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G E B R A U C H S A N L E I T U N G
GA 10.204 / 4.01
ULTRATEST UL 500
Helium-Leck-Detektor
Kat.-Nr.
155 85

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Inhaltszusammenfassung für INFICON ULTRATESTUL 500

  • Seite 1 G E B R A U C H S A N L E I T U N G GA 10.204 / 4.01 Kat.-Nr. 155 85 ULTRATEST UL 500 Helium-Leck-Detektor...
  • Seite 2: Inhaltsverzeichnis

    INFICON-Service Falls Sie ein Gerät an INFICON schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schad- stoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn es kontami- niert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muß...
  • Seite 3 Seite Seite 2.2.20 Taste „HELP“ ..... . 24 2.5.4 Meß-Modus (MEASURE) ... . . 34 2.2.21 Taste „EXEC“...
  • Seite 4: Beschreibung

    1 Beschreibung Schäden entstanden sind. 1.1 Allgemeine Angaben Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eine Diese Gebrauchsanleitung enthält wichtige Schadensmeldung an den Spediteur und den Versiche- Informationen zum Verständnis, zur Aufstel- rer zu leiten. lung, Betrieb, Fehlersuche und zur Wartung Falls es notwendig ist, das beschädigte Teil zu ersetzen, des ULTRATEST UL 500.
  • Seite 5: Baugruppenübersicht

    Maximaler Einlaßdruck 1.1.4 Baugruppenübersicht für quant. Messung 100 mbar Der UL 500 besteht aus drei Hauptbaugruppen (siehe für qualit. Messung 1000 mbar Abb.1) : Bedienungsebene Maximaler Einlaß-Totalgasstrom - Tastatur (1/1) mit Nachweisgrenze - Anzeigeeinheit (1/2) 2·10 mbar·l·s 0,1 mbar·l·s - Arbeitsplatte (1/3) 1·10 mbar·l·s 0,5 mbar·l·s...
  • Seite 6: Elektrische Daten

    Hinweis 1.3 Technische Die Anzeigeeinheiten können nur in einer speziellen Beschreibung Betriebsart des Gerätes geändert werden (PARA MO- DE). Siehe hierzu den Anhang 1. 1.3.1 Beschreibung des Nachweisprinzips Zwei „Limit“-Anzeigen für obere und untere Anzeige- grenze. Der UL 500 arbeitet mit dem Prinzip eines Gegen- stromlecksuchers, das heißt, Helium diffundiert entge- Anzeigemöglichkeiten für Status gen der Pumprichtung der Turbo-Molekularpumpe in das...
  • Seite 7: Hilfspumpe

    nung. Als Vorvakuumpumpe ist im UL 500 eine Dreh- Als Hilfspumpe ist im UL 500 eine Drehschieberpumpe schieber-Vakuumpumpe TRIVAC D 4 B eingebaut. TRIVAC D 25 B eingebaut. Alle Daten der Hilfspumpe siehe GA 01.202. Darüber hinaus können wahlweise die Daten und Angaben zur Vorvakuumpumpe siehe Ge- Typen TRIVAC D 16 B, D 40 B und D 65 B als Hilfspum- brauchsanleitung GA 01.201.
  • Seite 8: Ionenquelle

    Ionen werden aus der Ionenquelle heraus beschleunigt Achtung Halogene oder halogenhaltige Substan- und gelangen anschließend in das Magnetfeld. Dort wer- zen können unter Umständen die Le- den sie in eine Kreisbahn abgelenkt, deren Radius vom bensdauer der Katoden ungünstig be- Masse / Ladungsverhältnis der Ionen abhängt.
  • Seite 9: Elektrometer-Verstärker

