Jevamet ® Ios - Sensortausch; Störungsbehebung; Störungsanzeige - Jevatec JEVAmet VCU Bedienungsanleitung

ACHTUNG:
Beim Herausziehen des Sensors aus dem Tubus ist darauf zu achten, dass
der Sensoraufbau nicht beschädigt wird.
• Sensor so drehen, dass man den selbigen auf die elektrischen Anschlüsse stellen kann
• Die Filamente des Sensors sind mit 3 Gewindestiften über ein Verbindungsstück am
Sockel befestigt. Lockern der Gewindestifte mit dem den Ersatzfilamenten beigelegten
Schlüssel und vorsichtiges Herausziehen der Filamente
• Neue Filamente mit einer Pinzette an der Mittelhalterung aus der Verpackung
herausnehmen und vorsichtig Stifte der Filamente in die Halterungen einschieben, mit
den neuen, mitgelieferten Gewindestifte wieder fest anziehen und Verbindungssteg
abtrennen (Seitenschneider)
• Sensor wieder in den Tubus einführen und beide Teile mit den entsprechenden
Schrauben und Muttern (M6) verbinden (neuen Cu-Dichtring nicht vergessen)
• Montage des Sensors an der Vakuumkammer
• Stecker des Spezialkabels aufstecken und mit den entsprechenden Schrauben
befestigen
• Einstellen der Empfindlichkeit auf den Wert 20 mbar
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JEVAmet VCU
SEnS2), Seite 51).
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9.1.3 JEVAmet
Gegebenenfalls ist es notwendig, den gesamten Sensor zu tauschen. Gehen Sie dabei nach
folgenden Schritten vor
• Sensor ausschalten
• Trennen des Sensors vom Anschlussstecker
• Demontage des Sensors von der Vakuumkammer
• Montage des Ersatzsensors an der Vakuumkammer
• Stecker des Spezialkabels aufstecken und mit den entsprechenden Schrauben
befestigen
• Einstellen der Empfindlichkeit für die Filamente am JEVAmet
7.2.10 Empfindlichkeit der Filamente (SEnS1 und SEnS2), Seite 51).
Die einzustellenden Werte für die Empfindlichkeit werden mit dem Sensor mitgeliefert.
9.2 Störungsbehebung
9.2.1 Störungsanzeige
Eine Störung am JEVAmet
( Kapitel 9.2.2 Fehlermeldungen, Seite 72)
BA_VCU_08.2017_DE
( Kapitel 7.2.10 Empfindlichkeit der Filamente (SEnS1 und
IOS – Sensortausch
( Abbildung 4, Seite 19):
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VCU wird durch eine Fehlermeldung im Display angezeigt.
-1
für beide Filamente am
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VCU ( Kapitel
71