Verwandte Anleitungen für INFICON CDG025D-X3
Inhaltszusammenfassung für INFICON CDG025D-X3
- Seite 1 Capacitance Diaphragm Gauge CDG025D-X3 Gebrauchsanleitung inkl. EU Konformitätserklärung tina57d1-b (2016-07)
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Seite 2: Produktidentifikation
Produktidentifikation Im Verkehr mit INFICON sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Angaben ein. tina57d1-b (2016-07) -
Seite 3: Gültigkeit
Gültigkeit Dieses Dokument ist gültig für Produkte der Baureihe CDG025D, X3-Version. Nachfolgend sind die Artikelnummern der Standardprodukte an- geführt. OEM-Produkte besitzen andere Artikelnummern und un- terscheiden sich durch die im Bestelltext definierten Parameter (z. B. werkseitige Schaltpunkteinstellung). 3CB1-xxx-230x 0 Standard B ... -
Seite 4: Bestimmungsgemäßer Gebrauch
Verschmutzung. ® Die Messröhren gehören zu der Familie SKY Smart Sensors und können mit einem INFICON-Messgerät (VGC-Serie) oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden. Funktion Die CDG-Messröhre besteht aus einem keramischen kapazitiven Aufnehmerelement und einer Elektronik, die die Kapazität in ein Gleichspannungs-Ausgangssignal umwandelt. -
Seite 5: Inhaltsverzeichnis
Inhalt Produktidentifikation Gültigkeit Bestimmungsgemäßer Gebrauch Funktion Marken Patente Lieferumfang Sicherheit 1.1 Verwendete Symbole 1.2 Personalqualifikation 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung Technische Daten Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.2 Elektrischer Anschluss Betrieb 4.1 Anzeigen 4.2 Messröhre abgleichen 4.3 Schaltfunktionen 4.4 Werkseinstellung laden (Factory Reset) Ausbau Instandhaltung, Instandsetzung Produkt zurücksenden... -
Seite 6: Sicherheit
Sicherheit Verwendete Symbole GEFAHR Angaben zur Verhütung von Personenschäden jeglicher Art. WARNUNG Angaben zur Verhütung umfangreicher Sach- und Umwelt- schäden. Vorsicht Angaben zur Handhabung oder Verwendung. Nichtbeachten kann zu Störungen oder geringfügigen Sachschäden führen. Hinweis Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten dürfen nur durch Personen ausgeführt werden, welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und über die nötigen Erfah- rungen verfügen oder durch den Betreiber entsprechend ge-... -
Seite 7: Grundlegende Sicherheitsvermerke
Sie die Schutzmaßnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. Verantwortung und Gewährleistung INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen • dieses Dokument missachten • das Produkt nicht bestimmungsgemäß einsetzen • am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderungen usw.) vornehmen... -
Seite 8: Technische Daten
Technische Daten Messbereich → "Gültigkeit" Genauigkeit ≥1 Torr/mbar (F.S.) 0.20% vom Messwert 0.25 Torr/mbar (F.S.) 0.25% vom Messwert 0.1 Torr/mbar (F.S.) 0.50% vom Messwert Temperatureinfluss auf Nullpunkt ≥10 Torr/mbar (F.S.) 0.0050% F.S./ °C 1 / 2 Torr/mbar (F.S.) 0.015% F.S./ °C 0.1 / 0.25 Torr/mbar (F.S.) 0.020% F.S./ °C Temperatureinfluss auf Bereich... - Seite 9 Schutzkleinspannung (PELV) und einer Stromquelle mit begrenzter Leistung (LPS) der Klasse 2 entsprechen. Die Leitung zur Mess- röhre ist abzusichern Versorgungsspannung an der Messröhre +14 … +30 V (dc) Klasse 2 / LPS Ripple ≤1 V INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina57d1-b (2016-07)
- Seite 10 Stromaufnahme <500 mA (max. Einschaltstrom) Leistungsaufnahme (speisespannungsabhängig) ≤1 W Sicherung (vorzuschalten) 1 AT (träge), automatisch rückstellend (Polyfuse) Messröhre ist gegen Verpolung der Versorgungsspannung ge- schützt. Anschluss elektrisch 15-polig D-Sub, Stifte Messkabel 9-polig plus Abschirmung Leitungslänge ≤100 m (0.14 mm² Leiter) Für längere Kabel sind größere Leiterquerschnitte erforderlich ≤1.0 Ω).
- Seite 11 Zulässige Temperatur Lagerung –40 °C … +65 °C Betrieb +5 °C … +50 °C Ausheizen (außer Betrieb) ≤110 °C am Flansch Relative Feuchte ≤80% bei Temperaturen ≤+31 °C abnehmend auf 50% bei +40 °C Verwendung nur in Innenräumen, Höhe bis zu 2000 m NN Schutzart IP 30 Abmessungen [mm]...
