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Schwingungsdämpfer
nEXT 240/300/400 Pumpen
BETRIEBSANLEITUNG
edwardsvacuum.com
B80000862_A
Übersetzung der ursprünglichen Anleitung
Inhaltsverzeichnis
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Inhaltszusammenfassung für Edwards nEXT 240

  • Seite 1 Schwingungsdämpfer nEXT 240/300/400 Pumpen BETRIEBSANLEITUNG edwardsvacuum.com B80000862_A Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
  • Seite 2: Haftungsausschluss

    Hinweis zum Urheberrecht ©Edwards Limited 2021. Alle Rechte vorbehalten. Markenrecht Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Großbritannien. Weiterführende Publikationen Publikationstitel Publikationsnummer nEXT Turbomolekularpumpen nEXT240, nEXT300 und B80000880 nEXT400 Haftungsausschluss Änderungen am Inhalt dieser Betriebsanleitung können von Zeit zu Zeit ohne...
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    8. Rechtsgültige Erklärungen........17 B80000862_A Seite 3 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 4 Abbildung 4: Installationsorientierung......... . 13 B80000862_A Seite 4 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 5: Sicherheit Und Compliance

    Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor. Die Abbildungen sind unverbindlich. Die Betriebsanleitung für künftige Verwendung aufbewahren. 1.2 Gefahrensymbole Die Gefahrensymbole auf den Produkten kennzeichnen Bereiche, in denen Sorgfalt und Aufmerksamkeit erforderlich sind. B80000862_A Seite 5 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 6: Ausgebildetes Personal

    Angemessene Schutzausrüstung für die Aufgabe verwenden. 1.3 Ausgebildetes Personal „Ausgebildetes Personal“ für den Betrieb dieser Pumpe ist ▪ Fachpersonal mit Fachwissen in den Bereichen Mechanik, Elektrotechnik und Vakuumtechnik sowie ▪ speziell für den Betrieb von Vakuumpumpen geschultes Personal. B80000862_A Seite 6 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 7: Einführung

    Abbildung 1 Allgemeine Ansicht des Schwingungsdämpfers 1. O-Ring für Dämpfung und Abdichtung 1. O-Ring für Dämpfung und Abdichtung 2. Distanzstück 2. Distanzstück 3. Dämpfungsblock 3. Dämpfungsblock 4. ISO100-Flansch 4. ISO100-Flansch 5. Schraube 5. Schraube 6. Dämpfungsmasse 6. Dämpfungsmasse B80000862_A Seite 7 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 8: Technische Daten

    -10 bis +60 °C Maximal 90 % relative Maximale Luftfeuchtigkeit bei Betrieb Kondensierend bei Feuchte 40 °C Maximale Betriebshöhe Kein Grenzwert *Dämpfungseigenschaften können durch die Betriebstemperatur beeinflusst werden Abbildung 2 Axiale Übertragungsfunktion des Trennschalters B80000862_A Seite 8 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 9: Abbildung 3 Radiale Übertragungsfunktion Des Trennschalters

    B80000862_A - Technische Daten Abbildung 3 Radiale Übertragungsfunktion des Trennschalters B80000862_A Seite 9 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 10: Lagerung

    Gehen Sie zur Lagerung des Schwingungsdämpfers wie folgt vor: Setzen Sie die Schutzabdeckungen auf die Hochvakuum- und Auslassflansche. Den Schwingungsdämpfer bis zur Verwendung kühl und trocken lagern. Siehe Tabelle: Betriebs- und Lagerbedingungen für die empfohlene Lagerumgebung. B80000862_A Seite 10 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 11: Installation

    Schwingungsdämpfer beschädigt ist. Geben Sie dem Lieferanten und dem Spediteur die folgenden Informationen: ▪ Teilenummer des Schwingungsdämpfers ▪ Seriennummer des Schwingungsdämpfers ▪ Bestellnummer ▪ Rechnungsnummer des Lieferanten Verwenden Sie den Schwingungsdämpfer auf keinen Fall, wenn er beschädigt ist. B80000862_A Seite 11 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 12: Installation Des Schwingungsdämpfers

    Installieren Sie einen flexiblen Blasebalg zwischen der nEXT-Pumpe und dem Vorvakuumanschluss. Hinweis: Der Schwingungsdämpfer ist für den vertikalen Betrieb ausgelegt. Wenn der Schwingungsdämpfer in einer anderen Richtung montiert wird, wirkt sich dies auf die Funktionseffizienz aus. Siehe Abbildung: Installationsorientierung B80000862_A Seite 12 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 13: Abbildung 4 Installationsorientierung

    B80000862_A - Installation Abbildung 4 Installationsorientierung B80000862_A Seite 13 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 14: Wartung

    Dichtungs- und Dämpfungs-O-Ringe sind so ausgelegt, dass sie unter Standardbetriebsbedingungen drei Jahre lang einwandfrei funktionieren. Wir empfehlen, zu prüfen, ob in Ihrem System ein mögliches Dämpfungs- oder Leckageproblem vorliegt. Tauschen Sie ggf. den O-Ring aus. B80000862_A Seite 14 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 15: Kundendienst

    Die Anweisung im Rücksendeverfahren, der zufolge alle Flüssigkeiten abzulassen sind, gilt nicht für den Schmierstoff in den Ölbehältern der Pumpe. Laden Sie die aktuellen Dokumente von edwardsvacuum.com/HSForms/ herunter, befolgen Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, B80000862_A Seite 15 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 16 Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an uns zurück. HINWEIS: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, kann Ihre Ausrüstung nicht gewartet werden. Tabelle 4 Wartungswerkzeug-Kits Wartungswerkzeug-Kit Bestellnummer Gummikomponentenkit B58053499 B80000862_A Seite 16 10/2021 - ©Edwards Limited...
  • Seite 17: Eu-Konformitätserklärung

    EU-Konformitätserklärung Edwards Ltd Dokumentationsbeauftragte(r) Innovation Drive Jana Sigmunda 300 Burgess Hill 78349 Lutín, West Sussex Tschechische RH15 9TW Republik Vereinigtes Königreich T: +42(0) 580 582 728 documentation@edwardsvacuum.com Das nachstehend aufgeführte Produkt • Schwingungsdämpfer ISO100 100D SLIM nEXT Turbomolekularpumpen B58053400 erfüllt die einschlägigen Vorgaben der europäischen CE-Vorschriften:...
  • Seite 18 ZUSÄTZLICHE ANGABEN ZU RECHTSVORSCHRIFTEN UND KONFORMITÄT RoHS (EU, UK): Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht keinen Ausnahmen. REACH (EU, UK) Bei diesem Produkt handelt es sich um einen komplexen Artikel, der nicht für eine absichtliche Stofffreisetzung konstruiert ist. Nach unserem besten Wissen erfüllen die verwendeten Materialien die Anforderungen der REACH- Verordnung.
  • Seite 19 Diese Seite bleibt frei.
  • Seite 20 edwardsvacuum.com...

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