Inhaltszusammenfassung für Oerlikon CENTER TWO
- Seite 1 CENTER TWO CENTER THREE Mehrkanal-Messgerät Gebrauchsanleitung GA 09.035/6.01 Kat.-Nummer 230 003 230 004 235 003 235 004...
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Seite 2: Inhaltsverzeichnis
Kommunikation ........58 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 3 Stichwortverzeichnis ........95 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 4: Einleitung
Auf der Seite des Geräts befindet sich ein Typenschild. Im Verkehr mit Oerli- kon Leybold Vacuum sind die Angaben des Typenschildes erforderlich. Tra- gen Sie deshalb diese Angaben ein: Abb. 1-1 Typenschild (Beispiel) GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 5: Bestimmungsgemässe Verwendung
Es wird in Kombination mit den Transmittern der Baureihen THERMOVAC, PENNINGVAC, CERAVAC und IONIVAC verwendet und dient zur Messung von Totaldrücken. Die Transmitter sind gemäss den entsprechenden Gebrauchsanleitungen zu betreiben. Das CENTER TWO bzw. CENTER THREE Mehrkanal-Messgerät wird im fol- genden kurz als «Mehrkanal-Messgerät» bezeichnet. 1.2.1 Verantwortung und Gewährleistung Oerlikon Leybold Vacuum übernimmt keine Verantwortung und Gewährleis-... -
Seite 6: Sicherheit
«Vorsicht» kennzeichnet eine Gefährdung mit geringem Risiko, die leichte Vorsicht oder mittlere Körperverletzungen oder Sachschaden zur Folge haben könnte, wenn sie nicht vermieden wird. Hinweis: Ein Hinweis wie dieser weist auf besonders wichtige, jedoch nicht si- cherheitsrelevante Informationen hin. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 7: Grundlegende Sicherheitsvorschriften
Verwenden Sie das Mehrkanal-Messgerät nur gemäss den Vorgaben des Herstellers. Siehe Kapitel 1.2 Bestimmungsgemässe Verwendung, Falsche Anschluss- und Betriebsdaten. Vorsicht Falsche Anschluss- und Betriebsdaten können das Mehrkanal-Messgerät beschädigen. Halten Sie alle vorgeschriebenen Anschluss- und Betriebsdaten ein. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 8: Trennvorrichtung
Die Trennvorrichtung muss für den Benutzer einfach zu erkennen und zu erreichen sein. Um das Mehrkanal-Messgerät vom Stromnetz zu trennen, müssen Sie das Netzkabel ausstecken. Abb. 1-3 Rückseite des CENTER THREE A Trennvorrichtung GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 9: Technische Daten
Höhe: 128.5 mm (3 HE) Tiefe: 207 mm Siehe Abb. 2-1, Gewicht CENTER TWO: 1.04 kg CENTER THREE: 1.16 kg Verwendung Tischgerät Schalttafeleinbau Rackeinbau 106.3 91.4 204.5 Abb. 2-1 Abmessungen (in mm) GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 10: Netzanschluss
Mit 4 Bedientasten auf der Frontplatte Rechner Über RS232C-Schnittstelle Netzanschluss Spannung 90…250 VAC Frequenz 50…60 Hz Leistungsaufnahme CENTER TWO: Max. 45 W CENTER THREE: Max. 65 W Überspannungskategorie Schutzklasse Anschluss Kaltgerätestecker IEC 320 C14 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 11: Messkanäle
Die Speisung entspricht den Anforderungen einer geerdeten Schutzkleinspannung (SELV). 2.3.3 Messtechnik Messbereiche Transmitter-abhängig Verstärkungsfehler: ≤ 0.005 % FS Messfehler Offsetfehler: ≤ 0.01 % FS Messrate 50 s Anzeigerate 10 s GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 12: Schaltfunktionen
Schaltfunktionsrelais Kontaktart Umschaltkontakt, potentialfrei Belastung (ohmsch) Max. 60 VDC, 0.5 A Max. 30 VAC, 1 A Lebensdauer Mechanisch: Schaltzyklen Elektrisch: Schaltzyklen bei maximaler Belastung Anschluss D-sub, 25-polig, weiblich. Siehe Abb. 3-8, GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 13: Ausgänge
