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Inhaltszusammenfassung für Jevatec JEVAmet VCU
- Seite 1 ® JEVAmet VCU Vacuum Control Unit Bedienungsanleitung BA_VCU_08.2017_DE...
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Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis Abbildungsverzeichnis Tabellenverzeichnis Rechtliche Hinweise Gültigkeit Bestimmungsgemäße Verwendung Gewährleistung Transportschäden Sicherheit Zeichenerklärung Grundlegende Sicherheitshinweise Allgemeine Gerätebeschreibung Allgemeine Funktionsbeschreibung Geräteversionen Kompatible Vakuumsensoren Technische Daten Allgemeine Daten 4.1.1 Mechanische Daten 4.1.2 Standardparameter (werksseitige Einstellungen) 4.1.3 Umgebung 4.1.4 Normen Netzanschluss Messkanäle 4.3.1 Sensor-Speisung 4.3.1.1 Aktive Sensoren... - Seite 4 Technische Daten der anschließbaren Sensoren ® 4.5.1 Passiver Heißkathoden-Ionisationssensor JEVAmet 4.5.2 Weitere Sensoren Installation Lieferumfang Mechanischer Einbau 5.2.1 Rackeinbau 5.2.2 Schalttafeleinbau 5.2.3 Tischgerät Anschlüsse der Gerätevarianten A0 und B0 sowie AM und BM 5.3.1 Rückseite des Gerätes 5.3.2 Netzanschluss 5.3.3 Erdung CH1 (Kanal 1) –...
- Seite 5 Parameter Schaltfunktionsparameter (PArA SP) 7.1.1 Grundbegriffe 7.1.2 Schaltfunktionen konfigurieren 7.1.3 Einstellbereich Sensorparameter (PArA SEn) 7.2.1 Messbereich (FS) 7.2.2 Piranibereichserweiterung (PrE) 7.2.3 Messwertfilter (FiLt) 7.2.4 Gasart (GAS) 7.2.5 Sensor-Einschaltart (S-on) 7.2.6 Sensor-Einschaltwert ( t-on) 7.2.7 Sensor-Ausschaltart (S-oFF) 7.2.8 Sensor-Ausschaltwert (t-off) 7.2.9 Filamentauswahl (FiL) 7.2.10 Empfindlichkeit der Filamente (SEnS1 und SEnS2)
- Seite 6 8.3.25 RSC (Read Sensor Control) 8.3.26 SSC (Set Sensor Control) 8.3.27 RFS (Read Full Scale) 8.3.28 SFS (Set Full Scale) 8.3.29 RSP (Read Set Point) 8.3.30 SSP (Set Set Point) Wartung und Service Wartung 9.1.1 Allgemeine Wartungshinweise IOS – Austausch der Filamente ®...
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Seite 7: Abbildungsverzeichnis
Abbildungsverzeichnis Abbildung 1 – Abmessungen JEVAmet ® VCU (in mm) Abbildung 2 – JEVAmet ® VCU-B und BM, BA-Sensor: Beziehung zwischen Spannung und Druck Abbildung 3 – Abmessungen Sensor JEVAmet ® IOS (in mm) und Kontaktbelegung Abbildung 4 – Schematischer Aufbau des Sensors JEVAmet ®... -
Seite 8: Rechtliche Hinweise
1 ff Mehrkanal-Vakuummessgerät für 2 aktive Vakuumsensoren Tabelle 1 – Katalognummern Im Verkehr mit der JEVATEC GmbH sind die Angabe von Artikelnummer und Seriennummer erforderlich. Diese Informationen entnehmen Sie bitte dem Typenschild auf der Seitenwand des Gerätes. Bestimmungsgemäße Verwendung ®... -
Seite 9: Gewährleistung
Gewährleistung Für die einwandfreie Funktion des Gerätes übernehmen wir eine Gewährleistung von einem Jahr. Während dieser werden Material- und Herstellungsfehler kostenlos beseitigt. Beschädigungen durch unsachgemäßen Gebrauch fallen nicht unter die Gewährleistung. Der Hersteller übernimmt keine Garantie, falls durch den Anwender oder Drittpersonen am Gerät Änderungen vorgenommen werden, welche über die in der dazugehörigen Bedienungsanleitung aufgeführten Arbeiten hinausgehen. -
Seite 10: Sicherheit
Sicherheit Zeichenerklärung GEFAHR oder WARNUNG: Angaben zur Verhütung von Personenschäden aller Art. GEFAHR: Angaben zur Verhütung von Personen- oder Sachschäden durch elektrische Einwirkung. HINWEIS: Allgemeine Hinweise auf weitere Angaben bzw. Bezugsabschnitte. Grundlegende Sicherheitshinweise • Halten Sie bei allen Arbeiten, wie Installations-, Wartungs- und Reparaturmaßnahmen, die einschlägigen Sicherheitsvorschriften ein. -
