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INFICON BAG402 Gebrauchsanleitung Seite 26

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Nach dem Anlegen der Speisespannung und dem Einschalten
der Emission über Pin 1 (low aktiv) steht am Signalausgang das
Messsignal zur Verfügung (Stabilisierungszeit ca. 2 s). Das
Halbleiterrelais "Messröhren-Status" (Pin 9) ist geschlossen.
Beim Ansteigen des Druckes über die Umschaltschwelle
-2
(p = 3.2×10
mbar) wird die Heißkathode abgeschaltet.
Messprinzip, Messverhalten
Das Heißkathoden–Messsystem besitzt ein Elektrodensystem
nach Bayard-Alpert, welches auf eine niedrige Röntgengrenze
ausgelegt ist.
Das Messprinzip dieses Messsystems beruht auf der Gasioni-
sation. Die vom aktiven Filament (F1 oder F2) emittierten Elekt-
ronen ionisieren eine dem Druck im Messraum proportionale
Anzahl Moleküle.
Der Ionenauffänger (IC) nimmt den dadurch erzeugten Ionen-
+
strom I
auf und führt ihn dem Elektrometerverstärker des Mess-
instrumentes zu. Der Ionenstrom ist vom Emissionsstrom I
, der
e
Gasart und vom Gasdruck p abhängig gemäß folgender Bezie-
hung:
+
I
= I
× p × C
e
Der Faktor C wird als Empfindlichkeit der Messröhre bezeichnet.
Er wird meist für N
angegeben.
2
-10
Die untere Messgrenze liegt bei 5×10
mbar (Vakuuman-
schluss der Messröhre mit Metalldichtung).
-10
-2
Damit der ganze Bereich 5×10
mbar ... 2.7×10
mbar sinnvoll
abgedeckt werden kann, wird im höheren Druckbereich (Fein-
vakuum) ein niedriger Emissionsstrom und im Bereich niedrigen
Drucks (Hochvakuum) ein hoher Emissionsstrom benutzt. Die
Emissionsstrom-Umschaltung geschieht bei abnehmendem
-6
Druck bei etwa 7.2×10
mbar, bei zunehmendem Druck bei et-
-5
wa 3.0×10
mbar. Beim Umschalten kann die Messröhre kurz-
zeitig (<2 s) von der spezifizierten Genauigkeit abweichen.
tina92d1
(2014-12)
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