    1.3.6.1 Elektrometer-Verstärker 1.3.6.4 Leistungsverteilung In der Leistungsverteilung sind alle zum Schalten und Der Elektrometer-Verstärker verstärkt den auf dem Io- Überwachen der Drehschieber-Pumpen und Ventile not- nenfänger des Massenspektrometers erzeugten Strom. wendigen Schaltungsteile zusammengefaßt. Die Steue- Seine Verstärkung kann in drei Stufen umgeschaltet rung erfolgt durch die Steuerbaugruppe.
  • Seite 10: Ausstattung

    gibt Meßwerte und Meldungen über die Anzeigeeinheit 1.4 Ausstattung aus. Wie die Steuerung verfügt die Kommunikations-Bau- 1.4.1 Lieferumfang gruppe über einen Mikroprozessor. Die beiden Prozes- soren stehen zum Austausch von Befehlen und Meßwer- Der ULTRATEST UL 500 Helium-Leck-Detektor wird ten ständig miteinander in Verbindung. betriebsbereit ausgeliefert.
  • Seite 11: Bedienung Und Betrieb

    2 Bedienung und Betrieb 2.1 Aufstellen des UL 500 2.1.1 Übersicht der Bedien- und Anzeigeelemente Zum Transport des UL 500 das Gerät nur am Gehäuse Hinweis ziehen bzw. schieben, nicht aber an der Anzeigeeinheit. - Die Auflistung der Bedienelemente auf der Bedienein- Beim Transport des UL 500 mit einem Kran sind speziel- heit ist der Abb.
  • Seite 12 Erläuterungen zur Abb. 6 1 Lautstärkeregler 2 Anschluß für Kopfhörer 3 Lautsprecher 4 Anzeigeeinheit 5 Anschlußbuchse Schreiberausgang 6 Anschlußbuchse Optionen V.24 / RS 232 C-Schnittstelle und Triggerrelais Abb. 6 Rückseite der Anzeigeeinheit 12 PREC Erläuterungen zur Abb. 7 Schaltet wechselweise die Freigabe des empfindlichsten Meßbe- reichs für das Autoranging ein oder aus.
  • Seite 13 Abb. 7 Bedieneinheit GA 10.204/4.01 - 08/00...
  • Seite 14 Erläuterungen zur Abb. 8 Kreisförmige quasianaloge Anzeige der Leckrate in den 10 SNIFF / VAC Betriebsarten „Inspect“ und „Measure“. Ein Umlauf entspricht Zeigt die aktuelle Betriebsart des Lecksuchers an. einer Dekade des Meßbereichs. Quasianaloge Anzeige eines 11 PREC mit den LIMIT-Werten festgelegten Meßintervalls. Zeigt an, daß...
  • Seite 15: Vorbereitung Zur Ersten Inbetriebnahme

    Erläuterungen zur Abb. 9 Rückwand UL 500 Klemmleiste Steckbrücken Durchsichtige Kunststoffplatte Netzanschlußleitung Auspuffleitung D 4 B Auspuffleitung D 25 B Anschluß für Option Frischluftzufuhr Schild mit Angabe der eingestellten Netzspannung (auf Kunststoffplatte) 10 Schild mit elektrischen Anschlußwerten 11 Typenschild mit Gerätenummer Abb.
  • Seite 16: Beschreibung Der Bedienfunktionen

    Die Anpassung an die Netzspannung erfolgt an der Es werden folgende Parameter beim Ausschalten ge- Klemmleiste (9/2) auf der Geräterückseite über dem Ein- speichert: laß der Netzanschlußleitung (9/5) hinter einer durchsich- - Wert LIMIT LOW tigen Kunststoffplatte (9/4). Welche Netzspannung ein- - Wert LIMIT HIGH gestellt ist, kann auch auf dem dort angebrachten Hin- - LIMIT LOW ON / OFF...
  • Seite 17: Schnüffelbetrieb

    mierbetriebsart (PARA-MODE, siehe Anhang 1) geän- 2.2.4 Taste „START / RESET MAX“ dert werden. Die Doppelfunktionstaste „START / START RESET MAX“ (7/15) übernimmt je nach RESET MAX Hauptzustand zwei unterschiedliche 2.2.2.2 Schnüffelbetrieb Funktionen. In dieser Betriebsart wird der UL 500 normalerweise mit einer externen Schnüffel-Einrichtung betrieben.
  • Seite 18: Funktion „Vent