Siehe Abb. 3-9, 2.5.2 Schreiberausgang Anzahl Spannungsbereich 0…10 VDC Auflösung 1 mV Genauigkeit ± 20 mV 3300 Ω Innenwiderstand Beziehung zwischen Spannung Programmierbar und Druck Anschluss D-Sub, 9-polig, männlich. Siehe Abb. 3-9, GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 14: Lieferumfang
Nur TXD und RXD benutzt Baudrate 9600, 19200, 38400 Anschluss D-Sub, 9-polig, weiblich. Siehe Abb. 3-10, Lieferumfang Bezeichnung Anzahl Mehrkanal-Messgerät Netzkabel Gummileiste Gummifüsse Halsschrauben Kunststoffhülsen Zubehör Bezeichnung Produktnummer D-Sub-Steckverbinder zu 230 006 Anschluss CONTROL, schraubbar GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 15: Installation
Legen Sie das Mehrkanal-Messgerät wie in Abb. 3-1, 16 dargestellt auf den Rücken Schieben Sie die im Lieferumfang enthaltene Gummileiste auf die Unterkante der Frontplatte Kleben Sie die im Lieferumfang enthaltenen Gummifüsse auf den Gehäuseboden GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 16 Schalttafelausschnitt (in mm) Führen Sie das Mehrkanal-Messgerät in den Ausschnitt ein Befestigen Sie das Gerät mit vier M3-Schrauben Hinweis: Zur Entlastung der Frontplatte wird empfohlen, das Gerät nach unten hin abzustützen. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 17: Rackeinbau
Rackgestell zusätzlich mit Gleitschienen zu verse- hen. Befestigen Sie den Rackeinschubadapter im Rack Schieben Sie das Mehrkanal-Messgerät in den Rackeinschubadapter Befestigen Sie das Mehrkanal-Messgerät mit den im Lieferumfang ent- haltenen Halsschrauben und Kunststoffhülsen im Rackeinschubadap- GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 18: Anschliessen
Ein Gerät mit nicht befestigtem Schutzleiter kann im Störungsfall lebensgefährlich sein. Drehen oder lösen Sie die Schraube, mit der der interne Schutzleiter be- festigt ist, nicht. Die Belegung der einzelnen Anschlüsse wird in den folgenden Abschnitten beschrieben. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 19 Mit Hilfe der Erdungsschraube (Abb. 3-4, 18, Pos. I) kann das Mehrkanal- Messgerät mit der Schutzerdung des Pumpstands verbunden werden. Bei Bedarf: Verbinden Sie die Schutzerdung des Pumpstands über einen Schutzleiter mit der Erdungsschraube GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 20: Kontaktbelegung
Siehe Kapitel 2.3.1 Messanschlüsse, Mehrfachbelegung. Vorsicht An jeden Messkanal darf nur ein einziger Transmitter angeschlossen wer- den. Andernfalls werden die angeschlossenen Transmitter beschädigt. Stecken Sie an jeden Messkanal maximal einen Transmitter an. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 21 Der Kontakt ist mittels eines PTC-Elements auf eine Stromstärke von 200 mA abgesichert. Das Element stellt sich von selbst zurück, wenn das Gerät abgeschaltet wird oder der Stecker aus der Buchse RELAY he- rausgezogen wird. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 22 Schliessen Sie die peripheren Komponenten an den Anschluss CONT- ROL an. Verwenden Sie ein abgeschirmtes Verbindungskabel. Hinweis: Die Abweichung zwischen den Analogausgängen (Pin 1, 2, 6) und der Anzeige am Gerät beträgt maximal ±50 mV. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 23 Verbinden Sie die serielle Schnittstelle des Rechners mit dem Anschluss RS232C. Verwenden Sie ein abgeschirmtes Kabel. Hinweis: Verwenden Sie ein serielles Verlängerungskabel mit einem 9-poligen Stecker und einer 9-poligen Buchse. Das Kabel darf keine gekreuzten Leiter besitzen. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 24: Bedienung
CENTER THREE Abb. 4-1 Frontplatte des CENTER THREE A Schaltfunktionszustand B Parameter-Modus C Druckeinheit D Anzeigenfeld für Messkanal 1 E Anzeigenfeld für Messkanal 2 F Anzeigenfeld für Messkanal 3 G Bedientasten GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 25: Druckeinheit
