Verwandte Anleitungen für LEYBOLD IONIVAC IM 520
Inhaltszusammenfassung für LEYBOLD IONIVAC IM 520
- Seite 1 Vakuum-Messung LEYBOLD INFICON und Komponenten Lecksuche In Situ Analyse GA 09.408 / 4 IONIVAC IM 520 Kat.-Nr. 158 65 Gebrauchsanleitung...
-
Seite 2: Inhaltsverzeichnis
2.2.7 Taste „G“ (DEC; Dekrement) ... . 12 Service bei LEYBOLD ....34 2.2.8 Taste „F“ (INC; Inkrement) ... . . 12 Kurzanleitungen . -
Seite 3: Beschreibung
9,98·10 mbar exponentielle Darstellung LEDs für Schaltpunkte 1.1.1 Verwendungszweck Meßwertanzeigerate Das IONIVAC IM 520 ist ein universell verwendbares 0,2 s im Bereich 1·10 bis 9,98·10 automatisches mikroprozessorgesteuertes Ionisations- 2 s im Bereich 1·10 bis 9,98·10 Vakuummeter zum Messen von Drücken im Druckbe-... -
Seite 4: Meßröhren
Maßeinheit mbar; Torr; Pa / umschaltbar Meßsystemumschaltung automatisch (abschaltbar) Tendenzanzeige LCD-Laufbalken druckabhängig Netzanschluß (umschaltbar) fehlerabhängig 100V / 120V / 220V / 240V ± 10 % Netzfrequenz 50 - 60 Hz 1.2.3 Eingänge Kaltgerätesteckdose DIN 49 457 Emission Ein BAG Leistungsaufnahme max. -
Seite 5: Umgebungsbedingungen
Relaiskontakte 1.3 Technische Schaltvermögen Beschreibung 250 V AC / 5 A AC / 1250 VA induktive Last cos phi = 0,4 Die Bedienung des Gerätes erfolgt in einfacher Weise 250 V AC / 8 A AC / 2000 VA über acht Tastschalter, von denen vier lediglich zum Ein- ohmsche Last stellen und Verändern verschiedener Geräteparameter 30 V DC / 5 A DC / 150 W... -
Seite 6: Ionenquellenversorgung
1.3.1 Ionenquellenversorgung nen die Anzeigefelder bzw. Flecken (2/6) und die LED’s (2/4) die Zustände Die Ionenquellenversorgung erzeugt die für den Meß- - „unsichtbar“ und Ausheizbetrieb erforderlichen Anodenspannungen - „blinkend“ und mit den notwendigen Leistungen. Die Versorgung der - „sichtbar“ Katode erfolgt über einen Pulsbreitenregler so, daß sich annehmen. -
Seite 7: Ausstattung
1.4.1 Lieferumfang Ersatzkatode zu IE 414 158 63 Ersatzkatode zu IE 514 158 61 Kat.-Nr. / Best.Nr. THERMOVAC-Meßröhre TR 301 157 40 IONIVAC IM 520 158 65 THERMOVAC-Meßröhre TR 305 157 42 Gebrauchsanweisung GA 09.408 THERMOVAC-Meßröhre TR 306 157 41... -
Seite 8: Bedienung Und Betrieb
Der Anschluß der Versorgungsspannung erfolgt über die Gehäuses sind: mitgelieferte steckbare Netzleitung. Dazu befindet sich Gerätefüße abschrauben. auf der Geräterückseite eine Kaltgerätesteckdose (22/19) nach DIN 49 457. Einbauset montieren. - alle vier Befestigungsschrauben der Frontplatte mit bei- Abb. 4 Einbaumaße des IONIVAC IM 520... -
Seite 9: Ändern Der Netzspannungseinstellung/Sicherungswechsel
Vorsicht 2.1.4 Anschluß der Meßröhren Es dürfen nur 3adrige Netzleitungen mit Schutzleiter verwendet werden. Ein Ein- W 2 @ @ @ @ @ 6 X ? ? W & @ @ @ @ @ @ @ ) K W & @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ ? ? W &... -
Seite 10: Anschluß Der Thermovac-Meßröhre
Zubehör aufgeführten Meßleitungen verwendet werden. 2.2 Bedienelemente und - Arbeiten an der Meßröhre und/oder der Meßleitung dürfen nur bei ausgeschal- deren Funktion tetem Gerät (Netzschalter!) erfolgen. - Nach Abschalten des Gerätes sollte etwa 15 Sekunden gewartet werden, 2.2.1 Allgemeine Übersicht ehe die o.g. -