Seite 11: Allgemeine Gerätebeschreibung
Allgemeine Funktionsbeschreibung ® VCU-Controller der Produktreihe JEVAmet sind Anzeige- und Betriebsgeräte für die ® passiven Bayard-Alpert-Heißkathoden-Ionisationssensoren JEVAmet von JEVATEC ® und BARION von VACOM (BA-Sensoren), das aktive Weitbereichs-Vakuummeter ® ATMION sowie verschiedene weitere aktive Totaldrucksensoren von InstruTech, LEYBOLD, PFEIFFER VACUUM und INFICON. -
Seite 12: Kompatible Vakuumsensoren
Kompatible Vakuumsensoren Hersteller Sensortyp Anzeige ® JEVATEC ATMION compact / standard ® VACOM ATMION Compact / Standard ® JEVATEC JEVAmet ® VACOM BARION Compact / Standard ® JEVATEC JEVAmet PRM / PRM-S THERMOVAC TTR81N, TTR90, TTR91, TTR91N, TTR96S, TTR96SN,... -
Seite 13: Technische Daten
Technische Daten Allgemeine Daten 4.1.1 Mechanische Daten Breite: 106,4 mm (1/4 19“) Abmessungen: Höhe: 128,4 mm (3 HE) Tiefe: 164,5 mm Masse: 1,4 kg Einbautiefe: ca. 220 mm (einschließlich angeschlossener Stecker) Verwendung: Rackeinbau Schalttafeleinbau Tischgerät Abbildung 1 – Abmessungen JEVAmet ®... -
Seite 14: Standardparameter (Werksseitige Einstellungen)
4.1.2 Standardparameter (werksseitige Einstellungen) Parameter Parameterbeschreibung Einstellung … . Schaltpunkt 1 – 6 - unterer Schwellenwert … . Schaltpunkt 1 – 6 - oberer Schwellenwert Fullscale für Ctr Piranibereichserweiterung Filterfaktor . Korrekturfaktor für Gasart ... -
Seite 15: Netzanschluss
Netzanschluss 100 – 240 VAC Spannung: Frequenz: 50/60 Hz Sicherungen: 2 x T1,6A H Leistungsaufnahme : max. 60 W Stromaufnahme: max. 1,0 A Überspannungskategorie: Schutzklasse: Anschluss: Kaltgerätestecker IEC 60320 C14 Messkanäle 1 – 3 (abhängig von der Controller-Ausführung) Anzahl: ® Elektrische Anschlüsse: für ATMION D-Sub-Buchse, 15-pol. -
Seite 16: Messtechnik
4.3.2 Messtechnik – 110 Messbereiche: Messkanal für bA: 110 mbar alle anderen Messkanäle: Sensorabhängig Messfehler: Messkanal für bA: ± 1 % vom Messwert alle anderen Messkanäle: Verstärkungsfehler: 0,1 % FS 0,02 % FS Offsetfehler: Messrate: 50 s Anzeigerate: 15…7…3…1 (Langsam …... -
Seite 17: Aus- Und Eingänge
Aus- und Eingänge 4.4.1 Analogausgang Anzahl: 1 pro Messkanal 0 – 10 VDC Spannungsbereich: 0,1 % Abweichung vom Anzeigewert: Innenwiderstand: 100 Ohm Beziehung zwischen Spannung und Druck: bA: logarithmisch-linear, 0,625 V pro Dekade, 0 – 7 VDC, U = 0,625 lg (p / 10 mbar) bzw. -
Seite 18: Externe Steuerung
4.4.2 Externe Steuerung Verwendung: Sensor ein / aus; Degas starten Sensor AUTOMODE ein / aus; Degas starten Ptr: Sensor ein / aus Logik: Digitale Eingänge sind unbeschaltet auf High Pegel Eingangswiderstand: 10 kΩ Anschluss: SUB-D, 15-polig, Stecker (gemeinsam genutzt mit Anschluss Analogausgang) 4.4.3 Serielle Schnittstelle... -
Seite 19: Weitere Sensoren
Abmessungen und Kontaktbelegung: Abbildung 3 – Abmessungen Sensor JEVAmet ® IOS (in mm) und Kontaktbelegung nicht verfügbar nicht belegt nicht verfügbar Filament 1 Anodengitter Filament Com Kollektor Filament 2 Anodengitter Führungsstift nicht belegt Führungsstift Schematischer Aufbau: Abbildung 4 – Schematischer Aufbau des Sensors JEVAmet ®... -
Seite 20: Installation
Installation Lieferumfang Bezeichnung Anzahl ® JEVAmet Netzkabel (EU-Standard) Bedienungs- und Kurzanleitung (je DE und EN) Ersatzsicherungen Halsschrauben Kunststoffhülsen Kantenschutz Klebefüße Tabelle 5 – Lieferumfang Mechanischer Einbau ® Das JEVAmet VCU kann wie folgt eingesetzt werden: • Rackeinbau • Schalttafeleinbau • Tischgerät WARNUNG: Netzabschaltung Montieren Sie das Gerät so oder stellen Sie es so auf, dass sie jederzeit den Netzschalter betätigen können oder stellen Sie sicher, dass eine... -