Die Pfeiltasten werden benötigt, um im Parameter-Modus Daten eingeben zu können. Durch Drücken der Tasten kann ein Vorgabewert verkleinert oder vergrössert werden. Die entsprechenden Tasten werden im folgenden als DOWN und UP bezeichnet. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 26: Ein- Und Ausschalten
Warten Sie mindestens 10 Sekunden, bevor Sie das Mehrkanal-Messgerät erneut einschalten. Hinweis: Wenn Sie das Mehrkanal-Messgerät in eine Schalttafel oder in ein Rack eingebaut haben, können Sie es auch über den zentralen Netzverteiler ein- und ausschalten. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 27: Betriebsarten
Das Mehrkanal-Messgerät befindet sich nach dem Einschalten automatisch im Mess-Modus. Wenn Sie sich im Parameter-Modus befinden und 10 Sekunden lang keine Taste betätigen, kehrt das Gerät automatisch in den Mess-Modus zurück. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 28: Beschreibung
CH 2 Siehe Kapitel 5.2.8, CH 3 Siehe Kapitel 5.4.5, Tab. 4-1 Anzeige im Mess-Modus Messkanäle, an die kein Transmitter angeschlossen ist, zeigen noSEn an. Diese Statusmeldung erlischt nach etwa zwei Minuten. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 29: Tastenfunktionen
Taste PARA drücken Das Gerät wechselt in den Parameter-Modus. Siehe Kapitel 4.5 Parameter- Modus, 33. Wenn Sie 10 Sekunden lang keine Taste betätigen, kehrt das Gerät automatisch in den Mess-Modus zurück. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 30: Degas-Funktion Einschalten
Drücken Sie die Taste CH, um den betreffenden Messkanal zu wählen Halten Sie die Taste UP etwa 1 Sekunde lang gedrückt. Siehe Abb. 4-4, Die Degas-Funktion des Transmitters am gewählten Messkanal wird einge- schaltet. Die Anzeige DEG leuchtet. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 31: Degas-Funktion Ausschalten
Drücken Sie die Taste CH, um den betreffenden Messkanal zu wählen Halten Sie die Taste DOWN etwa 1 Sekunde lang gedrückt. Siehe Abb. 4-5, Die Degas-Funktion des Transmitters am gewählten Messkanal wird ausge- schaltet. Die Anzeige DEG erlischt. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 32: Transmitter Identifizieren
Kein Transmitter angeschlossen (no noSEn sensor) Transmitter nicht identifizierbar (no noid identification) Tab. 4-2 Transmitter-Identifikation Hinweis: Bei Transmittern vom Typ ITR wird zusätzlich die Software-Versions- nummer des Transmitters angezeigt (z.B. 1.20). GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 33: Parameter-Modus
Tab. 4-3, 34 zeigt alle verfügbaren Parameter. Parametergruppe Parameter PArA SP1-L SP1-H SP2-L SP2-H SP3-L SP3-H SP4-L SP4-H SP5-L SP5-H SP6-L SP6-H PArA FiLt dEGAS S-on S-oFF PArA unit bAud diGit Err-r GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 34 Mit Hilfe dieser Parameter können Sie einzelne Funktionen des Geräts über- prüfen. Die Parametergruppe wird im normalen Betrieb nicht benötigt. Sie muss deshalb speziell aktiviert werden. Siehe Kapitel 5.4 Testparameter (PArA tESt), GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 35 Nachdem der letzte Parameter einer Parametergruppe durchlaufen wurde, schaltet das Gerät in den Mess-Modus zurück. Änderungen an den Parame- tern sind sofort wirksam, und sie werden automatisch im EEPROM gespei- chert. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 36: Parameter
SP6-H 5.1.1 Grundbegriffe Schaltfunktionen Das CENTER TWO enthält vier Relais, die in Abhängigkeit vom gemessenen Druck umschalten. Die Kontakte der Relais sind potentialfrei und können über den Anschluss RELAY für Schaltzwecke genutzt werden. Siehe Kapitel 3.3.5 RELAY, 21. Man spricht in diesem Zusammenhang von den Schaltfunktio- nen 1…4. -
Seite 37: Schaltfunktionen Konfigurieren
