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Pfeiffer Vacuum TPR 265 Betriebsanleitung
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Betriebsanleitung
Compact Pirani Gauge
TPR 265
1
BG 805 174 BD
(9910)

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Inhaltszusammenfassung für Pfeiffer Vacuum TPR 265

  • Seite 1 Betriebsanleitung Compact Pirani Gauge TPR 265 BG 805 174 BD (9910)
  • Seite 2 (DN 16 CF-R lang) Sie finden die Artikelnummer auf dem Typenschild. Technische Änderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten. Bestimmungsgemässer Die Compact Pirani Gauge TPR 265 erlaubt die Vakuummessung von Gasen im Druckbereich 5×10 ... 1000 mbar. Gebrauch Die Messröhre kann mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgerät für Kompakt- Messröhren oder mit einem kundeneigenen Auswertegerät betrieben werden.
  • Seite 3 1.3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1.4 Verantwortung und Gewährleistung 2 Technische Daten 3 Einbau 3.1 Vakuumanschluss 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Verwendung mit Pfeiffer Vacuum-Messgeräten 3.2.2 Verwendung mit anderen Auswertegeräten 4 Betrieb 5 Instandhaltung 5.1 Messröhre abgleichen 5.2 Sensor reinigen 5.3 Verhalten bei Störung 6 Ausbau 7 Zubehör...
  • Seite 4 Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die ein - schlägigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein. Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter. 1.4 Verantwortung und Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen Gewährleistung •...
  • Seite 5 Vakuumflansch – Messerde über 10 kΩ verbunden (max. Spannungsdifferenz ±50 V) Speisungserde – Signalerde getrennt geführt; bei grossen Le itungs- längen (≥10 m) wird differentielle Messung empfohlen Pfeiffer Vacuum Messgeräte für Kompakt-Messröhren erfüllen diese Forderungen. BG 805 174 BD (9910) TPR265.bet...
  • Seite 6 Werkstoffe gegen Vak uum Vakuum Flansch Edelstahl Heizfaden Wolfram Durchführung Glas Baffle (nur Version DN 16 ISO-KF) Edelstahl Restliche Materialien Nickel, Kupfer, NiFe Inneres Volumen ≈ 2 cm³ kurze Version ≈ 10 cm³ lange Version ≤ 10 bar (absolut) Druck max. beschränkt auf inerte Gase Zulässige Temperaturen Umgebung...
  • Seite 7 3 Einbau 3.1 Vakuumanschluss Hinweis Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente. Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Beschädigung beachten. Die Einbaulage ist frei wählbar Zu bevorzugen ist eine waagrechte bis stehende Lage, damit Kondensate und Partikel nicht in die Messkammer gelangen können.
  • Seite 8 CF- und NPT-Flansche entsprechen dieser Forderung • Für KF-Flansche ist ein elektrisch leitender Spannring zu verwenden. 3.2 Elektrischer Anschluss 3.2.1 Verwendung mit Wird die Messröhre mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgerät für Pfeiffer Vacuum- Kompakt-Messröhren betrieben, Messgeräten wird ein entsprechendes Messkabel benötigt (→ 15).
  • Seite 9 Messkabel gemäss Schema einlöten. – – Figur 1 Elektrischer Anschluss Pin 1 Identifikation Pin 2 Signalausgang (Messsignal) Pin 3 Signalerde Pin 4 Speisung (14 ... 30 V=) Pin 5 Speisungserde Kabeldose lötseitig Pin 6 Abschirmung WARNUNG Die Speisungserde (Pin 5) sowie die Abschirmung (6) sind in jedem Fall beim Speisegerät mit Erde zu verbinden.
  • Seite 10 , trockene Luft und CO. Für andere Gase können sie umgerechnet werden (→ Anhang B). Wird die Messröhre mit einem Pfeiffer Vacuum-Messgerät für Kompakt- Messröhren betrieben, kann für diese Fälle einen Kalibrierfaktor zur Korrektur des angezeigten Messwertes eingegeben werden (→...
  • Seite 11 5 Instandhaltung GEFAHR Vorsicht: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die ein - schlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. 5.1 Messröhre abgleichen Die Messröhre ist ab Werk abgeglichen.
  • Seite 12 Mit Potentiometer <ATM> abgleichen auf … oder … 1000 mbar … 8.5 V 5.2 Sensor reinigen GEFAHR Vorsicht: Reinigungsmittel Reinigungsmittel können zu Gesundheits- und Umweltschäden füh - ren. Beim Umgang mit Reinigungsmitteln die einschlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen bezüglich deren Handhabung und Entsorgung einhalten.
  • Seite 13 5.3 Verhalten bei Störung Störung Mögliche Ursache Behebung Messsignal dauernd Speisung fehlt. Speisung einschalten. < 0.5 V. Sensor defekt Messröhre ersetzen. Pfeiffer Vacuum (Fadenbruch). Messgerät: "Er-4" bzw. "Sensor Error" Messröhre falsch Messröhre abgleichen abgeglichen (→ 11). Messwert bei tiefen Sensor verschmutzt.
  • Seite 14 6 Ausbau GEFAHR Vorsicht: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die ein - schlägigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. Hinweis Vorsicht: Vakuumkomponente Schmutz und Beschädigungen beeinträchtigen die Funktion der Vakuumkomponente.
  • Seite 15 7 Zubehör Bestellnummer Messkabel zu Pfeiffer Vacuum- Messgerät für Kompakt-Messröhren BG 448 250 -T BG 448 251 -T 10 m BG 448 252 -T Kabeldose, Hirschmann GO 6 WF, 6-polig, abgewinkelt, Buchsen B 4707 283 MA Produkt zurücksenden WARNUNG Vorsicht: Versand kontaminierter Produkte Zur Wartung oder Reparatur eing esandte Produkte sollen nach Mög-...
  • Seite 16 Produkt entsorgen GEFAHR Vorsicht: Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile können zu Gesundheitsschäden führen. Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten über eine eventuelle Kontamination. Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlä - gigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten. WARNUNG Vorsicht: Umweltgefährdende Stoffe Elektronikkomponenten müssen speziell entsorgt werden.
  • Seite 17 Anhang Beziehung zwischen Messsignal und Druck Umrechnungsformeln (U-c) ⇔ p = 10 U = c + log [mbar] [Torr] 5.625 [Pa] [µbar] [mTorr] 2.625 [kPa] [micron] 2.625 wobei Druck gültig im Bereich 5×10 mbar < p < 1000 mbar Messsignal 3.75×10 Torr <...
  • Seite 18 Gasartabhängigkeit Angezeigter Druck (Messröhre für Luft abgeglichen) p (mbar) Luft / Air Freon 12 –1 O-Dampf –2 –3 –3 –2 –1 (mbar) Hinweis Oft hat man es mit Gemischen aus Gasen und Dämpfen zu tun. Eine genaue Erfassung ist in diesen Fällen nur mit Partialdruck-Mess - geräten möglich, z.B.
  • Seite 19 Kontaminationserklärung Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig aus- gefüllte Kontaminationserklärung vorliegt. Sonst kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefüllt (in Druckbuchstaben) und unterschrieben werden. Art des Produkts Grund für die Einsendung Ty penbezeichnung...
  • Seite 20 Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D–35614 Asslar Deutschland Tel +49 (0) 6441 802-0 Fax +49 (0) 6441 802-202 info@pfeiffer-vacuum.de www.pfeiffer-vacuum.de...