Seite 21: Rackeinbau
5.2.1 Rackeinbau ® Das JEVAmet VCU ist für den Einbau in einen Baugruppenträger nach DIN EN 60297 (IEC 60297) (19", 3 HE) vorgesehen ( Abbildung 5, Seite 21). Dazu sind im Lieferumfang 4 Halsschrauben und 4 Kunststoffhülsen enthalten. Abbildung 5 – Rackeinbau •... -
Seite 22: Tischgerät
5.2.3 Tischgerät ® Wenn Sie das JEVAmet VCU als Tischgerät verwenden wollen, gehen Sie wie folgt vor: • Schieben Sie einen der beiden im Lieferumfang enthaltenen Kantenschutzgummis auf die Oberkante der Frontplatte ( Abbildung 7, Seite 22) • Legen Sie das JEVAmet ®... -
Seite 23: Anschlüsse Der Gerätevarianten A0 Und B0 Sowie Am Und Bm
Anschlüsse der Gerätevarianten A0 und B0 sowie AM und BM 5.3.1 Rückseite des Gerätes ® Die Abbildung 9, Seite 23 zeigt die Rückseiten des JEVAmet VCU in den Varianten A0 (links) und B0 (rechts). Die Belegung der einzelnen Anschlüsse wird in den folgenden Abschnitten beschrieben. -
Seite 24: Abbildung 10 - Rückseite Des Gerätes In Der Ausführung Als Variante Am (Links) Und Bm (Rechts)
Die Abbildung 10, Seite 23 zeigt die Rückseiten des VCU in den Varianten AM (links) und BM (rechts). Die Belegung der einzelnen Anschlüsse wird in den folgenden Abschnitten beschrieben. Abbildung 10 – Rückseite des Gerätes in der Ausführung als Variante AM (links) und BM (rechts) Anschluss Schnittstelle RS232 oder RS485 (Interface RS232 / RS485) Anschluss Relaisausgang (Relay Output) Anschluss für Analogausgang und Externe Steuerung (Analog Output / Extern Control) -
Seite 25: Netzanschluss
5.3.2 Netzanschluss Der Netzanschluss auf der Geräterückseite ( Abbildung 9, D, Seite 23 und Abbildung 10, D, Seite 24) ist für eine Netzleitung vorgesehen, die geräteseitig mit einem Kaltgerätestecker endet. HINWEIS: Netzkabel Im Lieferumfang ist ein Netzkabel enthalten. Falls der Netzstecker nicht mit Ihrem Anschluss kompatibel ist, muss ein Netzkabel mit folgenden Eigenschaften verwendet werden: •... -
Seite 26: Ch1 (Kanal 1) - Weitbereichs-Vakuummeter Atmion
CH1 (Kanal 1) – Weitbereichs-Vakuummeter ATMION ® 5.3.4 oder BA-Sensor Der Anschluss CH1 ( Abbildung 11, Seite 26 sowie Abbildung 9, F, Seite 23 und Abbildung 10, F, Seite 24) dient bei der Geräteausführung als Variante A0 und AM ® ausschließlich zum Anschluss eines Weitbereichs-Vakuummeters ATMION (At). -
Seite 27: Ch2 (Kanal 2) Und Ch3 (Kanal 3) - Aktive Vakuumsensoren
VORSICHT: Unzulässige Messgeräte Messgeräte, die nicht für den Betrieb an diesem Anschluss vorgesehen sind, können das Gerät beschädigen. Betreiben Sie diesen Anschluss des JEVAmet VCU nur mit dem zulässigen Sensor. ® Anschließen: • Schließen Sie den BA-Sensor über das entsprechende Spezialverbindungskabel an den ®... -
Seite 28: Analogausgang Und Externe Steuerung (Analog Output / Extern Control)
5.3.6 Analogausgang und Externe Steuerung (Analog Output / Extern Control) Der Anschluss Analog Output / Extern Control ( Abbildung 14, Seite 28 sowie Abbildung 9, C, Seite 23 und Abbildung 10, C, Seite 24; vgl. auch Anhang 1 - Übersicht zur Belegung der elektrischen Ein- und Ausgänge) enthält die Anschlüsse der analogen Ausgänge für die Signale der einzelnen Messkanäle sowie die Eingänge zur externen Steuerung der Messgeräte. -
Seite 29: Relaisausgang (Relay Output)
5.3.8 Relaisausgang (Relay Output) Über den Anschluss Relay Output ( Abbildung 16, Seite 29 sowie Abbildung 9, B, Seite 23 und Abbildung 10, B, Seite 24; vgl. auch Anhang 1 - Übersicht zur Belegung der elektrischen Ein- und Ausgänge) können Sie die potentialfreien Relais-Kontakte zum Schalten verwenden. -
