Pfeifer Vacuum TPR 010 Betriebsanleitung

Betriebsanleitung
Pirani-Messröhre
TPR 010
BG 805 976 BN (0305)
Produktidentifikation
Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben des
Typenschildes erforderlich. Tragen Sie deshalb diese Anga-
ben ein.
Pfeiffer Vacuum, D-35614 Asslar
Typ:
No:
F-No:
Gültigkeit
Diese Dokumentation ist gültig für Produkte mit den Artikel-
nummern
PTR02270
(Standardausführung)
PTR02250
(ältere Ausführung)
PTR02251
(ältere Ausführung)
PTR02271
(ältere Ausführung)
Die älteren Ausführungen werden nur noch als Ersatzteile zu
den nicht mehr erhältlichen Messgeräten ausgeliefert.
Angaben bezüglich dieser Messröhren oder Abweichungen
von der Standardausführung (PTR02270) sind in diesem
Dokument mit einem Stern (*) markiert.
Sie finden die Artikelnummer auf dem Typenschild.
Bestimmungsgemässer Gebrauch
Die Pirani-Messröhre TPR 010 dient zusammen mit einem
der Messgeräte (siehe Aufstellung unten) zur Vakuummes-
-4
sung im Druckbereich von 8×10 ... 1000 mbar.
Die Pirani-Messröhre TPR 010 ist nicht geeignet für korrosive
Medien.
Standardausführung
Messröhre TPR 010 Messgerät
PTR02270 TPG 300
Ältere Ausführungen
Messröhre TPR 010 Messgerät
neu
PTR02270
PTR02250 * TPG 300
VWS 120
PTR02251 * –
PTR02271 * – TPG 010 A
TPG 031 A
Sicherheit
Sicherheitsvermerke
a) Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten
Gasen die einschlägigen Vorschriften und Schutzmass-
nahmen.
Berücksichtigen Sie mögliche Reaktionen mit den
Werkstoffen und dem erhitzten Heizfaden.
b) Einbau und Instandhaltung sind nur unter Einhaltung
aller einschlägigen Sicherheitsvorschriften zulässig.
c) Zur Instandhaltung eingesandte Produkte sollen nach
Möglichkeit frei von Schadstoffen sein (z.B. radioaktiver,
toxischer, ätzender oder mikrobiologischer Art). Anson-
sten ist die Art der Kontamination zu deklarieren.
Nicht eindeutig als "frei von Schadstoffen" deklarierte
Produkte werden kostenpflichtig dekontaminiert.
Geben Sie die Sicherheitsvermerke auch an andere Benutzer
weiter.
Verantwortung und Gewährleistung
Pfeiffer Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Ge-
währleistung, falls der Betreiber oder Drittpersonen
•
das Produkt nicht bestimmungsgemäss einsetzen
•
die Technischen Daten missachten
• am Produkt Eingriffe jeglicher Art (Umbauten, Änderun-
gen usw.) vornehmen
• das Produkt mit Zubehör betreiben, welches in den zu-
gehörigen Produktdokumentationen nicht aufgeführt ist
Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten
Gasen liegt beim Betreiber.
Technische Daten
Beschreibung
Vakuumanschluss
Einbaulage
Zulässige Temperaturen
Lagerung
Betrieb
ohne Kabel
Relative Feuchte
Heizfadentemperatur
selbstabgleichende
Brückenschaltung
einfache Brücken-
schaltung
Messbereich (Luft, N
Messfehler
Zeitkonstante
selbstabgleichende
Brückenschaltung
einfache Brücken-
schaltung
Reproduzierbarkeit
Schutzart
Überdruck
Leitungslänge
Messröhre–Messgerät
Werkstoffe
Messfaden
Gehäuse,
Vakuumanschluss
Elektr. Durchführung
alt
Filter
IMG 300
Gewicht
TPG 035
TPG 060
TPG 070
TPG 100
PKG 020
PKG 100
TPG 010
TPG 031
Standardausführung
* ältere Ausführungen
DN 10 ISO-KF
beliebig
–40°C ... +80°C
0°C ... +70°C
(10°C ... +50°C) *
100°C
≤80% bei Temperaturen bis
+31°C, abnehmend auf 50% bei
+40°C
Umgebungstemperatur + 130°C
300°C
-4
) 5,6×10 ... 1000 mbar
2
≥100 mbar
bis Faktor 2
≈±20% -1
10 ... 10 mbar
-2
bis Faktor 2 ≤10 mbar
<10 ms
<0,5 s
≈±2%
-2
im Bereich 1×10 ... 100 mbar
IP 40
≤9 bar
(beschränkt auf inerte Gase)
abhängig vom Messgerät
Wolfram
AlMgSi
FPM
Sinterbronze
0,14 kg
Abmessungen [mm]
PTR02270
DN 10 ISO-KF
19
110
Einbau
Anschluss an das Vakuumsystem
HINWEIS
Beachten Sie beim Umgang mit Vakuumkomponenten die
besonderen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz
vor Beschädigung.
GEFAHR
Bei KF-Vakuumanschlüssen mit elastomeren Dichtringen
(z.B. O-Ringen) und einem Überdruck >2,5 bar muss der
Dichtring mit einem Aussenzentrierring versehen sein.
Bei Überdrücken >1 bar ist ein Spannelement zu verwen-
den, welches sich nur mit einem Werkzeug öffnen und
schliessen lässt (z.B. Spannband-Spannring).
Falls die Pirani-Messröhre TPR 010 mit geladenen Teil-
chen (Plasma, Ionenstrahl etc.) in Berührung kommen
kann, muss sichergestellt werden, dass sie mit der geer-
deten Vakuumkammer galvanisch verbunden ist. Verwen-
den Sie in diesen Fällen immer metallisch leitende Zentrier-
ringe und Spannelemente.
Einbaulage beliebig, Staubpartikel sollten jedoch nicht in die
Messkammer gelangen können.
Es bestehen folgende Einbaumöglichkeiten:
• Vakuumanschluss DN 10 ISO-KF
• Vakuumanschluss DN 16 ISO-KF mittels Reduzierzentrier-
ring
Elektrischer Anschluss
Die Pirani-Messröhre TPR 010 wird über ein Messkabel mit
dem Messgerät verbunden.
Aufbau der Messröhren:
• PTR02270 und PTR02271 *
Das Messröhrengehäuse wird über den Vakuumanschluss
und die Vakuumkammer geerdet. Es besteht keine galva-
nische Verbindung zwischen Messröhrengehäuse und
Messgerät.
R1: Messfaden
R2: Temp. Kompensator
R1
R2
NTC
2 1 5 4
Stecker C91E
9
1 5
2 4
3