Betrieb; Messsignal Auswerten; Effektiven Druck Mit Korrekturfaktoren Ermitteln - Pfeiffer Vacuum Rpt 010 Betriebsanleitung

Betrieb

6 Betrieb
Nach dem Anlegen der Versorgungsspannung an der Antriebselektronik ist der angeschlossene Sensor
betriebsbereit.
Der gemessene Druck im Pirani-Bereich ist gasartabhängig.
Empfehlungen
► Beachten Sie eine Stabilisierungszeit von mindestens 5 bis 10 Minuten.
► Beachten Sie die Beziehung zwischen Messsignal und Druck.
6.1 Messsignal auswerten
6.2 Effektiven Druck mit Korrekturfaktoren ermitteln
Das Messsignal des Drucksensors ist im Pirani-Bereich gasartabhängig. Der voreingestellte Korrektur-
faktor = 1 gilt für Stickstoff (N
Gasart
Luft, Sauerstoff (O
Wasserstoff (H
Kohlenstoffdioxid (CO
Wasserdampf
Helium (He)
Neon (Ne)
Argon (Ar)
Krypton (Kr)
Xenon (Xe)
Dichlordifluormethan (CCl
Die angeführten Korrekturfaktoren sind Mittelwerte.
Tab. 6:
18/34
Signalauswertung über Ausgabeschnittstellen
Für den Betrieb der angeschlossenen Zubehörgeräte an einer Pfeiffer Vacuum Vakuum-
pumpe dienen die Ausgabeschnittstellen der Antriebselektronik mit dem zugrunde liegen-
den Pfeiffer Vacuum Protokoll und dem Pfeiffer Vacuum Parametersatz.
Beachten Sie die gültige Betriebsanleitung der verwendeten Antriebselektronik.
Gas- und Dampfgemische
Prozessgase sind häufig Gas- und Dampfgemische. Eine genaue Erfassung von Gas- und
Dampfgemischen ist nur mit Partialdruck-Messgeräten möglich, z. B. mit einem Quadrupol-
Massenspektrometer.
), Sauerstoff (O
2
), Kohlenstoffmonoxid (CO), Stickstoff (N
2
)
2
)
2
F , R12)
2 2
Korrekturfaktoren für den Druckbereich < 1 hPa
), trockene Luft und Kohlenstoffmonoxid (CO).
2
)
2
Korrekturfaktor (C)
1,0
0,5
0,9
0,5
0,8
1,4
1,7
2,4
3,0
0,7