Inhaltsverzeichnis
Werbung
Substanz/Sensor
PH3
Phosphin (3 El.)
PH3
Phosphin (2 El.)
SF6
Schwefelhexafluorid
SiH4
Silan
SO2
Schwefeldioxid
TEOS
Tetraethylorthosilikat
TMB
Trimethylborat
TMP
Trimethylphosphit
Anmerkungen: 1) Spezialanwendung
Satellite XT R Version
Teilenr.
Nennbereich
Sensor
9602-6102
0 ...
1,00
9602-6100
0 ...
1,00
9602-9710
0 ...
0,500
9602-6301
0 ...
50,0
9602-5900
0 ...
25,0
9602-7500
0 ...
100
9602-7510
0 ...
500
9602-7800
0 ...
30,0
2) Spezieller Bereich
3) Zur Erkennung ist ein Pyrolyzer-Modul
erforderlich
Weitere Gase und Messbereiche auf Anfrage
Referenzen – Kapitel 8
Einheit
Anmerkung
ppm
ppm
1)
Vol. %
3)
ppm
ppm
ppm
ppm
ppm
Staubfilter
zulässig
Ja
Ja
keine Angaben
Ja
Ja
Nein
Nein
Ja
8-2
Werbung
Inhaltsverzeichnis
