Technische Daten Und Abmessungen; Allgemeines; Technische Daten - Pfeiffer Vacuum Rpt 010 Betriebsanleitung

Technische Daten und Abmessungen

12 Technische Daten und Abmessungen
12.1 Allgemeines
mbar
bar
Pa
hPa
kPa
Torr | mm Hg
Tab. 8:
mbar l/s
Pa m
sccm
Torr l/s
atm cm
Tab. 9:
12.2 Technische Daten
Bestellnummer
Auswahlfeld
Schnittstelle: An-
schluss, gerätesei-
tig
Anschlussflansch
(Eingang)
Messmethode
Messbereich
Druck max.
Messgenauigkeit
im Bereich 1
Genauigkeit (Full
Scale): 100 –
1200 hPa
Wiederholbarkeit
im Bereich 1
Wiederholbarkeit
im Bereich 2
Messzyklus
Eingangsspan-
nung(en)
Eingangsspan-
nung: Toleranz
28/34
mbar bar
1 1 · 10
1000 1
0,01
1 · 10
1
1 · 10
10 0,01
1,33
1,33 · 10
Umrechnungstabelle: Druckeinheiten
mbar l/s
1
10
3 /s
-2
1,69 · 10
1,33
1,01
3 /s
Umrechnungstabelle: Einheiten für Gasdurchsatz
PT R71 100
RPT 010, Digita-
ler Piezo/Pirani
Sensor
Kabel mit Molex-
Stecker passend
für TIC 010
G 1/8''
Piezo, Pirani
5E-4 – 1,2E3 hPa
2000 hPa
50 % (5E-4 hPa –
1E-3 hPa)
± 1,25 %
3 % (1E-3 hPa –
1E2 hPa)
3 % (Full scale)
(1E1 hPa – 1
200 hPa)
100 ms
5 V DC
±5 %
Pa hPa
-3 100 1
1000
1 · 10 5
1 0,01
-5
100 1
-3
1000 10
-3 133,32 1,33
2
1 Pa = 1 N/m
sccm
Pa m 3 /s
0,1 59,2
1 592
-3 1
1,69 · 10
0,133 78,9
0,101 59,8
PT R71 550
RPT 010, Digita-
ler Piezo/Pirani
Sensor
Kabel mit Ac-
cessLink (Micro-
USB-Stecker)
G 1/8''
Piezo, Pirani
5E-4 – 1,2E3 hPa
2000 hPa
50 % (5E-4 hPa –
1E-3 hPa)
± 1,25 %
3 % (1E-3 hPa –
1E2 hPa)
3 % (Full scale)
(1E1 hPa – 1
200 hPa)
100 ms
5 V DC
±5 %
kPa Torr | mm Hg
0,1 0,75
100 750
1 · 10 -3 7,5 · 10
0,1 0,75
1 7,5
0,133 1
Torr l/s
atm cm
0,75 0,987
7,5 9,87
-2
1,27 · 10 1,67 · 10
1 1,32
0,76 1
PD 100 100 -T PD 100 100 AT
RPT 010, Digitaler RPT 010, Digita-
Piezo/Pirani Sen- ler Piezo/Pirani
sor Sensor
Kabel mit D-Sub- Kabel mit Access-
Adapter-Stecker, Link (Micro-USB-
15-polig, male/ Stecker)
female
G 1/8'' G 1/8''
Piezo, Pirani Piezo, Pirani
5E-4 – 1,2E3 hPa 5E-4 – 1,2E3 hPa
2000 hPa 2000 hPa
50 % (5E-4 hPa – 50 % (5E-4 hPa –
1E-3 hPa) 1E-3 hPa)
± 1,25 % ± 1,25 %
3 % (1E-3 hPa – 3 % (1E-3 hPa –
1E2 hPa) 1E2 hPa)
3 % (Full scale) 3 % (Full scale)
(1E1 hPa – 1 (1E1 hPa – 1
200 hPa) 200 hPa)
100 ms 100 ms
5 V DC 5 V DC (±5 %)
±5 % ±5 %
-3
3 /s
-2