Messkanal zugeordnet Verwenden Sie die Pfeiltasten, um den Schwellenwert zu ändern Der Wert des Parameters wird geändert Wiederholen Sie die Schritte 1 bis 3, um weitere Parameter der Para- metergruppe zu ändern GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 38: Einstellbereich
Demnach beträgt die Hysterese mindestens 10 % des unteren Schwellen- werts (logarithmische Transmitter) oder 1 % des Messbereichs-Endwerts (lineare Transmitter). Wenn der Transmitter-Typ an einem Messkanal geän- dert wird, werden die zugehörigen Schwellenwerte bei Bedarf automatisch angepasst. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 39: Sensorparameter (Para Sen)
Signalen. Der Filter wirkt auf die Anzeige am Display, auf den RS232C-Ausgang, auf den Schreiberausgang, und auf die Schaltfunktionen. Die analogen Ausgänge werden dagegen nicht beeinflusst. Sie können den Messwertfilter auf folgende Werte einstellen: GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 40 Slow (langsam). Das Mehrkanal-Messgerät reagiert langsam auf Signal- schwankungen. Dadurch ist es weniger empfindlich gegenüber Signalstörun- gen. Diese Einstellung wird für präzise Vergleichsmessungen empfohlen. Abb. 5-4 Messwertfilter auf Stellung SLo (Beispiel) GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 41 Hinweis: Bei Transmittern vom Typ ITR und PTR 90 ist die Gaskorrektur nur für p < 10 mbar wirksam; bei TTR 100 und TTR 101 nur für p < 10 mbar. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 42: Messbereich (Fs)
Wählen Sie den Parameter oFS an Drücken Sie die Taste DOWN Die Offset-Korrektur wird ausgeschaltet Das Display zeigt oFF an Die Anzeige OFS erlischt Offset-Korrektur einschalten Wählen Sie den Parameter oFS an GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 43: Degas-Funktion (Degas)
Degas-Funktion automatisch ab. Sie können die Funktion aber auch manuell ausschalten. Degas ausschalten Wählen Sie den Parameter dEGAS an Drücken Sie die Taste DOWN Die Degas-Funktion wird ausgeschaltet Das Display zeigt oFF an Die Anzeige DEG erlischt GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 44: Transmitter-Einschaltart (S-On)
Siehe Kapitel 4.4.3.5 Hochvakuum-Messkreis ausschalten, SELF Selbstüberwachung. Mit Hilfe des darauffolgenden Parameters t-off können Sie einen Ausschaltwert festlegen. Wenn der Druck am Transmitter den Aus- schaltwert überschreitet, wird der Transmitter ausgeschaltet. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 45: Transmitter-Ausschaltwert (T-Off)
Dieser Parameter bestimmt die Regeln für die Auswahl des aktiven Filaments. Anzeige Bedeutung Der Transmitter wählt abwechselnd eines der Auto beiden Filamente Filament 1 ist aktiv Fil 1 Filament 2 ist aktiv Fil 2 Tab. 5-7 Werte für den Parameter GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 46 Parameter 5.2.12 Pirani-Bereichserweiterung (PrE) Anzeige und Schaltpunkteinstellbereich erweitern. Anzeige Bedeutung Normalbetrieb Bereichserweiterung: Anzeige bis 5 × 10 mbar Schaltpunkteinstellbereich bis 2 × 10 mbar Tab. 5-8 Werte für den Parameter GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 47: Generalparameter (Para Gen)
Wert torr nicht zur Verfügung. Siehe Kapitel 5.4.4 Torr-Sperre (tr-L), 5.3.2 Baudrate (bAud) Übertragungsgeschwindigkeit der RS232C-Schnittstelle. Anzeige Bedeutung 9600 Baud 9600 19200 Baud 19200 38400 Baud 38400 Tab. 5-10 Werte für den Parameter bAud GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 48: Anzeigeformat (Digit)
Wählen Sie den Parameter Ao an Verwenden Sie die Taste CH, um festzulegen, welchem Messkanal der Schreiberausgang zugeordnet werden soll Verwenden Sie die Pfeiltasten, um die Ausgangscharakteristik zu wäh- Der Wert des Parameters wird geändert GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 49: Ausgangschrakteristik
