Verwandte Anleitungen für INFICON BAG402
Inhaltszusammenfassung für INFICON BAG402
- Seite 1 Bayard-Alpert Gauge BAG402 Gebrauchsanleitung inkl. EG-Konformitätserklärung tina92d1 (2014-12)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. INFICON AG, LI-9496 Balzers Model: Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte mit den Artikelnummern 353-600 (DN 25 ISO-KF) 353-601 (DN 40 CF-R) Sie finden die Artikelnummer (PN) auf dem Typenschild. -
Seite 3: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Bestimmungsgemäßer Gebrauch Die Messröhre BAG402 erlaubt die Vakuummessung von Gasen und Gasgemischen im Druckbereich von 5×10 … 2.7×10 mbar. Sie darf nicht für die Messung von leicht entzündbaren oder brennbaren Gasen im Gemisch mit einem Oxidationsmittel (z. B: Luftsauerstoff) innerhalb der Explosionsgrenzen verwendet werden. -
Seite 4: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Lieferumfang Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten 2.1 Beziehung Messsignal – Druck 2.2 Gasartabhängigkeit Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.1.1 Elektronikeinheit abnehmen / aufsetzen 3.1.2 Optionales Baffle einbauen / ausbauen 3.2 Elektrischer Anschluss Betrieb 4.1 Anzeigen... - Seite 5 Produkt zurücksenden Produkt entsorgen Optionen Zubehör Ersatzteile EG-Konformitätserklärung Für Seitenverweise im Text wird das Symbol (→ XY) verwen- det. tina92d1 (2014-12)
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Seite 6: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis <…> Beschriftung Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 7: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 8: Technische Daten
Technische Daten Messbereich (Luft, O CO, N 5×10 … 2.7×10 mbar, kontinuierlich Genauigkeit 1×10 … 10 mbar 15% des Messwertes (nach 10 Min. Stabilisierung) Wiederholbarkeit 1×10 … 10 mbar 5% des Messwertes (nach 10 Min. Stabilisierung) Gasartabhängigkeit → 14 Emissionsstrom p ≤7.2×10 mbar... - Seite 9 Degas Elektronen Bombardement, einschaltbar bei <7.2×10 mbar Degas-Emissionsstrom (p <7.2×10 mbar) ≈20 mA Degas einschalten <+6 V (dc), low aktiv Degas ausschalten >+10 V (dc), high aktiv Dauer <3 Minuten, danach selbst- tätige Abschaltung. Im Degas-Betrieb liefert die Messröhre weiter Messwerte, jedoch mit größeren Toleranzwerten als bei Normalbetrieb.
- Seite 10 Speisung GEFAHR Die Messröhre darf nur an Speise- oder Messge- räte angeschlossen werden, die den Anforderun- gen der geerdeten Schutzkleinspannung (PELV) entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzu- sichern. Versorgungsspannung an der Messröhre +20 … +28 V (dc) Ripple ≤2 V Stromaufnahme Standard ≤0.5 A...
- Seite 11 Maximaldruck (absolut) 2 bar Zulässige Temperaturen Betrieb 0 °C … +50 °C Ausheizen ≤80 °C Lagerung –20 °C … +70 °C Relative Feuchte Jahresmittel ≤65% (nicht kondensierend) an 60 Tagen ≤85% (nicht kondensierend) Einbaulage beliebig Verwendung nur in Innenräumen, Höhe bis zu 2000 m NN Schutzart IP 30 Gewicht...
- Seite 12 Abmessungen [mm] Man. FIL DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R tina92d1 (2014-12)
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Seite 13: Beziehung Messsignal - Druck
Beziehung Messsignal – Druck Druck p 1E+01 1E+00 1E–01 mbar 1E–02 Torr 1E–03 1E–04 1E–05 1E–06 1E–07 1E–08 1E–09 1E–10 10.0 0.57 8.31 Messsignal U [V] (U-c) p = 10 U = c + log p ⇔ mbar Torr 9.875 7.875 wobei p Druck U Messsignal... -
Seite 14: Gasartabhängigkeit
Gasartabhängigkeit Die Gasartabhängigkeit wird mit folgender Korrekturrechnung berücksichtigt (Messröhre für Luft abgeglichen): = K × angezeigter Druck wobei: Gasart Luft (N , CO) Die angeführten Umrechnungsfaktoren sind Mittelwerte. Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. -
Seite 15: Einbau
Einbau Vakuumanschluss GEFAHR GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. Spannelemente nicht öffnen, solange Überdruck im Vakuumsystem herrscht. Für Überdruck geeignete Spannelemente verwenden. - Seite 16 Vorsicht Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re- geln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be- schädigung beachten. Vorsicht Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate.
