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Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Zu dieser Anleitung .............................. Gültigkeit ................................1.1.1 Mitgeltende Unterlagen ........................1.1.2 Ausführungen ............................Zielgruppe ................................Konventionen ..............................1.3.1 Anweisungen im Text........................... 1.3.2 Piktogramme ............................1.3.3 Aufkleber auf dem Produkt......................... Sicherheit ................................Allgemeine Sicherheitshinweise........................Sicherheitsmaßnahmen ............................. Einsatzgrenzen des Produktes .......................... Bestimmungsgemäße Verwendung.........................
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Inhaltsverzeichnis 13.1 Allgemein ................................13.2 Technische Daten..............................13.3 Abmessungen..............................EU-Konformitätserklärung..........................UK-Konformitätserklärung ..........................PG0048 _ DE 3 | 40...
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Abbildungsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Grafik 1 Position des Typenschilds ..........................Grafik 2 Aufbau des Messgerät..........................Grafik 3 Herstellen des Vakuumanschlusses......................Grafik 4 Anschlussplan ..............................Grafik 5 Beziehung zwischen Messsignal und Druck (TTR 92) ................Grafik 6 Beziehung zwischen Messsignal und Druck (TTR 97) ................Grafik 7 Angezeigter Druck............................
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Zu dieser Anleitung | 1 Zu dieser Anleitung HINWEIS Wichtig Vor Gebrauch sorgfältig lesen. ● Bewahren Sie diese Anleitung zum späteren Nachschlagen auf. Gültigkeit Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Die Betriebs- anleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Infor- mationen für den sicheren Gebrauch des Geräts.
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1 | Zu dieser Anleitung Konventionen 1.3.1 Anweisungen im Text Handlungsanweisungen im Dokument folgen einer allgemeinen Struktur. Die erforderliche Hand- lung ist anhand von Aufzählungspunkten dargestellt. Eine Liste von Aufzählungspunkten zeigt eine Handlung mit notwendigen Schritten an, gefolgt von einer weiteren. ●...
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Sicherheit | 2 Sicherheit Allgemeine Sicherheitshinweise Im vorliegenden Dokument sind folgende 4 Risikostufen und 1 Informationslevel berücksichtigt. GEFAHR ... weist auf eine drohende Gefahrensituation hin, die zum Tod oder zu schweren Verletzungen führt, wenn sie nicht verhindert wird. WARNUNG ... weist auf eine potenzielle Gefahrensituation hin, die zum Tod oder zu schweren Verletzun- gen führen kann.
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2 | Sicherheit Sicherheitsmaßnahmen HINWEIS Informationspflicht zu möglichen Gefahren. Der Eigentümer oder Benutzer des Produkts ist verpflichtet, das gesamte Bedienungspersonal auf Gefahren aufmerksam zu machen, die von diesem Produkt ausgehen. Jede Person, die an der Installation, dem Betrieb oder der Wartung des Produkts beteiligt ist, muss die sicherheitsrelevanten Teile dieses Dokuments lesen, verstehen und befolgen.
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Sicherheit | 2 Verwendung Nur in Innenräumen Installationshöhe max. 2000 m über NN (Normalnull) Schutzart IP40 Bestimmungsgemäße Verwendung Das Messgerät dient zur Vakuummessung von Gasen im folgenden Bereich: TTR 92: 1×10 – 1000 hPa TTR 97: 5×10 – 1000 hPa Das Messgerät TTR 97 mit Platin/Rhodium-Filament eignet sich auch für korrosive Gase und Gasge- mische außerhalb deren Explosionsgrenzen, wenn die medienberührenden Werkstoffe durch diese Gase und Gasgemische nicht korrodieren.
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2 | Sicherheit Mechanische Arbeiten dürfen ausschließlich von einer ausgebildeten Fachkraft durchgeführt wer- den. Fachkraft im Sinne dieses Dokuments sind Personen, die mit Aufbau, mechanischer Installati- on, Störungsbehebung und Wartung des Produkts betraut sind und über folgende Qualifikationen verfügen: ● Qualifizierung im Bereich Mechanik gemäß den national geltenden Vorschriften ●...