Seite 30: Anschlüsse Der Gerätevariante C
Anschlüsse der Gerätevariante C 5.4.1 Rückseite des Gerätes ® Die Abbildung 17, Seite 30 zeigt die Rückseite des JEVAmet VCU in der Variante C. Die Belegung der einzelnen Anschlüsse wird in den folgenden Abschnitten beschrieben. Abbildung 17 – Rückseite des Gerätes in der Ausführung als Variante C Anschluss Schnittstelle RS232 oder RS485 (Interface RS232 / RS485) Anschluss Relaisausgang (Relay Output) Anschluss für Analogausgang und Externe Steuerung (Analog Output / Extern Control) -
Seite 31: Netzanschluss
5.4.2 Netzanschluss Der Netzanschluss auf der Geräterückseite ( Abbildung 17, D, Seite 30) ist für eine Netzleitung vorgesehen, die geräteseitig mit einem Kaltgerätestecker endet. HINWEIS: Netzkabel Im Lieferumfang ist ein Netzkabel enthalten. Falls der Netzstecker nicht mit Ihrem Anschluss kompatibel ist, muss ein Netzkabel mit folgenden Eigenschaften verwendet werden: •... -
Seite 32: Analogausgang Und Externe Steuerung (Analog Output / Extern Control)
VORSICHT: Unzulässige Messgeräte ® Messgeräte, die nicht für den Betrieb mit dem JEVAmet VCU vorgesehen sind, können das Gerät beschädigen. ® Betreiben Sie das JEVAmet VCU nur mit zulässigen Messgeräten. Kapitel 3.3 Kompatible Vakuumsensoren, Seite 12 Anschließen: • Kanal 1: Schließen Sie den Sensor über ein abgeschirmtes Spezialkabel an den ®... -
Seite 33: Schnittstelle Rs232 / Rs485 (Interface Rs232 / Rs485)
5.4.6 Schnittstelle RS232 / RS485 (Interface RS232 / RS485) Der Anschluss Interface RS232 / RS485 ( Abbildung 20, Seite 33 sowie Abbildung 17, A, Seite 30) ermöglicht die Bedienung des Gerätes über einen Computer oder ein Terminal. Abbildung 20 – Anschlussbuchse Interface (SUB-D, 9-polig) B (RS485) Brücke nach 4 TxD (RS232) -
Seite 34: Bedienung
Bedienung Frontplatte ® Abbildung 22, Seite 34 zeigt die Frontplatte des JEVAmet VCU, die in allen Geräteausführungen identisch ist. Abbildung 22 – Frontplatte Anzeige Kanal 1 mit Statusanzeige für die Schaltpunkte 1 und 2 Anzeige Kanal 2 mit Statusanzeige für die Schaltpunkte 3 und 4 Anzeige Kanal 3 mit Statusanzeige für die Schaltpunkte 5 und 6 Statusanzeige für ATMION ®... -
Seite 35: Anzeige
6.1.1 Anzeige Anzeige Bedeutung . .... Messwert oder Statusmeldung SP1, SP2, SP3, SP4, SP5, SP6 Schaltfunktionszustand Leuchtet das Symbol, ist der Druck niedriger als der untere Schwellenwert Leuchtet das Symbol nicht, ist der Druck höher, als der obere Schwellenwert mbar, Pa, Torr Druckeinheit (gültig für alle Kanäle) -
Seite 36: Ein- Und Ausschalten
Ein- und Ausschalten 6.2.1 Einschalten • Schalten sie das Gerät mit dem Netzschalter ein. ® Nach dem Einschalten führt das JEVAmet VCU folgende Aktionen durch: • Selbsttest • Displaytest • Anzeige der verwendeten Software-Version • Wiederherstellung der zuletzt eingestellten Parameter •... -
Seite 37: Mess-Modus
Mess-Modus 6.4.1 Auswahl ® Das JEVAmet VCU befindet sich nach dem Einschalten automatisch im Mess-Modus. Erfolgt im Konfigurations-Modus 10 Sekunden lang keine Eingabe, wechselt das Gerät in den Mess-Modus zurück. 6.4.2 Beschreibung Im Mess-Modus werden die Messwerte der Sensoren angezeigt. Wenn der Druck außerhalb des für einen Sensor zulässigen Bereiches liegt, erfolgt eine Statusmeldung. -
Seite 38: 6.4.3.2 Konfigurations-Modus Wählen
6.4.3.2 Konfigurations-Modus wählen • Halten Sie die Taste CONFIG etwa 2 Sekunden lang gedrückt. Das Gerät wechselt in den Konfigurations-Modus ( Kapitel 6.5 Konfigurations- Modus, Seite 41). o Wenn Sie 10 Sekunden lang keine Taste betätigen, kehrt das Gerät automatisch in den Mess-Modus zurück. -
Seite 39: 6.4.3.4 Funktion Degas