- Seite 12 Beziehung Messsignal analog – Druck Druck p 1.1×F.S. 1.0×F.S. 0.9×F.S. 0.8×F.S. 0.7×F.S. 0.6×F.S. 0.5×F.S. 0.4×F.S. 0.3×F.S. 0.2×F.S. 0.1×F.S. 0.0×F.S. Messsignal U p = (U / 10 V) × p (F.S.) Umrechnung Torr ↔ Pascal Torr mbar 1013.25 / 760 = 101325 / 760 = 1.00 1.3332…...
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Seite 13: Einbau
Einbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. Vakuumanschluss GEFAHR GEFAHR: Überdruck im Vakuumsystem >1 bar Öffnen von Spannelementen bei Überdruck im Va- kuumsystem kann zu Verletzungen durch herum- fliegende Teile und Gesundheitsschäden durch ausströmendes Prozessmedium führen. - Seite 14 GEFAHR GEFAHR: Schutzerdung Nicht fachgerecht geerdete Produkte können im Störungsfall lebensgefährlich sein. Die Messröhre muss galvanisch mit der geerdeten Vakuumkammer verbunden sein. Die Verbindung muss den Anforderungen einer Schutzverbindung nach EN 61010 entsprechen: • CF- und VCR-Anschlüsse entsprechen dieser Forderung. •...
- Seite 15 Messröhre möglichst vibrationsfrei einbauen. Die Ein- baulage ist beliebig. Damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen, ist eine waagrechte bis stehende Einbaulage zu bevorzugen und eventuell eine Dichtung mit Zentrierring und Filter zu verwenden. Falls ein Abgleich der Messröhre im eingebauten Zu- stand möglich sein soll, ist die Zugänglichkeit zu den Tastern mit einem Stift zu gewährleisten (→...
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Seite 16: Elektrischer Anschluss
Erde verbinden. Das andere Schirm- ende offen lassen. • Die Speisungserde direkt beim Netzteil mit Schutz- erde verbinden. • Differentiellen Messeingang verwenden (getrennte Signal- und Speisungserde). • Potentialdifferenz zwischen Speisungserde und Gehäuse ≤18 V (Überspannungsschutz) INFICON-Messgeräte erfüllen diese Forderungen. tina57d1-b (2016-07) - Seite 17 Falls kein Messkabel vorhanden ist, ein Messkabel gemäß folgendem Schema herstellen. Ident 10 Ω case Elektrischer Anschluss Pin 1, 4 Relais SP1, Schließer Pin 2 Signalausgang (Messsignal) oder Schwellwert SP1/2 Pin 5 Speisungserde Pin 7, 11 Speisung Pin 8, 9 Relais SP2, Schließer Pin 10 Messröhrenidentifikation...
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Seite 18: Betrieb
Betrieb Nehmen Sie die Messröhre in Betrieb. Bei Verwendung mit einem INFICON-Messgerät der VGC40x-Serie den Messbereich eingeben ( [1, 2, 3]). → Aufwärmzeit • bei allgemeinen Druckmessungen (innerhalb >¼ Stunde der Spezifikationen) • bei Präzisionsmessungen und Nullpunktab- >2 Stunden... -
Seite 19: Messröhre Abgleichen
Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk in vertikal stehender Lage abge- glichen (→ "Calibration Test Report"). Wir empfehlen den Nullpunkt bei der Erstinbetriebnah- me einzustellen. Langzeitbetrieb und Verschmutzung können zu einer Nullpunkt- verschiebung führen und periodisch ebenfalls eine Nullpunktein- stellung erfordern. - Seite 20 <ZERO> Adjust 4.2.1 Der Nullpunktabgleich kann erfolgen über • den Taster <ZERO> an der Messröhre, • die RS232C-Schnittstelle (→ [5]), • ein INFICON-Messgerät (VGC-Serie). Evakuieren Sie die Messröhre bis zu einem Druck entspre- chend der nachfolgenden Tabelle: Empfohlener Enddruck F.S.
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Seite 21: Adjust Mit Rampenfunktion
Taster <ZERO> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) kurz drücken. Der Nullpunkt-Abgleich erfolgt automatisch. Die LED <RUN> blinkt, bis der Abgleich (Dauer ≤8 s) abge- schlossen ist. Taster kurz drücken max. ø1.1 mm Nach dem Nullpunkt-Abgleich kehrt die Messröhre auto- matisch in den Messmodus zurück. - Seite 22 Weiterhin kann mit der Rampe ein Offset der Kennlinie einge- stellt werden, um • einen Offset vom Messsystem auszugleichen, oder • einen leicht positiven Nullpunkt für einen 0 … 10 V AD-Wand- ler zu erzeugen. Der Offset sollte nicht größer als 2% vom F.S. (+200 mV) sein. Bei größerem positiven Offset wird die obere Messbereichs- grenze überschritten.
