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PI P-753.11C Benutzerhandbuch

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Inhaltsverzeichnis
PZ254D
P­753 Positioniersysteme
Benutzerhandbuch
Version: 1.0.1
Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland
Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de
Datum: 28.11.2018
Dieses Dokument beschreibt die folgenden
Produkte:
P­753.11C / P­753.1CD
LISA hochdynamisches Piezo-
Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte
Positionsmessung, kapazitiver Sensor
P­753.21C / P­753.2CD
LISA hochdynamisches Piezo-
Nanopositioniersystem, 30 µm, direkte
Positionsmessung, kapazitiver Sensor
P­753.31C / P­753.3CD
LISA hochdynamisches Piezo-
Nanopositioniersystem, 38 µm, direkte
Positionsmessung, kapazitiver Sensor
.11C/.21C/.31C = mit LEMO-Stecker
.1CD/.2CD/.3CD = mit D-Sub-Stecker
Inhaltsverzeichnis
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Verwandte Anleitungen für PI P-753.11C

Inhaltszusammenfassung für PI P-753.11C

  • Seite 1 Nanopositioniersystem, 38 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor .11C/.21C/.31C = mit LEMO-Stecker .1CD/.2CD/.3CD = mit D-Sub-Stecker Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Auf der Römerstr. 1, 76228 Karlsruhe, Deutschland Tel. +49 721 4846-0, Fax +49 721 4846-1019, E-Mail info@pi.de, www.pi.de...
  • Seite 2 Die von PI gehaltenen Patente finden Sie in unserer Patentliste: http://www.physikinstrumente.de/de/ueber- pi/patente © 2018 Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG, Karlsruhe, Deutschland. Die Texte, Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich geschützt. Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG behält insoweit sämtliche Rechte vor.

  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Inhalt Über dieses Dokument Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ............1 Symbole und Kennzeichnungen ................. 1 Abbildungen ....................... 2 Mitgeltende Dokumente .................... 2 Handbücher herunterladen ..................3 Sicherheit Bestimmungsgemäße Verwendung ................5 Allgemeine Sicherheitshinweise ................. 5 Organisatorische Maßnahmen ................... 7 Produktbeschreibung Modellübersicht ......................
  • Seite 4 Wartung Allgemeine Hinweise zur Wartung ................29 P-753 reinigen ......................29 Störungsbehebung Kundendienst Technische Daten 10.1 Spezifikationen ......................35 10.1.1 Datentabelle ....................35 10.1.2 Bemessungsdaten ..................36 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen ......... 37 10.2 Abmessungen ......................38 10.3 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ............41 10.4 Pinbelegung ......................

  • Seite 5: Ziel Und Zielgruppe Dieses Benutzerhandbuchs

    1 Über dieses Dokument Über dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ................1 Symbole und Kennzeichnungen ..................... 1 Abbildungen ........................... 2 Mitgeltende Dokumente ....................... 2 Handbücher herunterladen ......................3 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthält die erforderlichen Informationen für die bestimmungsgemäße Verwendung des P-753 (im Nachfolgenden auch als "Positionierer"...

  • Seite 6: Abbildungen

    Abbildungen können abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar. Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erwähnten Geräte und Programme von PI sind in separaten Handbüchern beschrieben. Die aktuellen Versionen der Benutzerhandbücher stehen auf unserer Website zum Herunterladen (S. 3) bereit.

  • Seite 7: Handbücher Herunterladen

     Wechseln Sie über die Links im Browser-Fenster direkt zu den Inhalten für Ihr Produkt, und melden Sie sich dort mit den erhaltenen Zugangsdaten an. Generelles Vorgehen: 1. Öffnen Sie die Website www.pi.de. 2. Wenn der Zugang zu den Handbüchern durch ein Kennwort geschützt ist: a) Klicken Sie auf Login.
  • Seite 8 1 Über dieses Dokument 3. Klicken Sie auf Suche. 4. Geben Sie die Produktnummer bis zum Punkt (z. B. P-753) oder die Produktfamilie (z. B. LISA) in das Suchfeld ein. 5. Klicken Sie auf Suche starten oder drücken Sie die Enter-Taste. 6.

  • Seite 9: Sicherheit

    Die vertikale Montage ist nur unter bestimmten Voraussetzungen (S. 18) möglich. Die bestimmungsgemäße Verwendung des P-753 ist nur in Verbindung mit geeigneter Elektronik (S. 11) möglich, die von PI angeboten wird. Die Elektronik ist nicht im Lieferumfang des P-753 enthalten.
  • Seite 10  Öffnen Sie den P-753 nicht.  Entladen Sie vor der Installation die Piezoaktoren des Positionierers: Schließen Sie den Positionierer an den ausgeschalteten Controller von PI an, der mit einem internen Entladewiderstand ausgestattet ist.  Ziehen Sie den Anschlussstecker nicht während des Betriebs von der Elektronik ab.