6.4.3.4 Funktion Degas ® Der ATMION - und BA-Sensor lassen sich über die Funktion Degas reinigen. Hierzu muss der Sensor eingeschaltet sein ( Kapitel 6.4.3.3 Hochvakuum-Sensor einschalten, Seite 38) und der gemessene Druck <110 mbar betragen. • Drücken Sie die Taste CHANNEL, um den Kanal 1 (CH1) zu wählen. •... -
Seite 40: 6.4.3.6 Sensor Identifizieren
6.4.3.6 Sensor identifizieren • Halten Sie die Tasten UP und DOWN etwa 1 Sekunde lang gedrückt. o Auf den Anzeigen der einzelnen Messkanäle werden die jeweils angeschlossenen Sensoren angezeigt ( Tabelle 8, Seite 40). Abbildung 28 – Taste UP und DOWN drücken Anzeige Sensorserie (zugehörige Typen) ... -
Seite 41: Konfigurations-Modus
Konfigurations-Modus 6.5.1 Auswahl Durch Drücken der Taste CONFIG für etwa 2 Sekunden gelangen Sie vom Mess-Modus in den Konfigurations-Modus. Die Anzeige CH1, CH2 oder CH3 für den jeweils gewählten Kanal leuchtet. Wenn Sie sich im Konfigurations-Modus befinden und 10 Sekunden lang keine Taste betätigen, kehrt das Gerät automatisch in den Mess-Modus zurück. -
Seite 42: Bedienkonzept
Die verfügbaren Parameter sind in folgende Parametergruppen unterteilt: Schaltfunktionsparameter (PArA SP) Diese Parameter betreffen nur den Sensor des gewählten Messkanals. Es stehen je Messkanal zwei Schaltfunktionen zur Verfügung. Kapitel 7.1 Schaltfunktionsparameter (PArA SP), Seite 43. Sensorparameter (PArA SEn) Diese Parameter betreffen nur den Sensor des gewählten Messkanals. Für jeden Messkanal steht ein eigener Satz von Parametern zur Verfügung. -
Seite 43: Parameter
Parameter Schaltfunktionsparameter (PArA SP) ® In dieser Parametergruppe können Sie die Schaltfunktionen konfigurieren. Das JEVAmet VCU verfügt über die folgenden Schaltfunktionsparameter: • SP1-Lo … 6-Lo • SP1-Hi … 6-Hi 7.1.1 Grundbegriffe Schaltfunktionen ® JEVAmet enthält nach Geräteausführung vier oder sechs Schaltfunktionsrelais, welche den maximal drei Messkanälen frei zugeordnet werden können. -
Seite 44: Schaltfunktionen Konfigurieren
Abbildung 29 – Verhalten einer Schaltfunktion bei Druckänderungen Druck (pressure) Zeit (time) Arbeitskontakt (normally open) Mittenkontakt (common) Ruhekontakt (normally closed) Der Bereich zwischen dem unteren und dem oberen Schwellenwert erzeugt eine Hysterese zwischen dem Einschalten und dem Ausschalten des Relais. Die Hysterese verhindert, dass die Schaltfunktion in rascher Folge ein- und ausschaltet, wenn sich der Druck in unmittelbarer Nähe eines Schaltpunkts befindet. -
Seite 45: Abbildung 30 - Einstellen Der Parameter Sp
Abbildung 30 – Einstellen der Parameter SP BA_VCU_08.2017_DE... -
Seite 46: Einstellbereich
7.1.3 Einstellbereich Der obere und untere Schwellwert kann im Bereich zwischen 2000 und 110 mbar sensorabhängig gewählt werden. Die Hysterese beträgt mindestens 10 % des unteren Schwellenwerts. ACHTUNG: Wählen Sie die Schwellwerte nur innerhalb des angegebenen Messbereichs des gewählten Sensors. ACHTUNG: Wenn der Sensor-Typ an einem Messkanal geändert wird, müssen die zugehörigen Schwellenwerte angepasst werden. -
Seite 47: Abbildung 31 - Einstellen Der Parameter Sen
Abbildung 31 – Einstellen der Parameter Sen BA_VCU_08.2017_DE... -
Seite 48: Messbereich (Fs)
7.2.1 Messbereich (FS) Bei linearen Sensoren (Ctr) muss der Messbereichs-Endwert (Full Scale) eingegeben werden. Sie können diesen Wert mit Hilfe der Pfeiltasten einstellen. Dabei sind folgende Werte verfügbar: • 1000 Torr • 100 Torr • 10 Torr • 1 Torr •... -
Seite 49: Sensor-Einschaltart (S-On)
