Über den Taster an der Messröhre
4.6 Diagnostik-Port (RS232C)
4.6.1 Funktionsbeschreibung
5 Ausbau
6 Instandhaltung, Instandsetzung
6.1 Messröhre reinigen
6.2 Verhalten bei Störung
6.3 Sensor austauschen
4
13
14
15
15
18
19
23
25
25
25
28
28
29
30
37
38
38
39
42
tina92d1 (2014-12)
2
2
3
3
3
6
6
6
7
7
8
29
29
30