  • Seite 11: Organisatorische Maßnahmen

    2 Sicherheit Organisatorische Maßnahmen Benutzerhandbuch  Halten Sie dieses Benutzerhandbuch ständig am P-753 verfügbar. Die aktuellen Versionen der Benutzerhandbücher stehen auf unserer Website zum Herunterladen (S. 3) bereit.  Fügen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen, z. B. Ergänzungen und Technical Notes, zum Benutzerhandbuch hinzu.

  • Seite 13: Produktbeschreibung

    Geeignete Elektronik ........................11 Technische Ausstattung ....................... 11 Modellübersicht Der P-753 ist in folgenden Ausführungen erhältlich: Modell Beschreibung P-753.11C LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, LEMO-Stecker P-753.1CD LISA hochdynamisches Piezo-Nanopositioniersystem, 15 µm, direkte Positionsmessung, kapazitiver Sensor, D-Sub-Stecker P-753.21C...

  • Seite 14: Produktansicht

    2 und 3 = Herstellungsjahr 4 bis 9 = fortlaufende Nummer LISA Markenname Herstellerlogo Warnzeichen "Handbuch beachten!" Altgeräteentsorgung (S. 43) Country of Origin: Germany Herkunftsland WWW.PI.WS Herstelleradresse (Website) Konformitätszeichen CE Schutzleitersymbol, kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des P-753 (S. 16) Version: 1.0.1 PZ254D P­753 Positioniersysteme...

  • Seite 15: Lieferumfang

    3 Produktbeschreibung Abbildung 2: Warnzeichen "Restspannung" auf Anschlussstecker des P-753 Warnzeichen "Restspannung": Hinweis auf Stromschlaggefahr (S. 5) bei Modellen mit D-Sub-Stecker Lieferumfang Produktnummer Beschreibung P-753 Positionierer gemäß Bestellung (S. 9) 000036450 Schraubensatz M4 Schutzerde, bestehend aus:  1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8, ISO 7045 ...

  • Seite 16: Festkörpergelenksführungen

    3 Produktbeschreibung 3.6.2 Festkörpergelenksführungen P-753 Positionierer verfügen über Festkörpergelenksführungen (Flexures) für reibungsfreie Bewegung und hohe Führungsgenauigkeiten. Ein Flexure ist ein haft- und gleitreibungsfreies Element, das auf der elastischen Deformation (Biegung) eines Festkörpers (z. B. Stahl) basiert und völlig ohne rollende oder gleitende Teile auskommt.

  • Seite 17: Auspacken

    4 Auspacken Auspacken 1. Packen Sie den P-753 vorsichtig aus. 2. Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Lieferumfang laut Vertrag und mit dem Lieferschein. 3. Überprüfen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Schäden. Bei Schäden oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an unseren Kundendienst (S. 33). 4.

  • Seite 19: Installation

     Öffnen Sie den P-753 nicht.  Entladen Sie vor der Installation die Piezoaktoren des Positionierers: Schließen Sie den Positionierer an den ausgeschalteten Controller von PI an, der mit einem internen Entladewiderstand ausgestattet ist.  Ziehen Sie den Anschlussstecker nicht während des Betriebs von der Elektronik ab.

  • Seite 20: P-753 An Schutzleiter Anschließen

    HINWEIS Schäden durch ungeeignete Kabel! Ungeeignete Kabel können Schäden am P-753 und an der Elektronik verursachen.  Verwenden Sie für den Anschluss des P-753 an die Elektronik nur Kabel von PI. HINWEIS Schäden durch fehlerhafte Montage! Eine fehlerhafte Montage des P-753 oder falsch befestigte Teile können den P-753 beschädigen.
  • Seite 21 5 Installation Der P-753 hat eine Bohrung M4 für die Befestigung des Schutzleiters. Diese Bohrung befindet sich neben dem Kabelabgang und ist mit dem Schutzleitersymbol gekennzeichnet (siehe "Abmessungen" (S. 38)). Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 15). ...

