Wartung
10.11 Kalibriereinheit warten
10.11.1 Kalibriermedium nachfüllen
Voraussetzungen
● GSD 350 ausgeschaltet
● Netzkabel abgezogen
● Turbopumpe im Stillstand
● Seitenabdeckungen entfernt
● Gehäuseabdeckung entfernt
Benötigte Werkzeuge
● Innensechskantschlüssel, SW 2,5
● Gabelschlüssel, SW 17
Benötigtes Verbrauchsmaterial
● Kalibriermedium (PFTBA) (Bestellnummer PT 167 031)
2
3
4
5
6
Abb. 65:
1 Absperrventil EVI 005 M
2 Dichtung
3 Blende
Vorgehen
1. Lösen Sie die Verschraubung über dem Glas-Vorratsgefäß von Hand.
2. Ziehen Sie das Glas-Vorratsgefäß vom Absperrventil nach unten ab.
3. Befüllen Sie das Glas-Vorratsgefäß mit dem Kalibriermedium.
4. Montieren Sie das Glas-Vorratsgefäß am Absperrventil.
5. Befestigen Sie die Verschraubung über dem Glas-Vorratsgefäß von Hand.
10.11.2 Kalibrierventil austauschen
Der Austausch erfolgt duch den Pfeiffer Vacuum Service.
► Kontaktieren Sie den
10.12 Zusätzliche Wartungsarbeiten für die Korrosivgasversion
10.12.1 Sperrgasventil austauschen
Voraussetzungen
● GSD 350 ausgeschaltet
● Netzkabel abgezogen
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1
Kalibriereinheit
– Achten Sie auf die Dichrung und die Blende.
– Achten Sie auf die Dichrung und die Blende.
Pfeiffer Vacuum
4
Dichtung
5
Glas-Vorratsgefäß
6
Verschraubung
Service.