Pfeiffer Vacuum OME 63 M Betriebsanleitung Seite 23

OME 100 M
11
19
20
18
16
17
15 14 10
Abb. 13: OME 100 M
2 Ventilgehäuse
4 Druckfeder
5 O-Ring
6 Deckel
8 Schraube
9 Deckeldichtung
10 Gehäuse
11 Prallblech
23 5 2 4 24
12 9
12 Filterelement
14 O-Ring
15 Ablassschraube
16 Schauglas
17 O-Ring
18 Scheibe
19 Dichtung
31
32
36 37
6 8
20 O-Ring
23 O-Ring
24 Führungsteil
31 Überdruckventil
32 O-Ring
36 Gewindestift
37 Kleinflansch
Ersatzteile
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