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XZR400 Serie Bedienungsanleitung
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OPERATION
Vor der Inbetriebnahme des Analysators sollten Sie das Kapitel 2 dieser Bedienungsanleitung
gelesen haben. Dort werden die Kontroll- und Überwachungsfunktionen, die Display-
Funktion sowie die Menüstruktur erklärt.
Vor der Inbetriebnahme muss der Analysator an die korrekte Versorgungsspannung
und die relevanten Analog- und Alarm-Ausgänge an die betreffenden externen Systeme
angeschlossen werden, wie es im Kapitel 2 beschrieben wird.
Bei Auslieferung ist das Instrument auf werksseitig ausgewählte Standard-Parameter
für den Betrieb und die Bedienung voreingestellt. Diese Parameter können, soweit
erforderlich, im Haupt-Menü geändert werden.
3.1
Allgemeine Betriebshinweise
Für das zu analysierende Probegas ist ein Druck von maximal 2 barÜ (29 psig) zulässig.
Der Gasauslass des Systems muss auf atmosphärischem Niveau liegen.
HINWEIS: Soll der Gasauslass bei höherem als atmosphärischem Druck
betrieben werden, ist eine optionale Prozessdruck-Korrektur notwendig.
Bitte konsultieren Sie in diesem Fall einen Anwendungstechniker von Michell
Instruments.
Das Gerät ist für einen Gasfluss von 2 l/h (± 1 l/h) ausgelegt.
HINWEIS: Um bestmögliche Messergebnisse zu gewährleisten, ist das
Probenahmesystem so nah wie möglich am XZR400 Analysator zu installieren.
Bei allen Anwendungen wird das Probegas über den Gaseinlass auf der Unterseite
des Analysators zugeführt und von dort in die beheizte Messkammer geleitet. Bevor
das Gas aus dem Gerät über den Gasauslass ausströmt, wird auf der Auslassseite der
Messkammer der Gasdurchsatz gemessen.
Die für den Messvorgang erforderliche Strömung des Probegases erzeugt der Sensor-
Ofen nach dem Prinzip der Wärmekonvektion. Dabei wird das heiße Probegas durch die
Messkammer gedrückt, strömt am MSRS-Sensor vorbei und dann hin zum Gasauslass.
Auf dem Weg aus der beheizten Messkammer heraus kühlt das Gas ab, strömt durch
den Gasauslass aus dem Gerät und wird dann vom Haupt-Gasstrom fortgeleitet.
Die Analysatoren der Serie XZR400 eignen sich für die Messung des Sauerstoffgehalts
in einer Vielzahl von sauberen und trockenen Gasen. Bei der Messung werden auch
hochreine Gase nicht verunreinigt; das System ist sicher für den Einsatz in kritischen
Halbleiter- und Faseroptik-Fertigungsanwendungen geeignet.
Die Sauerstoffkonzentration kann im Bereich zwischen 0,01 ppm und 25% Sauerstoff
kontinuierlich angezeigt werden. Falls erforderlich, kann der Analysator aber auch
zur Anzeige der Sensor-Spannung, der Ofentemperatur und der Temperatur der
Vergleichsmessstelle im Thermoelement konfiguriert werden.
Michell Instruments
BETRIEB
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