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Produktbeschreibung | 3 Produktbeschreibung Funktion Das Messgerät ist mit einem temperaturkompensierten Pirani-Sensor ausgestattet, der den Druck anhand der Wärmeleitfähigkeit von Gasen bestimmt. Ein feines Filament, typischerweise aus Wolfram oder Platin/Rhodium, wird zyklisch auf eine definierte Temperatur erhitzt. Die Geschwin- digkeit, mit der sich das Filament erhitzt, hängt von der Dichte des umgebenden Gases ab: Bei nied- rigerem Druck gibt es weniger Gasmoleküle, die die Wärme ableiten, was zu einem schnelleren Auf- heizen führt.
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4 | Transport und Lagerung Transport und Lagerung Transport ACHTUNG Schäden durch nicht ordnungsgemäßen Transport Beim Transport des Messgerät in ungeeigneter Verpackung oder ohne ordnungsgemäße In- stallation aller Transportsicherungen kann es zu Schäden kommen. ● Befolgen Sie die angegebenen Richtlinien für einen sicheren und ordnungsgemäßen Transport. HINWEIS Wir empfehlen, die Transportverpackung und den Original-Schutzdeckel aufzubewahren.
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Transport und Lagerung | 4 ● Halten Sie die zulässige Lagertemperatur ein. ● Vermeiden Sie extreme Schwankungen der Umgebungstemperatur. ● Vermeiden Sie hohe Luftfeuchtigkeit. ● Verschließen Sie Anschlüsse mit den Original-Schutzkappen. ● Schützen Sie das Messgerät mit den Original-Transportschutzteilen (sofern vorhanden). PG0048 _ DE 13 | 40...
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5 | Installation Installation Herstellen des Vakuumanschlusses GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Eine unsachgemäße Erdung des Messgerät kann im Fehlerfall tödlich sein. ● Stellen Sie eine direkte galvanische Verbindung zwischen dem Messgerät und der geerdeten Va- kuumkammer sicher. ● Vergewissern Sie sich, dass die Verbindung die Anforderungen an einen Schutzpotentialaus- gleich gemäß...
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Installation | 5 ACHTUNG Funktionsbeeinträchtigung durch Verunreinigungen oder Schäden Das Berühren des Messgerät oder seiner Bauteile mit bloßen Händen erhöht die Desorptions- rate und kann zu ungenauen Messungen führen. Verunreinigungen (z. B. Staub und Fingerab- drücke) sowie physische Schäden können die Funktionalität beeinträchtigen. ●...
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5 | Installation Grafik 3: Herstellen des Vakuumanschlusses Beschreibung Spannelement Dichtung mit Zentrierring Messgerät Schutzkappe Dichtung mit Zentrierring und Filter Herstellen des elektrischen Anschlusses GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag aufgrund gefährlicher Berührungsspannung Spannungen von mehr als 30 V AC bzw. 60 V DC gelten gemäß EN 61010 als gefährlich. Bei Kon- takt mit solchen Spannungen kann es zu schweren Verletzungen oder sogar zum Tod durch elektrischen Schlag kommen.
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Installation | 5 Benötigte Materialien ● Messkabel für einen Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions Controller aus dem CenterLine Zubehörsorti- ment ● Selbst hergestelltes Messkabel für ein kundeneigenes Auswertegerät ● FCC-68-Stecker Herstellen eines Messkabels Weitere Informationen zum Messkabeltyp und den Leiterquerschnitten finden Sie in den techni- schen Daten.
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5 | Installation Signalmasse (AGND, Analogmasse) Nicht angeschlossen Nicht angeschlossen Nicht anschließen 18 | 40 PG0048 _ DE...
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Betrieb | 6 Betrieb Nach dem Anlegen der Versorgungsspannung ist das Messgerät betriebsbereit. Empfehlungen ● Beachten Sie eine Stabilisierungszeit von mindestens 10 Minuten. ● Beachten Sie die Beziehung zwischen Messsignal und Druck. ● Lassen Sie das Messgerät unabhängig vom anliegenden Druck immer eingeschaltet. Umrechnen von Messsignal und Druck Messbereich TTR 92...