= 10^[(U - 7.75)/0.75] ITR 200 p = 10^[U - 8] LoG -6 Logarithmische Darstellung eines Teil-Messbereichs (2.5 V/Dekade). Transmitter Druck (in mbar) Alle Typen p = 10^[U/(10/4) - 10] GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 50 Messbereiche besitzen. Der von der Kombination erzielte Gesamtmessbereich wird im Bereich von 0…10 V logarithmisch dargestellt. Hinweis: Die drei Transmitter müssen hinsichtlich des Messbereichs-Endwerts (FS) sortiert sein. Die Sortierfolge darf steigend oder fallend sein. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 51 Bedeutung Alle Fehler Gerätefehler no SE Sensor 1- und Gerätefehler CH 1 Sensor 2- und Gerätefehler CH 2 Sensor 3- und Gerätefehler CH 3 Tab. 5-12 Werte für den Parameter Err-r GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 52: Testparameter (Para Test)
Mess-Modus zurückzukehren, drücken Sie die Taste PARA so oft, bis Sie alle Testparameter durchlaufen haben. 5.4.2 Firmware-Version (Pnr) Zeigt die Firmware-Version an. Das letzte Zeichen kennzeichnet den Ände- rungs-Index. Beispiel: 302-533-F GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 53 Benutzer die Parameter nur noch ansehen, aber nicht mehr ändern. Anzeige Bedeutung Parameter können angesehen und geändert werden Parameter können nur angesehen werden Tab. 5-15 Werte für den Parameter LoC GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 54 Test läuft Test ohne Fehler beendet PASS Test beendet und Fehler festgestellt Tab. 5-18 EEPROM-Test Falls der Test wiederholt fehlschlägt, nehmen Sie bitte Kontakt mit Ihrer nächstgelegenen Oerlikon Leybold Vacuum-Servicestelle auf. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 55: Display-Test (Di-T)
Alle Relais ausgeschaltet Relais Schaltfunktion 1 ein r1-H Relais Schaltfunktion 1 aus r1-L Relais Schaltfunktion 2 ein r2-H Relais Schaltfunktion 2 aus r2-L Relais Schaltfunktion 3 ein r3-H Relais Schaltfunktion 3 aus r3-L GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 56 Terminal zurückgesandt. Der Datentransfer zwischen den Geräten ist nur am Bildschirm des Terminals sichtbar. Drücken Sie die Taste PARA, um den Test abzubrechen und in den Mess- Modus zurückzukehren. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 57: Rechnerschnittstelle
End of text (Ctrl-C). Reset der Schnittstelle. Löscht den Eingabespeicher. <ENQ> Enquiry (Ctrl-E). Aufforderung zur Datenübertra- gung. <ACK> Acknowledge. Positive Rückmeldung. <LF> Line feed. Zeilenvorschub. <CR> Carriage return. Wagenrücklauf. <NAK> Negative acknowledge. Negative Rückmeldung. Tab. 6-2 Steuerzeichen GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 58: Kommunikation
E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: Daten<CR><LF> Wenn das Mehrkanal-Messgerät eine Nachricht erhält, die es nicht interpre- tieren kann (Syntax-Fehler), legt es den entsprechenden Fehlerstatus im Aus- gabepuffer ab. Siehe Kapitel 6.3.9 ERR, GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 59: Beispiele
Parameter der Schaltfunktion 2 ändern S: SP2,0,9E-1,2.2E0<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: 0,9.0000E-01,2.2000E+00<CR><LF> Messwertfilter ändern S: FIL,1,2,1<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: 1,2,1<CR><LF> Reaktion auf einen Syntax-Fehler S: FOL,1,2,1<CR>[<LF>] E: <NAK><CR><LF> S: <ENQ> E: 0001<CR><LF> GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 60: Kontinuierliche Messwertausgabe
Messwerten gesendet. Wird vom Host ein Zeichen an die serielle Schnittstelle geschickt, stoppt die kontinuierliche Messwertausgabe. Die Ausgabe kann mit dem Befehl COM wieder gestartet werden. Siehe Kapitel 6.3.4 COM, GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 61: Mnemonics