    Prüflings unterbrochen. Das Betätigen der Taste muß tes, so daß sich eine verbesserte Auflösung des ange- dabei kürzer als 1,1 s sein. Der UL 500 geht in den zeigten Meßsignals ergibt. STANDBY-Zustand, d. h. alle Ventile werden geschlos- Treten Meßwerte auf, die kleiner als der gespeicherte sen.
  • Seite 19: Taste „Rate / Conc

    Der Ablauf ist für die verschiedenen Betriebszustände 2.2.10 Taste „MAX / ACT“ des UL 500 unterschiedlich (siehe hierzu auch Abschnitt Mit der Taste „MAX / ACT“ (7/11) können 2.7.2). zwei Funktionen gewählt werden: Hinweis - Halten des letzten Maximum (MAX) - Nach Betätigen der Taste „CAL“...
  • Seite 20: Der „Numerische Tastenblock

    - Löschen des Befehls CALIBRATE. 2.2.12 Der „Numerische Tastenblock“ - Löschen des Grenzwertes LIMIT LOW. Die Zahlen 0 bis 9 (7/20) dienen zur Eingabe 1 2 3 - Löschen des Grenzwertes LIMIT HIGH. von Parametern, die für den Betrieb des - Löschen des Befehls OPTION.
  • Seite 21: Betrieb Nur Mit Gesetzter Untergrenze „Limit Low

    oder unten verschoben werden. So kann eine manuelle 2.2.18.1 Betrieb nur mit gesetzter Untergrenze „LIMIT Bereichswahl mit frei wählbarer Auflösung (jedoch mini- LOW“ mal eine Dekade) durchgeführt werden. Der eingegebene Zahlenwert legt die kleinste anzuzei- gende Leckrate fest. Der AUTORANGE-Vorgang wird bei der zu dieser Leckrate gehörenden Empfindlichkeit 2.2.19 Taste „OPT“...
  • Seite 22 (Vorvakuumdruck) auf der alphanumerischen Anzei- Funktionen LIMIT LOW und LIMIT HIGH eingege- ge ein. ben. Außerdem müssen die LIMIT’s aktiv geschaltet sein, um auch die Relais zu aktivieren. Ausschalten dieser Anzeige erfolgt durch nochmali- ge Wahl von OPT 02: Anzeige von P2 schaltet die Hinweis Anzeige von P1 aus.
  • Seite 23 Die Ausgabe erfolgt logarithmisch: unterschiedlich ist (Umdrehungen pro Sekunde). Anzeige: TM - PUMP NOM: xxx RPS Kanal 1 Siehe auch OPT 17. (Schreiber-Buchse Pin 5) Ausgabe des Drucks mit 1,0 V bis 10 V in 0,5 V pro Dekade. Hinweis Die nominelle Drehzahl ist auch auf dem Typen- Dabei entspricht 1,0 V einem Druck von schild der Pumpe aufgedruckt.
  • Seite 24: Taste „Help

    Hinweis lange zu verändern, bis die Meldung: Der Maximumabgleich wird nur als Feinabgleich bei SIGNAL IN RANGE jedem Kalibriervorgang durchgeführt (Ausnahme beim ersten CAL nach dem Einschalten; siehe auch erscheint. Danach darf das Testleck nicht mehr ver- AUTOTUNE im Abschnitt 2.8.1). ändert werden.
  • Seite 25: Schreiber-Ausgang Und Fernbedienungsanschluß

    Erläuterungen zur Abb. 11 Stift Funktion ———————————————————— Kanal 2 (Exponenten-Triggerspannung) +15 V Versorgungsspannung für Fernbedienung Analoge Masse (zu Kanal 1 und 2) Anschluß Fernbedienung START / STOP Kanal 1 (Meßwert linear / logarithmisch) Masse (Abschirmung) Abb. 11 Schreiberausgang und Fernbedienungsanschluß die analoge Masse Pin 3.
  • Seite 26: Belegung Der Multifunktionsbuchse