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Seite 23: Schaltfunktionen
Taster <ZERO> erneut drücken: Feineinstellung Zero-Adjust Wert ändert um eine innerhalb 0...3 s: Einheit (Taster ca. 1 mal pro Se- kunde drücken) Richtungswechsel Zero-Adjust Einstellung ändert ihre innerhalb 3...5 s: Richtung (Blinkfrequenz der LED <RUN> ändert kurz) Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr gedrückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück. -
Seite 24: Einstellen Der Schwellwerte
Ist der Druck niedriger als der Schwellwert, leuchtet die ent- sprechende LED (<1> oder <2>) und das entsprechende Relais (→ 16) ist aktiviert. Messsignal (Druck p) Hysterese Schaltpunkt (1% F.S.) Schwellwert Zeit t 4.3.1 Einstellen der Schwellwerte Die Schwellwerte können eingestellt werden über •... - Seite 25 Schwellwert <1> einstellen Taster <SP> mit einem Stift (max. ø1.1 mm) drücken. Die Messröhre wechselt in den Schaltfunktionsmodus und gibt am Messsignalausgang während 10 s den aktuellen unte- ren Schwellwert aus (LED <1> blinkt). Taster drücken max. ø1.1 mm ...
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Seite 26: Werkseinstellung Laden (Factory Reset)
Taster <ZERO> erneut drücken: Feineinstellung Zero-Adjust Wert ändert um eine innerhalb 0...3 s: Einheit Richtungswechsel Zero-Adjust Einstellung ändert ihre innerhalb 3...5 s: Richtung (Blinkfrequenz der LED <STATUS> ändert kurz) Wird der Taster <ZERO> länger als 5 s nicht mehr gedrückt, kehrt die Messröhre in den Messmodus zurück. -
Seite 27: Ausbau
Ausbau WARNUNG WARNUNG: Bruchgefahr Schläge können den keramischen Sensor zer- stören. Produkt nicht fallen lassen und starke Schläge ver- meiden. GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen ein- halten. - Seite 28 Vorsicht Vorsicht: Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Berühren des Produkts oder Teilen davon mit bloßen Händen erhöht die Desorptionsrate. Saubere, fusselfreie Handschuhe tragen und sau- beres Werkzeug benutzen. Vakuumsystem belüften. Messröhre außer Betrieb setzen. Arretierungsschrauben lösen und Messkabel ausziehen. ...
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Seite 29: Instandhaltung, Instandsetzung
Fehlfunktionen der Messröhre, die auf Verschmutzung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Gewährleis- tung. Wir empfehlen den Nullpunkt periodisch zu prüfen (→ 20). INFICON übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Instandsetzungsarbeiten selber ausführen. Produkt zurücksenden WARNUNG WARNUNG: Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte (z. -
Seite 30: Produkt Entsorgen
Produkt entsorgen GEFAHR GEFAHR: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können Gesundheits- und Um- weltschäden verursachen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlägigen Vor- schriften beachten und die Schutzmaßnahmen ein- halten. WARNUNG WARNUNG: Umweltgefährdende Stoffe Produkte oder Teile davon (mechanische und Elek-... -
Seite 31: Literatur
Literatur www.inficon.com Gebrauchsanleitung Vacuum Gauge Controller VGC032 tinb02d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Gebrauchsanleitung Einkanal-Messgerät VGC401 tinb01d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com Gebrauchsanleitung Zwei- & Dreikanal Mess- und Steuergerät VGC402, VGC403 tinb07d1 INFICON AG, LI–9496 Balzers, Liechtenstein www.inficon.com... -
Seite 32: Etl-Zertifizierung
ETL-Zertifizierung ETL LISTED The product CDG025D • conforms to the UL Standard UL 61010-1 • is certified to the CSA Standard CSA C22.2 # 61010-1 3103457 tina57d1-b (2016-07) -
Seite 33: Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit bestätigen wir, INFICON, für das nachfolgende Produkt die Konformität zur EMV-Richtlinie 2014/30/EU und zur RoHS- Richtlinie 2011/65/EU. Capacitance Diaphragm Gauge CDG025D-X3 Normen Harmonisierte und internationale/nationale Normen sowie Spezifikationen: • EN 61000-6-2:2005 (EMV Störfestigkeit) • EN 61000-6-3:2007 + A1:2011 (EMV Störaussendung) - Seite 34 Notizen tina57d1-b (2016-07)
- Seite 35 Notizen tina57d1-b (2016-07)
- Seite 36 LI–9496 Balzers Liechtenstein +423 / 388 3111 Fax +423 / 388 3700 reachus@inficon.com Original: Deutsch tina57d1-b (2016-07) t i na57d1- b www.inficon.com...