Parameter
46
GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum
5.2.12
Pirani-Bereichserweiterung (PrE)
Anzeige und Schaltpunkteinstellbereich erweitern.
Anzeige
oFF
on
Tab. 5-8
Werte für den Parameter
Bedeutung
Normalbetrieb
Bereichserweiterung:
-5
Anzeige bis 5 × 10
Schaltpunkteinstellbereich
-4
bis 2 × 10
mbar
PrE
mbar