Pressure sensor 1. Druckwert von Transmitter 1. Pressure sensor 2. Druckwert von Transmitter 2. Pressure sensor 3. Druckwert von Transmitter 3. Pirani range extension. Pirani-Bereichserweiterung. Pressure sensors. Druckwerte aller Transmitter. Reset. Schnittstelle zurücksetzen. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 62 Test I/O. Testet die Relais. Test keyboard. Testet die Bedientasten. Torr lock. Torr-Sperre. Test RAM. Testet das RAM. Test RS232C interface. Testet die RS232C-Schnitt- stelle. Unit of measurement. Masseinheit. Watchdog control. Watchdog-Fehlerverhalten. Tab. 6-3 Mnemonics GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 63 18 = Linear Lin -1 19 = Linear Lin +0 20 = Linear Lin +1 21 = Linear Lin +2 22 = Linear Lin +3 23 = iM221 24 = Logarithmisch LoGC4 25 = PM411 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 64 1 = Messbereichsunterschreitung 2 = Messbereichsüberschreitung 3 = Transmitter-Fehler 4 = Transmitter ausgeschaltet 5 = Kein Transmitter 6 = Identifikationsfehler 7 = ITR-Fehler ±c.ccccE±cc Messwert von Transmitter 1 in der aktuellen Masseinheit GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 65 Korrekturfaktor für Messkanal 2 (siehe oben) c.cc Korrekturfaktor für Messkanal 3 (siehe oben) Hinweis: Der Korrekturfaktor wird nur verwendet, wenn die Gasart auf «Anderes Gas» eingestellt ist. Siehe Kapitel 6.3.14 GAS, GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 66 Bedeutung Transmitter 1 0 = Degas aus (Standard) 1 = Degas ein Transmitter 2 (siehe oben) Hinweis: Die Degas-Funktion schaltet nach 3 Minuten automatisch ab. Sie kann auch vorzeitig beendet werden. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 67 0010 = Parameter ungültig 0001 = Syntax-Fehler Hinweis: Der Fehlerstatus ist ein binärer Wert. Er kann durch den logischen Ope- rator OR verknüpft werden. Beispiel: 1001 = Gerätefehler und Syntax- Fehler. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 68 Filter für Messkanal 2 (siehe oben) Filter für Messkanal 3 (siehe oben) 6.3.12 Full scale range. Messbereich für lineare Transmitter (CTR, DI). Siehe Kapitel 5.2.3 Messbereich (FS), S: FSR[,a,b,c]<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 69 33 = 10 bar 34 = 50 bar 35 = DI200 mbar 36 = DI2 bar 37 = DI2 bar relativ Messbereich für Transmitter 2 (siehe oben) Messbereich für Transmitter 3 (siehe oben) GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 70 (siehe oben) Gasart für Messkanal 3 (siehe oben) Hinweis: Wenn Sie «Anderes Gas» wählen, wird die Abhängigkeit der Messwerte von der Gasart durch einen variablen Korrekturfaktor berücksichtigt. Siehe Kapitel 6.3.5 COR, GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 71 Leerzeichen voneinander getrennt. S: ITR<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb cc,cc,cc,cc,cc, cc,cc<CR><LF> Parameter Bedeutung aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa,aa Datenstring von Transmitter 1 bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb,bb Datenstring von Transmitter 2 cc,cc,cc,cc,cc,cc,cc,cc Datenstring von Transmitter 3 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 72 1 = Ein 2 = Offset-Wert ermitteln und Offset-Korrektur einschalten 3 = Nullpunkt einer CTR 100/CTR 101 abglei- chen Offset-Korrektur für Messkanal 2 (siehe oben) Offset-Korrektur für Messkanal 3 (siehe oben) GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 73 Offset-Wert von Transmitter 3 in der aktuellen Masseinheit (siehe oben) 6.3.20 Program number. Firmware-Version. Siehe Kapitel 5.4.2 Firmware-Version (Pnr), S: PNR<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: a<CR><LF> Parameter Bedeutung Firmware-Version Beispiel: 302-533-F GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 74 E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: a,b,c<CR><LF> Parameter Bedeutung Bereichserweiterung für Transmitter 1 0 = Aus (Standard) 1 = Ein Bereichserweiterung für Transmitter 2 (siehe oben) Bereichserweiterung für Transmitter 3 (siehe oben) GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 75 Löscht den Eingabepuffer. Alle anstehenden Fehlermeldungen werden an den Host gesendet. Das Messgerät kehrt in den Mess-Modus zurück. S: RES[,a]<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: b,c,d,...<CR><LF> Parameter Bedeutung 1 = Reset durchführen GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 76 Parameter speichern 0 = Standard-Parameter speichern 1 = Benutzer-Parameter speichern Hinweis: Parameter, die manuell geändert werden (Bedientasten), werden auto- matisch im EEPROM gespeichert. Der SAV-Befehl ist in diesem Fall nicht nötig. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 77 Setpoint 1. Schaltfunktion 1. Siehe Kapitel 5.1 Schaltfunktionsparameter (PArA SP), S: SP1[,a,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc]<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: a,b.bbbbE±bb,c.ccccE±cc<CR><LF> Parameter Bedeutung Zuordnung der Schaltfunktion 0 = Messkanal 1 1 = Messkanal 2 2 = Messkanal 3 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 78 1 = Ein Status von Schaltfunktion 2 (siehe oben) Status von Schaltfunktion 3 (siehe oben) Status von Schaltfunktion 4 (siehe oben) Status von Schaltfunktion 5 (siehe oben) Status von Schaltfunktion 6 (siehe oben) GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 79 ADC Kanal 6. Identifikation Transmitter 3 in Volt. 0.0000…+5.0000 6.3.30 Test display. Testet das Display. Siehe Kapitel 5.4.9 Display-Test (di-t), S: TDI[,a]<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: a<CR><LF> Parameter Bedeutung Test-Status 0 = Aus 1 = Ein GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 80 S: TEP<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: aaaa,bbbb<CR><LF> Das Steuerzeichen <ENQ> startet den Test. Der Test dauert etwa 5 Sekunden lang. Parameter Bedeutung aaaa Fehlerstatus. Siehe Kapitel 6.3.9 ERR, bbbb Prüfsumme (hexadezimal) GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 81 Im Test schalten die Relais unabhängig vom Druck ein und aus. Dies kann zu unbeabsichtigtem Schalten von Geräten führen. Stecken Sie den Anschluss RELAY aus, bevor Sie einen Relais-Test durchführen. S: TIO[,a,bb]<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: a,bb<CR><LF> GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 82 0010 = DOWN gedrückt 0001 = UP gedrückt Hinweis: Der Keyboard-Status ist ein binärer Wert. Er kann durch den logischen Operator OR verknüpft werden. Beispiel: 0011 = DOWN und UP gleich- zeitig gedrückt. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 83 Test RS232C interface. Testet die RS232C-Schnittstelle. Siehe Kapitel 5.4.13 RS232C-Test (rS-t), S: TRS<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> Das Steuerzeichen <ENQ> startet den Test. Sie können den Test mit der Tas- tenkombination Ctrl-C abbrechen. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 84 3 = Micron 6.3.40 Watchdog control. Watchdog-Fehlerverhalten. Siehe Kapitel 5.4.3 Watchdog- Fehlerverhalten (dt-C), S: WDT[,a]<CR>[<LF>] E: <ACK><CR><LF> S: <ENQ> E: a<CR><LF> Parameter Bedeutung Fehlerbestätigung 0 = Manuell 1 = Automatisch (Standard) GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 85: Wartung Und Service