7.2.5 Sensor-Einschaltart (S-on) Dieser Parameter bestimmt, wie die Sensoren eingeschaltet werden (nur bA und Ptr). Sie können die Einschaltart auf folgende Werte einstellen: HAnd Manuell. Der Sensor lässt sich durch Drücken der Taste UP einschalten ( Kapitel 6.4.3.3 Hochvakuum-Sensor einschalten, Seite 38). Extern über Optokoppler (statisches Signal +12 –... -
Seite 50: Sensor-Ausschaltart (S-Off)
7.2.7 Sensor-Ausschaltart (S-oFF) Dieser Parameter bestimmt, wie die Sensoren ausgeschaltet werden (nur bA und Ptr). Sie können die Einschaltart auf folgende Werte einstellen: HAnd Manuell. Der Sensor lässt sich durch Drücken der Taste DOWN ausschalten ( Kapitel 6.4.3.5 Hochvakuum-Sensor ausschalten, Seite 39). Extern über Optokoppler (statisches Signal +12 –... -
Seite 51: Filamentauswahl (Fil)
7.2.9 Filamentauswahl (FiL) Dieser Parameter bestimmt, wie die Auswahl der Filamente erfolgt (nur At und bA). Anzeige Bedeutung automatische Filamentauswahl; wenn Filament 1 als defekt erkannt wird, erfolgt automatisch die Umschaltung auf Filament 2 nur Filament 1 nur Filament 2 Tabelle 12 –... -
Seite 52: Abgleich Pirani-Messzweig (Adj)
7.2.11 Abgleich Pirani-Messzweig (AdJ) Mit dieser Funktion erfolgt der Endwert- und Nullpunktabgleich des Pirani-Messzweiges für ® ein angeschlossenes Weitbereichs-Vakuummeters ATMION (nur At). Gehen Sie dazu wie folgt vor: • Wählen Sie den Parameter AdJ Pir • Verwenden Sie die Pfeiltasten, um in den Modus für den Abgleich des Endwertes AdJ_AtM bei einem Druck von 1000 mbar oder den Abgleich des Nullpunktes AdJ_VAC bei Druck <... -
Seite 53: Generalparameter (Para Gen)
Generalparameter (PArA GEn) Mit Hilfe dieser Parameter können Sie das Gerät allgemein konfigurieren. Die Parameter gelten für alle Messkanäle. • Halten Sie die Taste CONFIG für ca. 2 Sekunden gedrückt. o Das Gerät befindet sich nun im Konfigurations-Modus. • Verwenden Sie die Pfeiltasten, um in die Parametergruppe GEn zu gelangen. •... -
Seite 54: Maßeinheit (Unit)
7.3.1 Maßeinheit (unit) Maßeinheit für Druckwerte. Anzeige Bedeutung Maßeinheit mbar Maßeinheit Pascal Maßeinheit Torr Tabelle 13 – Werte für den Parameter unit 7.3.2 Anzeigeformat (diGit) Stellenzahl am Display. Anzeige Bedeutung Zwei Stellen z.B. 2,5 oder 370 ... -
Seite 55: Rechnerschnittstelle
Rechnerschnittstelle Grundlagen 8.1.1 Anschluss ® Das JEVAmet VCU kann über eine serielle Schnittstelle mit einem Rechner kommunizieren. Es stehen wahlweise die Schnittstellen RS232 oder RS485 zur Verfügung. Die Auswahl erfolgt über die Parametergruppe PArA GEn im Konfigurations-Modus ( Kapitel 7.3 Generalparameter (PArA GEn), Seite 53). Die dazu gehörige Anschlussbuchse und das benötigte Verbindungskabel werden in Kapitel 5.3.7 Schnittstelle RS232 / RS485 (Interface RS232 / RS485), Seite 28 beschrieben. -
Seite 56: Kommunikation
Kommunikation 8.2.1 Protokoll Zur Kommunikation wird folgendes Protokoll verwendet: • 8 Daten-Bits • kein Paritäts-Bit • 1 Stopp-Bit Die Baudrate ist wählbar. • 9600 • 19200 • 38400 Es wird kein Hardware-Handshake verwendet. Nachrichten werden als ASCII-Strings übertragen. Ein Komma(0x2C) im String gilt als Trennzeichen. Leerzeichen(0x20) oder Tabulator (0x09) können im String enthalten sein. -
Seite 57: Befehlssatz (Mnemonics)
Befehlssatz (Mnemonics) 8.3.1 Befehlsübersicht Lesebefehle Bedeutung Read Pressure Value. Abfrage des Druckwertes für einen Messkanal. Read Version Number Abfrage der Versionsnummer der Gerätesoftware. Read Sensor ID Sensorkennung für einen Messkanal lesen. Read Setpoint Status Status der Schaltpunkte lesen. Tabelle 20 – Mnemonics für Lesebefehle Schreibbefehle Bedeutung Set HV on/off... -
Seite 58: Rpv (Read Pressure Value)