Seite 11: Taste „Bag" (Bayard-Alpert-Gauge)
Erläuterungen zur Abb. 6 1 Display 2 LED grün (Stati Trigger 1) 3 LED grün (Stati Trigger 2) 4 Symbolik für stationären Fleck = aktiver Zustand 5 Symbolik für blinkenden Fleck = SET Mode oder Störung 6 Level (Trigger) 7 Parameter / Zweitfunktionen 8 „F“... -
Seite 12: Taste „Extr" (Extraktor-System)
nach Betätigen der Taste „BAG“ (6/12) ein Umschalten oder bei extremen Anforderungen an die Genauigkeit auf das BAG-System mit automatischem Neueinschal- des Meßwertes sollte bei Erreichen der Betriebstempe- ten der Emission. ratur des Gerätes (ca. 30 min nach Einschalten) der Null- Abgleich durch Betätigen der Taste „ZERO“... -
Seite 13: Taste „Para" (Parameter)
2.2.9 Taste „PARA“ (Parameter) Während dieser Zeit blinken der Flecken „DEG“ über der Taste „ZERO“ und der letztgültige Meßwert. Die Taste „PARA“ (6/7) hat mehrere Funktionen. Das Ausheizen hat den Sinn, Schmutzablagerungen auf Die erste Funktion der Taste „PARA“ ohne zusätzliche der Anode zu entfernen. -
Seite 14: Bedeutung Der Lcd-Flecken Über Der Tastatur
Erläuterungen zur Abb. 7 @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ 1 LED blinkt @ @ @ ? -
Seite 15: Bedeutung Der Leds „Lev
Erläuterungen zur Abb. 8 1 aus 2 leuchtet (Trigger aktiviert) Abb. 8 Bedeutung der LEDs „LEV“ „↑“ „REM“ Gerät befindet sich im REMO- Die LEDs kennzeichnen TE - Betrieb; nur Steuerung - im Meßmodus durch permanentes Leuchten einen über Rechnerinterface möglich aktivierten Trigger, d.h. -
Seite 16: Geräteparameter
2.3 Geräteparameter Seite 10 Anzahl der Meßwert-Integrationsschritte Display-Beispiel 2.3.1 Allgemeine Angaben Seiten 11 bis 13 frei Das Betriebsverhalten des IM 520 wird durch einige Geräteparameter bestimmt, deren Auswahl in den Para- Seite 14 meterseiten (PAGE) geschieht. Andere Parameterseiten Multifunktionsseite dienen der Empfindlichkeitsanpassung für die beiden Display-Beispiel P3.0 Meßsysteme. -
Seite 17: Die Geräteparameterseiten
Abb. 10 Erscheinungsbild der Geräteparameterrseite 1 „PARA“. Das Display blinkt nach 3 Sekunden. Nach wei- Störfall. teren 3 Sekunden hört das Blinken auf, das Display zeigt Eine solche Betriebsart ist sinnvoll bei Druckregelungen. statisch den eingestellten Parameter. Die Taste „PARA“ kann nun losgelassen werden;... -
Seite 18: Ereignis-Oder Triggermode)
@ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ ? -
Seite 19: Empfindlichkeitsanpassung Bag / System 1)
Abb. 13 Darstellung der Level-Trigger und Intervall-Trigger so erscheint beim Versuch des „Einbrennens“ die Feh- Hinweis lermeldung „EEE L“ in der Anzeige. - Der Kalibrierfaktor (CAL) läßt sich bei Verwendung einer IE 413 oder IE 511 wie folgt berechnen: CAL = 10 : (angegebene Empfindlichkeit). - Sind an das Gerät zwei gleiche Meßsysteme ange- 2.3.3.4 Seite 4 (Empfindlichkeitsanpassung BAG / schlossen, so kennzeichnet der Exponent „1“... -
Seite 20: Fernsteuermodus)
Abb. 15 Erscheinungsbild der Geräteparameterseite 5 In dieser Parameterseite kann festgelegt werden, welche Durch Betätigung der Tasten „F“ und „G“ kann der darge- dieser Eingänge wirksam sein soll. stellte Zahlenwert verändert werden für: - ein BAG- System von 10.0 bis 19.9 Nach Aufrufen der Seite 6 erscheint auf dem Display bei- - ein EXTR-System von 3.8 bis 14.8. -