  • Seite 22: P-753 Befestigen

    5 Installation P­753 befestigen HINWEIS Verspannen des P­753 durch Montage auf unebenen Flächen! Die Montage des P-753 auf unebener Oberfläche kann den P-753 verspannen. Ein Verspannen verringert die Genauigkeit.  Befestigen Sie den P-753 auf ebener Oberfläche. Die empfohlene Ebenheit der Oberfläche beträgt ≤10 µm.
  • Seite 23 5 Installation Die nachfolgende Abbildung ist exemplarisch und kann von Ihrem Positionierermodell abweichen. Abbildung 4: P-753: Vier Senkbohrungen zur Befestigung von oben (weiße Pfeile) und zwei Gewindebohrungen zur Befestigung von unten (schraffierte Pfeile) Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 15). ...

  • Seite 24: Last Befestigen

    5 Installation P­753 befestigen 1. Richten Sie den P-753 so auf der Unterlage aus, dass sich die entsprechenden Bohrungen in P-753 und Unterlage überdecken. 2. Befestigen Sie den P-753 von oben oder von unten auf der Unterlage: Befestigung von oben mit vier Schrauben M3: a) Führen Sie vier Schrauben von oben in die Senkbohrungen im Grundkörper des P-753 ein.
  • Seite 25 5 Installation HINWEIS Lastschwerpunkt an ungeeigneter Position! Wenn der Schwerpunkt der Last weit außerhalb der Bewegungsplattform liegt (z. B. hohe Aufbauten und lange Hebel), kann der P-753 insbesondere im dynamischen Betrieb durch hohe Belastung der Festkörpergelenksführungen, hohe Drehmomente und Schwingungen beschädigt werden.
  • Seite 26 5 Installation Lastschwerpunkt an optimaler Position: Abbildung 6: Exemplarische Darstellung einer optimal platzierten Last (1: Lastschwerpunkt) Lastschwerpunkt an ungeeigneter Position: Abbildung 7: Hoher Aufbau und Lastschwerpunkt (1) weit oberhalb der bewegten Plattform Abbildung 8: Langer Hebel und Lastschwerpunkt (1) seitlich der bewegten Plattform Version: 1.0.1 PZ254D P­753 Positioniersysteme...
  • Seite 27 5 Installation Voraussetzungen  Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden (S. 15). Werkzeug und Zubehör Schrauben M2,5 von geeigneter Länge (S. 38)  Geeignetes Werkzeug  Last befestigen  Befestigen Sie Lasten nur an den dafür vorgesehenen Gewindebohrungen (S. 38) mit geeigneten Schrauben.

  • Seite 29: Inbetriebnahme Und Betrieb

    6 Inbetriebnahme und Betrieb Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb ..............25 P-753 betreiben ........................... 26 P-753 entladen ..........................27 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb VORSICHT Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter! Bei fehlendem oder nicht ordnungsgemäß angeschlossenem Schutzleiter können im Falle eines Fehlers oder Defekts gefährliche Berührungsspannungen am P-753 entstehen.

  • Seite 30: P-753 Betreiben

    Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung! Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Schäden am P-753 verursachen.  Verwenden Sie nur Controller/Treiber und Originalzubehör von PI für den Betrieb des P-753.  Überschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich (S. 36), für den der P-753 spezifiziert ist.

  • Seite 31: P-753 Entladen

    Temperaturstabilität eingeschaltet bleibt Vor Demontage (z. B. vor Reinigung und Transport des P-753 sowie bei Umbauten)  Der P-753 wird über den internen Entladewiderstand des Controllers von PI entladen. Am Controller angeschlossenen Positionierer entladen Im geregelten Betrieb: 1. Schalten Sie am Controller den Servomodus aus.

  • Seite 33: Wartung

    7 Wartung Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung ....................29 P-753 reinigen ..........................29 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS Dejustage durch Lösen von Schrauben am Grundkörper! Der P-753 ist wartungsfrei und präzise justiert. Gelöste Schrauben am Grundkörper führen zum Verlust der Positioniergenauigkeit.

  • Seite 35: Störungsbehebung

    8 Störungsbehebung Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung Keine oder Kabel nicht korrekt  Prüfen Sie die Kabelanschlüsse. eingeschränkte angeschlossen Bewegung Zu hohe Last  Überschreiten Sie nicht die maximal zulässigen Belastungen gemäß den Spezifikationen (S. 35). Nullpunktverschiebung des  Führen Sie einen Nullpunktabgleich Sensors aus folgenden des Sensors durch (siehe Controller- Gründen:...
  • Seite 36 8 Störungsbehebung Störung Mögliche Ursachen Behebung P-753 oder Controller wurde Bei Verwendung von Positionierern, ausgetauscht deren ID-Chip (S. 12) keine Kalibrationsdaten enthält, oder bei Verwendung von LEMO-Steckern ist nach dem Austausch von P-753 oder Controller eine Neukalibrierung der Achsenauslenkung erforderlich. ...

