Betrieb Mit Temperature-Management System (Tms); Tms-Betrieb Aktivieren; Gasartabhängiger Betrieb; Turbopumpe Ein-,Ausschalten - Pfeiffer Vacuum DCU Betriebsanleitung

3.8. Betrieb mit Temperature Management
System (TMS) (nur TC 600/750)
Turbopumpe mit TMS
95 Anschlußbox
96 Anschlußkabel
für Heizeinsätze
97 Sensoranschluss
97
Das Temperature Management System (TMS) besteht aus
einem regelbaren Heizsystem, welches im Vorvakuumbereich
der Turbomolekularpumpe installiert ist. Die Beheizung bis
max. 90°C verhindert die Kondensation von Prozeßgasen
oder Nebenprodukten in diesem Bereich der Pumpe.
Die TMS-Heizung wird grundsätzlich erst nach Erreichen des
Drehzahlschaltpunktes [ [ P P : : 7 7 0 0 1 1 ] ] aktiviert. Die TC 600 erkennt
automatisch eine angeschlossene TMS-Heizung und setzt
entsprechend den Parameter [ [ P P : : 3 3 3 3 5 5 ] ] «Heat type» auf «1».

TMS-Betrieb aktivieren

➡ «7 7 9 9 4 4 : : P P a a r r a a m m . . S S e e t t » wählen und auf «1 1 » setzen.
➡ «3 3 3 3 5 5 : : H H e e a a t t t t y y p p e e » wählen, Einstellung prüfen.
➡ «7 7 0 0 4 4 : : T T M M S S h h e e a a t t s s e e t t » wählen.
➡ Soll-Temperatur «30°C...90°C» eingeben.
➡ Wert quittieren.
➡ «0 0 0 0 1 1 : : H H e e a a t t i i n n g g » wählen und auf «1 1 » setzen.
Mit [ [ P P : : 0 0 0 0 1 1 ] ] «Heating» läßt sich die TMS-Heizung zu jedem
Zeitpunkt mit «1» aktivieren bzw. mit «0» deaktivieren.
Zusätzlich zu den o.g. Parametern, die zum Starten des TMS
benutzt werden, stehen weitere Parameter zur Verfügung, die
das Arbeiten mit TMS unterstützen:
TMS-Temperatur abrufen
➡ «3 3 3 3 1 1 : : T T M M S S A A c c t t T T m m p p » wählen, Temperatur ablesen.
TMS-Solltemperatur erreicht?
➡ «3 3 3 3 3 3 : : T T M M S S s s t t e e a a d d y y » wählen, Angabe ablesen.
Funktion Schaltausgang 1 (nur TC 600)
Der Schaltausgang 1 ist normalerweise beim Überschreiten
des Drehzahlschaltpunktes auf "high" eingestellt. Die Funkti-
on des Schaltausgang 1 kann umprogrammiert werden,
sodaß erst nach Erreichen der TMS-Solltemperatur der
Schaltausgang 1 "high" ist.
➡ «0 0 2 2 4 4 : : C C o o n n f f . . O O u u t t 1 1 » wählen und auf «1 1 » setzen.
Diese Information kann z.B. als Eingangssignal für eine über-
geordnete Prozeßsteuerung verwendet werden.
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3.9. Gasartabhängiger Betrieb
Zum Schutz vor Rotorüberhitzung wird die Maximaleistung
bei einigen Turbopumpen bei Nenndrehzahl begrenzt. Bei
niedrigerer vorgewählter Drehzahl kann dagegen in der Regel
mehr Leistung zur Verfügung gestellt werden. Diese
Frequenz/Leistungskurve ist gasartabhängig.
Gasart wählen
➡ «7 7 9 9 4 4 : : P P a a r r a a m m . . S S e e t t » wählen und auf «1» setzen.
➡ «0 0 2 2 7 7 : : g g a a s s m m o o d d e e » wählen.
➡ «0 0 » für schwere Edelgase, «1 1 » für sonstige Gase wählen.
96
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Kennlinie Gasarten
Bei Überschreitung der gasartabhängigen Maximalleistung
wird die Drehzahl reduziert, bis ein Gleichgewicht zwischen
zulässiger Leistung und Gasreibung erreicht wird. Um Dreh-
zahlschwankungen zu vermeiden, ist es empfehlenswert, im
Drehzahlstellbetrieb die Gleichgewichtsfrequenz bzw. eine
etwas niedrigere Frequenz einzustellen.

3.10. Turbopumpe ein-,ausschalten

(nur TC 600/750)
Die Turbopumpe kann während des Pumpstandbetriebes
(Pumpstand "Ein") separat ein- und ausgeschaltet werden:
➡ «0 0 2 2 3 3 : : M M o o t t o o r r T T M M P P » wählen.
➡ «O O F F F F », bzw. «O O N N » wählen.

3.11. Drehzahlschaltpunkt einstellen

Der Drehzahlschaltpunkt kann zur Erzeugung der Meldung
"Pumpe betriebsbereit" genutzt werden. Nach Über- bzw.
Unterschreitung des Drehzahlschaltpunktes 1 [ [ P P : : 7 7 0 0 1 1 ] ] «Switch
pnt» wird der Schaltpunktausgang aktiviert oder deaktiviert.
Die Werkseinstellung beträgt 80%.
Einfache Schaltpunkteinstellung (nur oberer Wert)
➡ «7 7 0 0 1 1 : : S S w w i i t t c c h h p p n n t t » aufrufen.
➡ Schaltpunkt im Bereich von 50-97% einstellen.
➡ Einstellung bestätigen.
Zweifache Schaltpunkteinstellung (unterer und oberer Wert)
Abhängig von der Einstellung des Parameters [ [ P P : : 0 0 2 2 4 4 ] ] «Conf
Out1», kann der untere und der obere Drehzahlschaltpunkt
gleichzeitig beeinflusst werden.
Die Werkseinstellung beträgt 20 bzw. 80% der Enddrehzahl.
D B
A
C
D-C = Gas mode «0»
B-A = Gas mode «1»
f nom
Frequency
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