    Erläuterungen zur Abb. 13 Schutzleiter 15 -- Datenausgang 16 -- Dateneingang 17 -- Handshake-Ausgang 18 +12 V Versorgungsspannung 13 12 11 10 9 Handshake-Eingang für Lichtleitermodule Handshake-Eingang 19 -- Masse 20 DTR Handshake-Ausgang — 21 -- TR1R Ruhekont., Triggerrel. 1 22 -- 25 24 23 22 21 20 19 18 17 16 15 14 10 TR1M Mittenkont., Triggerrel.
  • Seite 27: Beschreibung Der Anzeigeelemente

    2.3.1.1 Analoge Anzeige in Verbindung mit den 2.3 Beschreibung der Funktionen „LIMIT LOW / LIMIT HIGH“ Anzeigeelemente Durch Eingabe eines unteren und oberen Grenzwertes (siehe Abschnitt 2.2.18) wird der analoge Anzeigebe- Hinweis reich begrenzt. Bitte beachten Sie für die nachfolgenden Erläuterungen Sind beide Grenzwerte des Meßbereichs eingeschaltet, auch die Abbildung 8.
  • Seite 28: Die Ziffernanzeige In Verbindung Mit Der Funktion „Maximum

    SNIFF / VAC 2.3.2.2 Die Ziffernanzeige in Verbindung mit der Funkti- Die Anzeigen SNIFF und VAC (8/10) verhalten sich bei on „MAXIMUM“ Änderung der Betriebsart wie folgt: Die Ziffernanzeige hält den max. Leckratenwert fest, der - Die Anzeige der bisher gültigen Betriebsart leuchtet, innerhalb eines mit der Taste „START / RESET“...
  • Seite 29: Die Alphanumerische Anzeige

    2.3.5 Die alphanumerische Anzeige Auf der alphanumerischen Anzeigezeile (8/17) können beliebige Texte dargestellt werden, die zur Unterstüt- zung des Gerätebedieners dienen. Es können angezeigt werden: - Spezielle Meßwerte, z.B. der Einlaß- oder Vorvakuum- druck, - Hinweise bei Fehlbedienung oder nicht erlaubten Ein- gaben.
  • Seite 30: Inbetriebnahme (Erster Abpumpzyklus)

    2.4 Inbetriebnahme (erster Abpumpzyklus) Lfd.Nr. Tätigkeit Reaktion Angezeigter Text ————————————————————————————————————————————————————————————————- Anschlußflansch (5/5) mit Blindflansch schließen Hauptschalter (5/1) auf INFICON Stellung EIN Beginn des automatisch UL 500 VERSION x.x ablaufenden Selbsttestes; PERFORMING SELFTEST Prüfen der Mikroprozessor-Baugruppen; ROM CHECK OK RAM TEST OK Sichtprüfung der Zustandsanzeigen...
  • Seite 31: Betriebsarten

    Hinweis 2.5 Betriebsarten Falls die Raumluft erheblich mit Helium angereichert ist, sind folgende Maßnahmen zu treffen: Der UL 500 ist serienmäßig für die Betriebsarten Vaku- - Schläuche an Auspuffleitungen an der Rückseite des umbetrieb (VAC) und Schnüffelbetrieb (SNIFF) ausge- UL 500 (9/6 und 9/7) anschließen und in heliumfreie legt.
  • Seite 32: Integrale Lecksuche Im Vakuumbetrieb

    Erläuterungen zur Abb.15 1 UL 500 2 Prüfling 3 Abschirmung 4 Sprühpistole 5 Helium 6 Leckstelle 7 Heliumvorrat 8 Anschlußflansch Abb. 15 Lokale Lecksuche von der Hülle umschlossen werden, da durch die An- weisgrenze liegt nun höher als 2·10 mbar·l·s schluß-Dichtung Helium diffundieren und zu einer Unter- Eine Kalibrierung kann mit dem externen Testleck durch grundanzeige führen könnte.
  • Seite 33: Schnüffelbetrieb (Sniff)

    Falls die Option 05 nicht eingebaut ist, kann der Gas- tatsächliche Leckrate angezeigt. ballast auch von Hand an der Pumpe (18/5) und (18/6) Hinweis betätigt werden. Die Raumluft darf dabei nicht ver- Ist der Prüfling nicht mit 100 % Helium gefüllt, muß die seucht sein! gemessene Leckrate (Q ) des Prüflings mit einem...
  • Seite 34: Normleckratenberechnung In Abhängigkeit Von Der Druckdifferenz