Seite 21: Thermovac-Modus)
- Sind zwei gleiche Extraktor-Meßsysteme angeschlos- Durch Betätigung der Tasten „F“ und „G“ können die Modi sen, so wirkt der EXTR-Pegeleingang (falls angemel- verändert werden. det) zunächst ebenfalls nur auf das am Stecker „1 Hinweis (BAG)“ angeschlossene Meßsystem, der Stecker 1 hat - Das Aktivieren der Pegel-Fernsteuereingänge kann nur also Priorität vor Stecker 2. -
Seite 22: Maßeinheit)
Abb. 18 Erscheinungsbild der Geräteparameterseite 8 trol“. Die folgenden Zeichen bedeuten: Fällt die THERMOVAC-Überwachung im angemeldeten Kontrolle durch THERMOVAC nicht aktiviert (Off) Zustand aus, so wird dies durch den blinkenden Fleck Kontrolle durch THERMOVAC aktiviert „TM FAIL“ (THERMOVAC FAILURE) gemeldet, ohne die THERMOVAC-Meßröhre ist während des aktivier- Emission abzuschalten. -
Seite 23: Meßwert-Integrationsschritte)
Abb. 19 Erscheinungsbild der Geräteparameterseite 9 Meßsystems automatisch auf ein zweites Meßsystem Vorsicht Das Wechseln der IONIVAC-Meßsyste- umgeschaltet wird. Dies setzt zwei gleiche Meßsysteme me bei eingeschaltetem IM 520 darf nur voraus. durch eingewiesenes (im Sinne der VDE 0100) Fachpersonal durchgeführt wer- Eine Anwendung für diesen Modus ist der redundante den. -
Seite 24: Multifunktionsseite)
Abb. 21 Erscheinungsbild der Geräteparameterseite 14 Beim Einbrennen des GEI-Parameters führt das IM 520 lung ist nur in den Druckbereichen 10 bis 10 wirk- einen Warmstart durch, d.h. es simuliert einen Netz- sam. Da die Mittelungszeit im Bereich 10 0,2 s beträgt “AUS / EIN“... -
Seite 25: Versorgungs- Und Steckeranschlüsse Auf Der Geräterückseite
2.4 Versorgungs- und sprechend eigene Schutzmaßnahmen aufweisen! Steckeranschlüsse auf Die Metallflansche der IONIVAC-Meß- röhren sind über die Meßleitungen in- der Geräterückseite nerhalb des IM 520 mit dem Schutzleiter verbunden! Alle Versorgungs- und Steckeranschlüsse befinden sich auf der Geräterückseite. Die Auflistung ist in Abb. 22 dar- gestellt. -
Seite 26: Anschluß Thermovac-Meßröhre
Bezeichnung Funktion Katode Katode Anode Reflektor (Extraktor) Brücke 1 (Extraktor) Brücke 2 (Extraktor) Schutzleiter Abb. 23 IONIVAC-Meßröhren-Anschluß tetem Gerät (Netzschalter!) erfolgen. der Serien MIL-C 26482 und VG 95328 Gehäusegröße - Nach Abschalten des Gerätes sollten ca. 15 Sekunden gewartet werden, ehe Achtung Die Spannungen an dieser Steckdose die o. -
Seite 27: Klemmleiste 1 (Relais)
Abb. 25 Klemmleiste 1 steuereingänge und der lineare und der logarithmische Klemmleistenkontakt Schreiberausgang. Relaiskontakt Ein-NO Kontaktzustand bei Netz aus offen An jede Schraubklemme lassen sich Leitungen mit Kontaktzustand bei Bedingung einem Querschnitt von bis zu maximal 1,5 mm ansch- Emission ist ein geschl. -
Seite 28: Klemmleiste 2 (Trigger-Relais)
? O 2 6 K ? e O 2 6 K ? @ @ @ e @ 6 X ? @ @ ? W 2 @ @ ? @ @ e ? W 2 @ @ @ @ @ ? @ @ @ @ @ 6 X ? @ @ @ @ 6 X ? @ @ @ @ @ @ @ 6 X ? ? @ @ ? W 2 @ @ 6 X ? @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ ? ? @ @ @ @ 6 X ? @ @ @ @ @ 6 ? 2 @ @ 6 X ? W 2 @ @ 6 X ? @ @ @ @ 6 X ? @ @ @ 6 K O 2 @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ 6 X J @ @ @ L ? @ @ 1 ? @ @ ? 7 @ @ @ ? @ @ e ? 7 @ ( M ? @ @ ? @ @ ? I ' @ 1... -