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6 | Betrieb Grafik 6: Beziehung zwischen Messsignal und Druck (TTR 97) Beschreibung Sensorfehler (< 0,5 V) Messbereichsunterschreitung („Under- range“) UR (0,5 - < 0,95 V) Spannung U [V] Druck p Konstanten zur Umrechnung von Messsignal und Druck Messsignal (U) Druck (p) Konstante (c) [hPa] 6,143 [mbar]...
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Betrieb | 6 Ermitteln des effektiven Drucks mit Korrekturfaktoren HINWEIS Gas- und Dampfgemische Prozessgase bestehen in der Regel aus einer Kombination verschiedener Gase und Dämpfe. Für eine genaue Messung solcher Gemische sind Instrumente erforderlich, die die Partialdrük- ke von Einzelkomponenten bestimmen können. Ein Beispiel für ein solches Gerät ist ein Qua- drupol-Massenspektrometer, das durch Trennung und Quantifizierung der enthaltenen Gase und Dämpfe eine präzise Analyse ermöglicht.
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6 | Betrieb Neon (Ne) Argon (Ar) Krypton (Kr) Xenon (Xe) Freon-12 (auch bekannt als Dichlordifluormet- han oder R-12) Eingabe eines Korrekturfaktors in den Controller ● Geben Sie den Korrekturfaktor ein, um den angezeigten Druckwert einzustellen. Berechnung des Drucks für andere Gase als Luft ●...
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Entfernen | 7 Entfernen GEFAHR Lebensgefahr durch elektrischen Schlag Eine unsachgemäße Erdung des Messgerät kann im Fehlerfall tödlich sein. ● Stellen Sie eine direkte galvanische Verbindung zwischen dem Messgerät und der geerdeten Va- kuumkammer sicher. ● Vergewissern Sie sich, dass die Verbindung die Anforderungen an einen Schutzpotentialaus- gleich gemäß...
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7 | Entfernen ACHTUNG Funktionsbeeinträchtigung durch Verunreinigungen oder Schäden Das Berühren des Messgerät oder seiner Bauteile mit bloßen Händen erhöht die Desorptions- rate und kann zu ungenauen Messungen führen. Verunreinigungen (z. B. Staub und Fingerab- drücke) sowie physische Schäden können die Funktionalität beeinträchtigen. ●...
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Wartung | 8 Wartung WARNUNG Gesundheitsgefahr durch toxische Verunreinigung Messgeräte können durch toxische Prozessmedien verunreinigt werden. Bei Wartungsarbei- ten besteht Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit diesen Substanzen. Eine nicht fachgerechte Entsorgung toxischer Materialien kann darüber hinaus zu Umweltschäden führen. ● Treffen Sie geeignete Vorsichtsmaßnahmen, um Gesundheitsrisiken und Umweltverschmutzun- gen zu vermeiden.
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8 | Wartung WARNUNG Gesundheitsrisiken durch Reinigungsmittel Das verwendete Reinigungsmittel kann Gesundheitsrisiken bergen und beispielsweise Vergif- tungen, allergische Reaktionen, Hautreizungen, Verätzungen oder Atemwegsschäden verur- sachen. ● Beachten Sie beim Umgang mit Reinigungsmitteln stets die einschlägigen Vorschriften. ● Setzen Sie alle Sicherheitsmaßnahmen für das Handling und die Entsorgung von Reinigungsmit- teln um.
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Wartung | 8 Reinigung der Messkammer Grafik 9: Reinigung der Messkammer ● Nehmen Sie die Messgerät aus dem Vakuumsystem. ● Füllen Sie die Messkammer mit Industriealkohol. ● Lassen Sie den Alkohol etwa 5 Minuten lang einwirken. ● Lassen Sie den Alkohol vollständig aus der Messkammer ab. ●...
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8 | Wartung Grafik 10: Einstellen des Messgeräts Vorbereiten des Messgerät für die Einstellung ● Stellen Sie sicher, dass die Installations- und Umgebungsbedingungen dem Normalbetrieb ent- sprechen. ● Prüfen Sie ggf. den Filter auf Verunreinigung. ● Tauschen Sie den Filter aus, wenn er verunreinigt oder beschädigt ist. ●...