- Seite 17 Schutzkappe entfernen und Produkt an Vakuumsystem an- schließen. Vakuumanschluss fettfrei. Dichtung mit Zentrierring Schutzkappe Spannelement Schutzkappe aufbewahren. tina92d1 (2014-12)
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Seite 18: Elektronikeinheit Abnehmen / Aufsetzen
3.1.1 Elektronikeinheit abnehmen / aufsetzen Benötigtes Werkzeug / Material • Innensechskantschlüssel SW 2.5 Elektronikeinheit abnehmen Innensechskant-Gewindestift (1) seitlich an der Elektro- nikeinheit (2) lösen. Elektronikeinheit ohne Drehbewegung abnehmen. tina92d1 (2014-12) -
Seite 19: Optionales Baffle Einbauen / Ausbauen
Elektronikeinheit aufsetzen Elektronikeinheit (2) auf den Sensor (3) aufsetzen (Orien- tierung der Nut (4) und der Steckerstifte beachten). Elektronikeinheit bis zum Anschlag schieben und mit dem Gewindestift arretieren. 3.1.2 Optionales Baffle einbauen / ausbauen Bei stark verschmutzenden Prozessen und wenn die Mess- elektroden optisch gegen Licht und schnelle Teilchen geschützt werden müssen, empfehlen wir, das standardmäßig eingebaute Gitter durch das optionale Baffle (→... - Seite 20 Benötigtes Werkzeug / Material • Baffle (→ 46) • Spitze Pinzette • Stift • Schraubendreher Baffle einbauen Das Gitter mit der Pinzette vorsichtig entfernen. tina92d1 (2014-12)
- Seite 21 Das Baffle sorgfältig auf den Sensoreingang legen. Das Baffle in der Mitte mit einem Stift vorsichtig hinein- drücken bis es einrastet. tina92d1 (2014-12)
- Seite 22 Baffle ausbauen Das Baffle mit dem Schraubendreher vorsichtig entfernen. Dichtfläche nicht verletzen tina92d1 (2014-12)
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Seite 23: Elektrischer Anschluss
Elektrischer Anschluss Die Messröhre muss ordnungsgemäß an der Vakuum- apparatur angeschlossen sein (→ 15). GEFAHR Die Messröhre darf nur an Speisegeräte ange- schlossen werden, die den Anforderungen der ge- erdeten Schutzkleinspannung (PELV) entsprechen. Die Leitung zur Messröhre ist abzusichern. Erdschleifen, Potentialunterschiede oder EMV können das Messsignal beeinflussen. - Seite 24 Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß fol- gendem Schema herstellen. Messkabel anschließen. Emission ein Low aktiv Low aktiv Degas ein Mess- signal – – Elektrischer Anschluss Pin 1 Emission ein/aus (Low aktiv) Pin 2 Speisungserde GND Pin 3 Signalausgang (Messsignal) Pin 4 Speisung (V...
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Seite 25: Betrieb
Betrieb Anzeigen Filament Status Versorgungs- <FIL> spannung <PWR> Versorgungsspannung <PWR> Keine Versorgungsspannung Versorgungsspannung = ok leuchtet grün Filament-Status <FIL> Emission – Beide Filamente ok leuchtet grün Ein Filament defekt blinkt grün Beide Filamente defekt leuchtet rot Emissionsstrom nicht stabil blinkt rot Messröhre in Betrieb nehmen Vorsicht Schalten Sie die Emission nur bei Drücken... - Seite 26 Nach dem Anlegen der Speisespannung und dem Einschalten der Emission über Pin 1 (low aktiv) steht am Signalausgang das Messsignal zur Verfügung (Stabilisierungszeit ca. 2 s). Das Halbleiterrelais "Messröhren-Status" (Pin 9) ist geschlossen. Beim Ansteigen des Druckes über die Umschaltschwelle (p = 3.2×10 mbar) wird die Heißkathode abgeschaltet.