  • Seite 37: Kundendienst

    9 Kundendienst Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI-Vertretung oder schreiben Sie uns eine E-Mail (service@pi.de).  Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an: − Produkt- und Seriennummern von allen Produkten im System −...

  • Seite 39: Technische Daten

    10 Technische Daten Technische Daten In diesem Kapitel Spezifikationen ..........................35 Abmessungen..........................38 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2-70) ................41 Pinbelegung ..........................41 10.1 Spezifikationen 10.1.1 Datentabelle P­753.1CD P­753.2CD P­753.3CD Einheit Toleranz Aktive Achsen Bewegung und Positionieren Integrierter Sensor Kapazitiv Kapazitiv Kapazitiv Stellweg, geregelt µm...

  • Seite 40: Bemessungsdaten

    E-625, E-754 E-625, E-754 E-625, E-754 Die Auflösung des Systems wird nur vom Rauschen des Verstärkers und der Messtechnik begrenzt, da PI-Piezo-Nanopositioniersysteme reibungsfrei arbeiten. Versionen mit LEMO-Stecker sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.x1C. Vakuumversionen bis 10 hPa sind erhältlich unter Bestellnummer P-753.xUD.

  • Seite 41: Umgebungsbedingungen Und Klassifizierungen

    10 Technische Daten 10.1.3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind für den P-753 zu beachten: Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenräumen Maximale Höhe 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 0,1 hPa Relative Luftfeuchte Höchste relative Luftfeuchte 80 % für Temperaturen bis 31 °C Linear abnehmend bis 50 % relativer Luftfeuchte bei 40 °C Betriebstemperatur –20 °C bis 80 °C...

  • Seite 42: Abmessungen

    10 Technische Daten 10.2 Abmessungen Abmessungen in mm. Abbildung 9: P-753.11C / P-753.1CD Version: 1.0.1 PZ254D P­753 Positioniersysteme...
  • Seite 43 10 Technische Daten Abbildung 10: P-753.21C / P-753.2CD P­753 Positioniersysteme PZ254D Version: 1.0.1...
  • Seite 44 10 Technische Daten Abbildung 11: P-753.31C / P-753.3CD Version: 1.0.1 PZ254D P­753 Positioniersysteme...

  • Seite 45: Drehmoment Für Edelstahlschrauben (A2-70)

    10 Technische Daten 10.3 Drehmoment für Edelstahlschrauben (A2­70) Schraubengröße Minimales Drehmoment Maximales Drehmoment 4 Nm 6 Nm 2,5 Nm 3,5 Nm 1,5 Nm 2,5 Nm 0,8 Nm 1,1 Nm M2,5 0,3 Nm 0,4 Nm 0,15 Nm 0,2 Nm M1,6 0,06 Nm 0,12 Nm 10.4 Pinbelegung...
  • Seite 46 10 Technische Daten Signal Funktion Piezospannung Probe Probe-Sensorsignal (unbeweglicher Teil des kapazitiven Sensors) Data ID-Chip Datenleitung für ID-Chip GND Target und ID-Chip Masse von Target und ID-Chip GND PZT Masse von Piezospannung (Nicht verbunden) Target Target-Sensorsignal (beweglicher Teil des kapazitiven Sensors) Gehäuse Schirm Lemo­Koaxialstecker...

  • Seite 47: Altgerät Entsorgen

    Instrumente (PI) GmbH & Co. KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI-Altgerätes, sofern es nach dem 13. August 2005 in Verkehr gebracht wurde. Falls Sie ein solches Altgerät von PI besitzen, können Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden: Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Auf der Römerstr.

  • Seite 49: Eu-Konformitätserklärung

    12 EU­Konformitätserklärung EU­Konformitätserklärung Für den P-753 wurde eine EU-Konformitätserklärung gemäß den folgenden europäischen Richtlinien ausgestellt: Niederspannungsrichtlinie EMV-Richtlinie RoHS-Richtlinie Die zum Nachweis der Konformität zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet. Sicherheit (Niederspannungsrichtlinie): EN 61010-1 EMV: EN 61326-1 RoHS: EN 50581 P­753 Positioniersysteme PZ254D Version: 1.0.1...

Diese Anleitung auch für:

P-753.1cdP-753.21cP-753.2cdP-753.31cP-753.3cd

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