Entpacken Sie die Datei. Eine der entpackten Dateien ist eine Batch- Datei *.bat. Standardmässig erfolgt der Programmtransfer über die serielle Schnitt- stelle COM1. Falls sie eine andere serielle Schnittstelle verwenden wol- len, gehen Sie wie folgt vor: GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 86: Speichern Und Schliessen Sie Die Geänderte Batch-Datei
Schalten Sie das Mehrkanal-Messgerät wieder ein Prüfen Sie, ob die aktuellen Werte der Parameter noch mit den vorhe- rigen übereinstimmen. Siehe Abschnitt «Standard-Parameter», Das Mehrkanal-Messgerät ist wieder betriebsbereit. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 87: Kalibrierung
±a.aaaaE±aa Kalibrier-Offset von Messkanal 1 ±b.bbbbE±bb Kalibrier-Offset von Messkanal 2 ±c.ccccE±cc Kalibrier-Offset von Messkanal 3 Hinweis: Der Befehl CAO kann auch mit anderen Parametern verwendet werden. Siehe Kapitel 7.3.4 Gerät kalibrieren, GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 88: Gerät Kalibrieren
1 = Messkanal 2 2 = Messkanal 3 Der Kalibrier-Offset des betreffenden Messkanals wird ermittelt und im EEPROM gespeichert. Kalibrierfaktor Nehmen Sie den D-Sub-Stecker mit der Drahtbrücke vom Sensor- Anschluss des betreffenden Messkanals ab GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 89 Parameter a gilt: 0 = Messkanal 1 1 = Messkanal 2 2 = Messkanal 3 Der Kalibrierfaktor des betreffenden Messkanals wird ermittelt und im EEPROM gespeichert. Der Messkanal ist jetzt kalibriert. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 90: Störungsbehebung
Mit der Taste PARA quittieren. Fehlermeldung ITR 90. Er x 0 = Keine Kommunikation mit dem Transmitter. x = Fehlercode (High-Byte). Siehe Referenz [6]. Fehlermeldung ITR 200. Er xx xxH = Fehlercode. Siehe Referenz [15]. GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 91: Technische Unterstützung
Lagerung und Entsorgung Verpackung Bitte bewahren Sie die Originalverpackung auf. Sie benötigen diese Verpa- ckung, wenn Sie das Mehrkanal-Messgerät lagern oder an eine Oerlikon Ley- bold Vacuum Servicestelle versenden wollen. Lagerung Die Mehrkanal-Messgerät darf nur in einem trockenen Raum gelagert werden. -
Seite 92: Anhang
SP -L 9 × 10 mbar SP -H FiLt 1.00 1000 mbar 0.0000E+00 mbar S-on HAnd 1.00E-03 mbar S-oFF HAnd 1.00E-03 mbar unit 9600 bAud diGit Err-r dt-C Auto tr-L Auto Auto GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... -
Seite 93: Literaturverzeichnis
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln [10] Gebrauchsanleitung THERMOVAC-Transmitter TTR 96 S GA 09.223 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln [11] Gebrauchsanleitung PENNINGVAC-Transmitter PTR 90 GA 09.313 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 94 [14] Gebrauchsanleitung CERAVAC-Transmitter CTR 101 130002066_001_A0 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln [15] Gebrauchsanleitung IONIVAC ITR 200 S, ITR 200 SP, ITR 200 SD 17200137_001_00 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH, D-50968 Köln GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
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Seite 95: Stichwortverzeichnis
Fehlermeldungen ..........90 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum... - Seite 96 Transmitter identifizieren ........32 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 97 Pirani-Bereichserweiterung ........46 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 98 Zubehör........... . 14 GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 99 Anhang GA 09.035/6.01 - 07/2011 - © Oerlikon Leybold Vacuum...
- Seite 100 Original: Deutsch GA 09.035/6.01 (07/2011) ga09. 035/ 6. 01 Oerlikon Oerlikon Leybold Vacuum USA Inc. Leybold Vacuum GmbH 5700 Mellon Road Bonner Strasse 498 (Bayenthal) Export, PA 15632-8900 50968 Köln GERMANY Phone: +1-724-327-5700 Tel.: +49 (0)221 347-1234 Fax: +1-724-325-3577 Fax: +49 (0)221 347-1245 w w w.