Lese- und Schreibbefehle Bedeutung (Fortsetzung) Read Filament Mode Filamentauswahl lesen. Set Filament Mode Filamentauswahl setzen. Read Sensor Control Art der Sensorsteuerung für einen Messkanal lesen. Set Sensor Control Art der Sensorsteuerung für einen Messkanal setzen. Read Full Scale FS für CTR für einen Messkanal lesen. Set Full Scale FS für CTR für einen Messkanal setzen. -
Seite 59: Rvn (Read Version Number)
8.3.3 RVN (Read Version Number) Abfrage der Versionsnummer der Gerätesoftware. S: RVN<CR> E: x.xx<CR> Parameter Bedeutung Versionsnummer x.xx 8.3.4 RID (Read Sensor ID) Sensorkennung für einen Messkanal lesen. S: RID[a]<CR> E: b<CR> Parameter Bedeutung Kanalnummer 1 = Kanal 1 (CH1) 2 = Kanal 2 (CH2) 3 = Kanal 3 (CH3) Sensorkennung... -
Seite 60: Shv (Set Hv On/Off)
8.3.6 SHV (Set HV on/off) HV on/off für einen Messkanal setzen, wenn Ein- und Ausschaltart auf Hand gestellt ist. S: SHV[a, b]<CR> E: OK<CR> Parameter Bedeutung Kanalnummer 1 = Kanal 1 (CH1) 2 = Kanal 2 (CH2) 3 = Kanal 3 (CH3) HV on/off 0 = off 1 = on... -
Seite 61: Sre (Reset Error All Channel)
8.3.10 SRE (Reset Error All Channel) Rücksetzen der Fehlermeldungen für alle Kanäle. S: SRE<CR> E: <CR> 8.3.11 RSA (Read Serial Adress) Adresse für RS485 lesen. S: RSA<CR> E: a<CR> Parameter Bedeutung Adresse 1 – 126 (Ausgabe erfolgt im HEX-Format) 8.3.12 SSA (Set Serial Adress) Adresse für RS485 setzen. -
Seite 62: Sgp (Set General Parameter)
Lese- und Schreibbefehle Bedeutung (Fortsetzung) Baudrate 0 = 9600 1 = 19200 2 = 38400 Serielle Schnittstelle 0 = RS232 1 = RS485 Gerätekonfiguration (nur lesbar) 0 = keine gültige Konfiguration 1 = Konfiguration VCU-C 2 = Konfiguration VCU-AM 3 = Konfiguration VCU-BM 4 = Konfiguration VCU-A0 5 = Konfiguration VCU-B0 8.3.14 SGP (Set General Parameter) -
Seite 63: Rpe (Read Pirani Extension)
8.3.15 RPE (Read Pirani Extension) Piranibereichserweiterung für einen Messkanal lesen. S: RPE[a]<CR> E: b<CR> Parameter Bedeutung Kanalnummer 1 = Kanal 1 (CH1) 2 = Kanal 2 (CH2) 3 = Kanal 3 (CH3) Piranibereichserweiterung Kanal 0 = off 1 = on 8.3.16 SPE (Set Pirani Extension) Piranibereichserweiterung für einen Messkanal setzen. -
Seite 64: Sff (Set Filter Factor)
8.3.18 SFF (Set Filter Factor) Filterfaktor für einen Messkanal setzen. S: SFF[a, b]<CR> E: OK<CR> Parameter Bedeutung Kanalnummer 1 = Kanal 1 (CH1) 2 = Kanal 2 (CH2) 3 = Kanal 3 (CH3) Filterfaktor Kanal 0 = Filterfaktor 1 (schnell) 1 = Filterfaktor 3 (mittel) 2 = Filterfaktor 7 (langsam) 3 = Filterfaktor 15 (sehr langsam) -
Seite 65: Rsf (Read Sensitivity Filament)
8.3.21 RSF (Read Sensitivity Filament) Empfindlichkeit für die Filamente lesen. S: RSF[a]<CR> E: b[,][TAB]c<CR> Parameter Bedeutung Kanalnummer 1 = Kanal 1 (CH1) 2 = Kanal 2 (CH2) 3 = Kanal 3 (CH3) Empfindlichkeit Filament 1 Format X.XX im Wertebereich 1.00 – 9.99 Format XX.X im Wertebereich 10.0 –... -
Seite 66: Rfm (Read Filament Mode)
8.3.23 RFM (Read Filament Mode) Art der Filamentauswahl für einen Messkanal lesen. S: RFM[a]<CR> E: b<CR> Parameter Bedeutung Kanalnummer 1 = Kanal 1 (CH1) 2 = Kanal 2 (CH2) 3 = Kanal 3 (CH3) Art der Filamentauswahl 0 = automatische Filamentauswahl; wenn Filament 1 als defekt erkannt wird, erfolgt automatisch die Umschaltung auf Filament 2 1 = nur Filament 1... -
Seite 67: Ssc (Set Sensor Control)
Parameter Bedeutung (Fortsetzung) Sensor-Einschaltart Kanal 0 = Hand 1 = Extern 2 = Hot 3 = durch Kanal 1 4 = durch Kanal 2 5 = durch Kanal 3 Sensor-Ausschaltart Kanal 0 = Hand 1 = Extern 2 = Selbstüberwachung 3 = durch Kanal 1 4 = durch Kanal 2 5 = durch Kanal 3... -
Seite 68: Rfs (Read Full Scale)
