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1.3.6.1 Elektrometer-Verstärker
Der Elektrometer-Verstärker verstärkt den auf dem Io-
nenfänger des Massenspektrometers erzeugten Strom.
Seine Verstärkung kann in drei Stufen umgeschaltet
werden. Die Umschaltung und die Verarbeitung der ana-
logen Ausgangsspannung geschieht durch die Steuer-
baugruppe. Die Nachweisgrenze im empfindlichsten
Bereich beträgt etwa 4·10
1.3.6.2 Massenspektrometer-Versorgung
Die Baugruppe erzeugt alle zum Betrieb des Massen-
spektrometers notwendigen Spannungen und Ströme:
- Anoden-Heizspannung
- Katoden-Heizspannung
- Anodenspannung
- Suppressorspannung
Fehler im Massenspektrometer werden erkannt und an
die Steuerbaugruppe weitergeleitet. Die Überwachung
der Massenspektrometer-Versorgung erfolgt durch die
Steuerbaugruppe.
1.3.6.3 Turbo-Molekularpumpen-Versorgung
Die Baugruppe steuert und überwacht die Turbo-Mole-
kularpumpe. Die Kontrolle der Baugruppe und damit der
Pumpe erfolgt durch die Steuerbaugruppe.
Netz
Leistungsver-
teilung
Betriebsspannungen
Abb. 4 Blockschaltbild
GA 10.204/4.01 - 08/00
-15
A.
Vakuumsystem
Leistungsaufberei-
tung
•
Steuerung
Anzeige
Tastatur
1.3.6.4 Leistungsverteilung
In der Leistungsverteilung sind alle zum Schalten und
Überwachen der Drehschieber-Pumpen und Ventile not-
wendigen Schaltungsteile zusammengefaßt. Die Steue-
rung erfolgt durch die Steuerbaugruppe.
1.3.6.5 Leistungsaufbereitung
Die Baugruppe erzeugt aus der über den Netztransfor-
mator gelieferten Wechselspannung alle zum Betrieb
der elektronischen Baugruppen notwendigen Gleich-
spannungen.
1.3.6.6 Steuerung
Die Steuerbaugruppe ist die zentrale Baugruppe der
Lecksucher-Elektronik. Von ihr werden alle anderen
Baugruppen gesteuert und überwacht. Der hier befindli-
che Mikroprozessor ist dadurch ständig über den Zu-
stand des gesamten Lecksuchers informiert und kann
entsprechend handeln. Zur Übernahme von Befehlen
des Bedieners und zur Ausgabe von Meßwerten und
Meldungen ist die Steuerbaugruppe mit der Bedienungs-
und Anzeige-Baugruppe verbunden.
1.3.6.7 Tastatur und Anzeige
Die Baugruppe dient zur Kommunikation mit dem Gerä-
tebediener. Sie nimmt Befehle von der Tastatur an und
Turbo-Molekular-
Pumpenversor-
gung
•
Mikroprozessor
Mikroprozessor
Massenspektrometer
Massenspektrome-
terversorgung
•
Elektrometer-
verstärker
9
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