Seite 29: Die Fernsteuereingänge
Klemmleistenkontakt Bei Abschaltung der Emission auf Grund eines vorüber- Signal Masse gehenden Fehlers „Druck zu hoch“ wird die Emission erst dann wieder eingeschaltet, wenn an den entspre- Beschreibung: chenden Fernsteuereingängen ein Wechsel des Schalt- Bei Unterschreiten der mit Potentiometer „THRESHOLD zustandes stattgefunden hat. -
Seite 30: Die Schreiberausgänge
Auflösung nicht mehr ausreichend um den Wert von 0 V zu unterscheiden (Einsatz bei Druckregelapplikatio- 2.5.1 Anschluß des IONIVAC IM 520 nen). Beispiel: IONIVAC IM 520 gemäß Abschnitt 2.1 aufstellen. Gewählte Dekade: Vorsicht Das Anschließen bzw. Wechseln von Meßwert: 3,08·10 Meßröhren darf nur bei ausgeschalte-... -
Seite 31: Betriebsbereitschaft
Abb. 28 Betriebsbereitschaft Zubehör) eingefügt werden. bzw. einer fehlerhaften Verbindung. Hinweis Erscheint nach Ablauf des automatischen Gerätetests Es ist darauf zu achten, daß die Bajonettverschlüsse der eine andere Darstellung auf dem Display, so liegt eine Meß- und Verlängerungsleitungen beim Aufstecken und Störung vor (siehe Abschnitt 2.8). -
Seite 32: Fernbedienung
? @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ ? @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ @ ? @ @ ? h ? I @ M ? @ @ @... -
Seite 33: Störungen, Fehler, Ursachen, Beseitigung
2.8 Störungen, Fehler, Ursachen, Beseitigung Treten Störungen auf, so werden diese entweder über blinkende Flecken in der LCD-Anzeige kenntlich gemacht oder / und als Fehlercode ange- zeigt. Folgende Tabelle gibt eine Übersicht über die möglichen Fehler und deren Beseitigung: Fehlercode Flecken blinkt Fehlerursache Beseitigung... -
Seite 34: Wartung
3.2 Service bei LEYBOLD Das IM 520 benötigt normalerweise keinerlei Wartung. Sollte es einmal erforderlich sein, das Gerät mit einer Falls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Sie aktuelleren Software-Version auszustatten, so kann dies an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden auf einfache Weise durch Austausch des EPROM’s... -
Seite 35: Kurzanleitungen
4 Kurzanleitungen 4.1 Parameter und Schnittstelleneinstellungen Page Name Display Bedeutung: IM 520 STANDARDBETRIEB symbol * Anzeige PARA Messung 1.03 Schreiberausgang linearer Schreiberausgang, fest in den Dekaden x = 3 bis 12 oder linearer Schreiberausgang, Meß- dekadenunabhängig immer Mantissenwert bereitschaft - - - PARA Autorange Autorange... -
Seite 36: Triggerwerteinstellung
4.2 Triggerwerteinstellung IM 520 STANDARDBETRIEB TRIGGERWERTEINSTELLUNG Anzeige Page Name Display Bedeutung: symbol * Messung 1.03 oder Trigger level 1 Meß- Mit „F“ oder „G“ verändern des Anzeigewertes bereitschaft - - - 9,9·10 bis 1·10 Wird die Taste LEV länger als 6 s gedrückt, so erfolgt das Einbrennen des gewählten Trigger Level -Wertes. - Seite 38 LEYBOLD INFICON Bonner Straße 498 (Bayenthal) D-50968 Köln Telefon: + 49 (221) 347-0 Telefax: + 49 (221) 347-1250 http://www.leyboldvac.de e-mail:documentation@leyboldvac.de...