Pfeiffer Vacuum OME 63 M Betriebsanleitung Seite 24

Ersatzteile
OME 160 M
8
9
11
12
19
20
27 26
24
6
18 10
Abb. 14: OME 160 M
2 Ventilgehäuse
4 Druckfeder
5 O-Ring
6 Deckel
8 Schraube
9 Deckeldichtung
10 Gehäuse
11 Prallblech
12 Filterelement
25
15
14 O-Ring 24
15 Ablassschraube 25
16 Schauglas 26
17 O-Ring 27
18 Scheibe 31
19 Dichtung 32
20 O-Ring 36
23 O-Ring 37
31
23 5 4 24
37
2 36 32
17
16
27
14
Führungsteil
Zwischenstück
Verschlussschraube
O-Ring
Überdruckventil
O-Ring
Gewindestift
Kleinflansch