- Seite 27 (Degas 2.5V) (Degas 250V) (Elektronenauffänger) FS Filamentumschaltung Doppelkathode Der BAG402-Sensor verfügt über zwei identische Filamente. Diese werden ständig von der Messröhrenelektronik überwacht. Im Falle eines Filament-Bruchs reagiert die Messröhre sofort und schaltet auf das zweite, intakte Filament um. Während des Umschaltvorgangs wird der letzte gültige Druckmesswert vor...
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Seite 28: Gasartabhängigkeit
Zu Beginn jedes Einschaltvorganges (Emission Ein) wählt die Messröhre alternierend eines der beiden Filamente aus. Dies gewährleistet eine gleichmäßige Alterung der Filamente. Die Auswahl kann auch über den Taster an der Messröhre oder über den Diagnostik-Port erfolgen (→ 30). Wir empfehlen, den Sensor nach Bruch des ersten Fila- mentes auszutauschen (Sensor austauschen →... -
Seite 29: Filament-Wahl
Für einen wiederholten Degas-Vorgang muss das Steuersignal zunächst von EIN (<+6 V) auf AUS (>+10 V) wechseln, um dann mit EIN (<+6 V) erneut Degas zu starten. Es wird empfohlen, das Degas-Signal jeweils nach 3 Minuten Ausheizen durch die Steuerung wieder auf AUS zu setzen, um wieder den ursprüng- lichen Betriebszustand herzustellen. -
Seite 30: Diagnostik-Port (Rs232C)
Den Taster mit einem Stift (max. Filament Status LED <FIL> ø1.3 mm) kurz drücken. Die Mess- röhre wechselt auf das andere Fila- ment: Taster Die Filament Status LED <FIL> kurz • blinkt 1 mal: Filament 1 aktiv drücken • blinkt 2 mal: Filament 2 aktiv. Mit dem ersten Tastendruck wech- selt die Messröhre gleichzeitig in max. - Seite 31 → Fehler-Byte Messwert high Byte 0 … 255 → Berechnen des Druckwertes Messwert low Byte 0 … 255 → Berechnen des Druckwertes Software-Version 0 … 255 → Software- version Sensortyp (für BAG402) Checksumme 0 … 255 → Synchroni- sation tina92d1 (2014-12)
- Seite 32 Synchronisation Die Synchronisation des Empfängers (Master) erfolgt durch den Test von drei Bytes: Byte Nr. Bezeichnung Wert Bemerkungen Datenstring-Länge fester Wert Seitennummer Heißkathoden- Messröhren Checksumme aus 0 … 255 low Byte der Bytes Nr. 1 … 7 Checksumme Status-Byte Bit 1 Bit 0 Definition Emission aus...
- Seite 33 Fehler-Byte Bit 6 Bit 5 Bit 4 Bit 2 Definition Heißkathoden-Fehler Heißkathoden-Warnung Elektronik- / EEPROM-Fehler Softwareversion Aus dem Wert von Byte 6 des Sendestrings lässt sich die Soft- wareversion der Messröhre nach folgender Vorschrift errechnen: Versions Nr. = Wert / 20 Byte 6 (Beispiel: Wert von 32 ergibt nach obiger Formel die Soft-...
- Seite 34 Byte 1×10 mbar Software- Softwareversion = 20 / 20 = Version Sensortyp BAG402 Check- 5 + 0 + 0 + 117 + 48 + 20 + summe 14 = 204 = 00 CC High Byte wird ignoriert Checksumme = CC...
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Seite 35: Empfangsstring
4.6.1.2 Empfangsstring Für die Befehlsübermittlung an die Messröhre wird ein Em- pfangsstring (Frame) aus fünf Bytes übertragen (ohne <CR>). Byte 1 … 3 bilden den Datenstring. Aufbau des Empfangsstrings Byte Nr. Bezeichnung Wert Bemerkungen Datenstring-Länge fester Wert Daten → zulässige Empfangsstrings Daten →... - Seite 36 "Filament Control Mode" 9), 10) auf MAN setzen 0x10 0xD3 0xE4 Speicherung des aktuellen "Filament Control Mode" 9), 10) 0x20 0x0D – 0x2D Filament 1 wählen 0x10 0xD2 0xE2 Filament 2 wählen 0x10 0xD2 0xE3 Speicherung Filament- 11), 10) Wahl 0x20 0x0C –...