8.3.27 RFS (Read Full Scale) FS für Ctr für einen Messkanal lesen. S: RFS[a]<CR> E: b<CR> Parameter Bedeutung Kanalnummer 1 = Kanal 1 (CH1) 2 = Kanal 2 (CH2) 3 = Kanal 3 (CH3) Full Scale 0 = 1000 Torr 1 = 100 Torr 2 = 10 Torr 3 = 1 Torr... -
Seite 69: Rsp (Read Set Point)
8.3.29 RSP (Read Set Point) Schaltpunkte lesen. S: RSP[b]<CR> E: c[,][TAB]d[,][TAB]a<CR> Parameter Bedeutung Kanalnummer 1 = Kanal 1 (CH1) 2 = Kanal 2 (CH2) 3 = Kanal 3 (CH3) Schaltpunktnummer 1 = SP1 2 = SP2 3 = SP3 4 = SP4 5 = SP5 6 = SP6 SP1 –... -
Seite 70: Wartung Und Service
Nach dem Durchbrennen beider Filamente besteht beim Sensor JEVAmet IOS die Möglichkeit, diese selber zu ersetzen oder den gesamten Sensor zum Austausch der Filamente an JEVATEC einzuschicken. ACHTUNG: Messgenauigkeit Für den Fall des selbständigen Austausches der Filamente können wir nicht mehr die angegebene Genauigkeit garantieren. -
Seite 71: Jevamet ® Ios - Sensortausch
ACHTUNG: Beim Herausziehen des Sensors aus dem Tubus ist darauf zu achten, dass der Sensoraufbau nicht beschädigt wird. • Sensor so drehen, dass man den selbigen auf die elektrischen Anschlüsse stellen kann • Die Filamente des Sensors sind mit 3 Gewindestiften über ein Verbindungsstück am Sockel befestigt. -
Seite 72: Fehlermeldungen
Abbildung 10, B, Seite 24 sowie Abbildung 17, B, Seite 30), welcher sich mit einem kleinen Schraubendreher heraushebeln lässt. 9.2.5 Reparatur Defekte Produkte sind zur Reparatur an JEVATEC zu senden. JEVATEC übernimmt keine ® Verantwortung und Gewährleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen am JEVAmet VCU Reparaturarbeiten durchführen. -
Seite 73: Lagerung Und Entsorgung
10.1 Verpackung Bitte bewahren Sie die Originalverpackung auf. Sie benötigen diese Verpackung, wenn Sie ® das JEVAmet VCU lagern oder an JEVATEC versenden wollen. 10.2 Lagerung ® Das JEVAmet VCU darf nur in einem trockenen Raum gelagert werden. Dabei sind folgende Umgebungsbedingungen einzuhalten: •... -
Seite 75: Anhang 2 - Kontaminationserklärung (Formular Für Rücksendung)
Verzögerungen der Arbeiten. Wenn diese Erklärung den instandzusetzenden Geräten nicht beiliegt, kann die Sendung zurückgewiesen werden. Für jede Komponente ist eine eigene Erklärung abzugeben. Für die Eingangskontrolle und den Transport durch JEVATEC fallen Kosten an. Bitte beachten Sie auch die Sicherheitsinformationen auf der Rückseite dieser Erklärung! Diese Erklärung darf nur von autorisiertem Fachpersonal des Betreibers ausgefüllt und unterschrieben werden. -
Seite 76: Sicherheitsinformationen Für Die Rücksendung Von Kontaminierten Artikeln Der Vakuumtechnik
Kontaminationserklärung FB6000 JEVATEC Seite Ideen in der Vakuumtechnik 2 von 2 Sicherheitsinformationen für die Rücksendung von kontaminierten Artikeln der Vakuumtechnik (Vakuummessgeräte, Vakuumpumpen und Vakuumkomponenten) Allgemeine Information Der Unternehmer (Betreiber) trägt die Verantwortung für die Gesundheit und Sicherheit seiner Arbeitnehmer. Sie erstreckt sich auch auf das Personal, dass bei Reparatur und / oder Wartung des Artikels beim Betreiber oder beim Hersteller mit diesem in Berührung kommt. -
Seite 77: Anhang 3 - Eu-Konformitätserklärung
EU-Konformitätserklärung Hiermit erklären wir, die JEVATEC GmbH, dass die nachfolgend bezeichneten Produkte in der von uns in Verkehr gebrachten Ausführung den einschlägigen EU-Richtlinien entsprechen. Bei einer nicht mit uns abgestimmten Änderung eines Produktes verliert diese Erklärung ihre Gültigkeit. Die Einhaltung der EMV- Richtlinien setzt einen EMV-angepassten Einbau der Komponenten in der Anlage oder Maschine voraus. - Seite 80 JEVATEC GmbH Schreckenbachweg 8 07743 Jena GERMANY Tel: +49 3641 3596-0 Fax: +49 3641 3596-39 E-mail: info@jevatec.de...