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Störungen | 9 Störungen HINWEIS Gewährleistung Störungen durch Verunreinigung oder Verschleiß und Verschleißteile sind von der Gewährlei- stung ausgeschlossen. Störung Mögliche Ursache Abhilfe Messsignal dauernd < 0,5 V Keine Spannungsversorgung ● Prüfen Sie den Anschluss des Messgerät. „Error low“ bzw. „Sensor error“ ●...
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10 | Versand Versand WARNUNG Vergiftungsgefahr durch kontaminiertes Messgeräte Messgeräte, die gefährliche Stoffe enthalten, können bei der Rücksendung zur Wartung oder Reparatur ein Gesundheitsrisiko für Servicemitarbeiter darstellen. ● Befolgen Sie stets die Anweisungen für sicheres Handling und sicheren Versand. HINWEIS Kostenpflichtige Dekontaminierung Nicht ausdrücklich als „frei von Verunreinigungen“...
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Recycling und Entsorgung | 11 Recycling und Entsorgung WARNUNG Gesundheits- und Umweltgefahren bei der Entsorgung Toxische Prozessmedien können Messgeräte oder ihre Bauteile verunreinigen und ernsthafte Gesundheitsrisiken beim Handling und bei der Entsorgung darstellen. Eine nicht fachgerechte Entsorgung dieser Substanzen kann zu Umweltschäden führen. ●...
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12 | Zubehör Zubehör HINWEIS Beachten Sie das Zubehörportfolio für CenterLine auf unserer Webseite. 12.1 Zubehörinformationen Controller CenterOne/CenterTwo/CenterThree Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions Controller für 1 bis 3 CenterLine Messgeräte. Messkabel Es sind Messkabel in verschiedenen Längen für den Anschluss an einen Pfeiffer Vacuum+Fab Soluti- ons Controller erhältlich.
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Technische Daten und Abmessungen | 13 Technische Daten und Abmessungen 13.1 Allgemein Dieser Abschnitt benennt die Grundlagen für die technischen Daten von Pfeiffer Vacuum+Fab Soluti- ons . Umrechnungstabelle: Druckeinheiten mbar Torr | mm mbar 1 · 10 0,75 1000 1 · 10 1000 0,01 1 ·...
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13 | Technische Daten und Abmessungen Parameter TTR 92 TTR 97 Stecker FCC-68 (Federal Communicati- FCC-68 (Federal Communicati- ons Commission, Zulassungs- ons Commission, Zulassungs- behörde für Kommunikations- behörde für Kommunikations- geräte in den USA), 8-polig, geräte in den USA), 8-polig, Buchse Buchse Messkabellänge, max.
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EU-Konformitätserklärung | 14 EU-Konformitätserklärung Die vorliegende Konformitätserklärung und die auf dem Typenschild angebrachten CE-Kennzeichnungen gelten für die Messgerät(e) im Rahmen des Lieferumfangs von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Diese Konformitätserklärung unterliegt der alleinigen Verantwortung des Herstellers. Der Hersteller Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 DE-35614 Aßlar Erklärung für die Messgerät(e): TTR 92 / TTR 97 alle relevanten Bestimmungen aus EU-Richtlinien erfüllt/erfüllen:...
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15 | UK-Konformitätserklärung UK-Konformitätserklärung Die vorliegende Konformitätserklärung und die auf dem Typenschild angebrachten UKCA-Kennzeichnungen gelten für die Messgerät(e) im Rahmen des Lieferumfangs von Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Diese Konformitätserklärung unterliegt der alleinigen Verantwortung des Herstellers. Der Hersteller Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Straße 43 DE-35614 Aßlar Erklärung für die Messgerät(e): TTR 92 / TTR 97 erfüllt/erfüllen alle relevanten Bestimmungen aus britischen Richtlinien:...
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H inweise Hinweise PG0048 _ DE 37 | 40...
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Die Busch Group ist weltweit einer der größten Hersteller von Vakuumpumpen, Vakuumsystemen, Gebläsen, Kompressoren und Abgasreinigungssystemen. Unter ihrem Dach vereint sie die zwei bekannten Marken Busch Vacuum Solutions und Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions. Gemeinsam bieten sie Lösungen für eine Vielzahl von Branchen. Ein globales Netzwerk aus hochkompetenten lokalen Teams in 44 Ländern stellt sicher, dass fachkundige, maßgeschneiderte...