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Seite 37: Ausbau
Ausbau GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen ein- halten. Vorsicht Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. -
Seite 38: Instandhaltung, Instandsetzung
Instandhaltung, Instandsetzung Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung oder Verschleiß zurückzuführen sind, sowie Verschleiß- teile (z. B Filament), fallen nicht unter die Gewähr- leistung. INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Messröhre reinigen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um-... -
Seite 39: Verhalten Bei Störung
Vorsicht Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Re- geln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Be- schädigung beachten. Vorsicht Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder von Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. - Seite 40 Fehlerdiagnose an der Messröhre Das Messsignal steht am Messkabelstecker (Pin 3) zur Ver- fügung. Wenn ein Fehler aufgetreten ist, empfiehlt es sich die Betriebsspannung auszuschalten und nach 5 s wieder einzuschalten. Störung Mögliche Ursache Behebung Messsignal dau- Messkabel defekt oder nicht Messkabel prüfen korrekt aufgesteckt ernd ≈...
- Seite 41 Fehlerdiagnose am Sensor Wird die Ursache einer Störung im Sensor selber vermutet, lässt sich mit einem Ohmmeter zumindest eine grobe Diagnose durchführen (eine Belüftung des Vakuumsystems ist dafür nicht nötig). Der Sensor muss für die Tests von der Elektronikeinheit getrennt werden (→...
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Seite 42: Sensor Austauschen
Ansicht auf Sensor Heißkatode (FIL 1) ca. 0.15 Ohm Heißkatode (FIL 2) ca. 0.15 Ohm nicht verwendet nicht verwendet nicht verwendet Anode GND (mit Vakuumanschluss verbunden) Ionenauffänger Behebung Alle nach der obigen Methode festgestellten Sensor-Fehler er- fordern den Austausch des Sensors (→ 42). Sensor austauschen Nachfolgende Umstände machen einen Austausch notwendig •... - Seite 43 Benötigtes Werkzeug / Material • Innensechskantschlüssel SW 2.5 • Ersatz-Sensor (→ 46) Vorgehen Messröhre ausbauen (→ 37). Elektronikeinheit vom defekten Sensor abnehmen und auf neuen Sensor aufsetzen (→ 18). tina92d1 (2014-12)
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Seite 44: Produkt Zurücksenden
Eingesandte Produkte sollen nach Möglichkeit frei von Schadstoffen sein. Versandvorschriften der be- teiligten Länder und Transportunternehmen beach- ten. Ausgefüllte Kontaminationserklärung beilegen (Formular unter www.inficon.com). Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert. Ohne ausgefüllte Kontaminationserklärung eingesandte Produk- te werden kostenpflichtig zurückgesandt. -
Seite 45: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen einhalten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek- trokomponenten, Betriebsmittel usw.) können Um-... -
Seite 46: Optionen
Kommunikationsadapter für Diagnostik-Port 303-333 (1.9 m) Ersatzteile Bestellen Sie Ersatzteile immer mit: • allen Angaben gemäß Typenschild • Beschreibung und Bestellnummer Bestellnummer Ersatz-Messsystem BAG402, DN 25 ISO-KF 354-484 (Innensechskantschlüssel beigelegt) Ersatz-Messsystem BAG402, DN 40 CF-R, 354-485 (Innensechskantschlüssel beigelegt) tina92d1 (2014-12) -
Seite 47: Eg-Konformitätserklärung
EG-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHS- Richtlinie 2011/65/EU. Bayard-Alpert Gauge BAG402 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61010-1:2010 (Sicherheitsbestimmungen für Elektrische Mess- und Steuereinrichtungen) • EN 61326-1:2013 (EMV-Anforderungen für Elektrische Mess- und... - Seite 48 LI–9496 Balzers Liechtenstein +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch tina92d1 (2014-12) www.inficon.com t i na92d1...