    Hinweis und mit p = 1 bar Die ermittelte Leckrate des Prüflings gilt nur für die bei Korr der Prüfung herrschenden Parameter. Bei Änderung von = ————— [ 3 ] Druckdifferenz, Gasart, Temperaturänderung oder Flüs- in bar) sigkeitsfüllung ergeben sich andere Leckraten. Ist der Prüfling nicht mit einer 100 %igen Heliumkonzentration gefüllt, muß...
  • Seite 35: Außerbetriebsetzung

    Hinweis 2.6 Außerbetriebsetzung Bei großen Anlagensaugvermögen müssen die tatsäch- lichen Testleckraten erheblich größer sein, um eine meß- Zur Außerbetriebsetzung ist der Hauptschalter (5/1) auf bare Anzeige zu erzeugen. Stellung „AUS“ zu schalten. Weitere Maßnahmen sind nicht erforderlich. Voraussetzung zum externen Kalibrieren ist, daß sich Die beim Ausschalten eingestellte Betriebsart des Gerä- der UL 500 im DETECT-Zustand befindet (Siehe auch tes wird in einem batteriebetriebenen Speicher festge-...
  • Seite 36: Kalibrieren Im Schnüffelbetrieb

    ER : CAL - DIFFERENCE << Taste „EXEC“ (7/3) drücken. In diesem Fall PREC wählen und Kalibrierung wiederho- SNIFF CONC ! EXEC len! Schnüffler in Gas mit bekannter Helium-Konzentration (z.B. Luft) halten, dann Taste „EXEC“ (7/3) drücken. SIGNAL STABLE ? EXEC 2.7.2 Kalibrieren im Schnüffelbetrieb Warten, bis Anzeige stabil ist, dann Taste „EXEC“...
  • Seite 37: Automatische Funktionen

    CAL EXT. ? : EXEC / CLR 2.8 Automatische Taste „EXEC“ (7/3) drücken. Funktionen EXT. TLK ? = x.xE-xx Der UL 500 verfügt über drei automatisch ablaufende Testleckrate eingeben, dann Taste „EXEC“ (7/3) Funktionen, die für die Richtigkeit der angezeigten Meß- drücken.
  • Seite 38 und der Massenspektrometerdruck zur Steuerung be- nutzt. Die Umschaltung der Meßbereiche geschieht wie folgt: - Hauptumschaltung in die Hauptbereiche MASSIV, GROB, FEIN und PREC durch Ventilumschaltung, MASSIV Anzeigegrenze 1·10 mbar·l·s wenn p > 100 mbar Ventilstellung: V offen GROB Anzeigegrenze 5·10 mbar·l·s wenn p >...
  • Seite 39: Wartung

    Da beim Auswechseln der Leuchtröhre (Lebensdauer 1000 bis 2000 Stunden) Bruchgefahr für die Anzeige prüfen besteht, sollte das Auswechseln dem INFICON-Service vorbehalten bleiben. Ansonsten ist genau nach der Ser- Obere Frontplatte (18/4) von oben nach unten in die vice-Anleitung (SA 10.204) zu verfahren.
  • Seite 40: Wechseln Der Luftfiltermatte

    Sicherung wechseln: 3.4 Wechseln der Vorsicht Vor Sicherungswechsel, Gerät aus- Luftfiltermatte schalten und vom Netz trennen. Die Filtermatte (20/4) befindet sich auf der Innenseite der Geräterückwand und ist nach Bedarf auszuwech- seln. (Sie ist als Zubehör erhältlich, Best.-Nr. 200 59 736.) Schnellverschlüsse (20/2) mit Schraubendreher um 90 °...
  • Seite 41: Entwässerung Des Kompressor-Pufferbehälters

    3.5 Entwässerung des Kompres- sor-Pufferbehälters Im Kompressor-Pufferbehälter (21/3) der Kompressor- baugruppe (21/1) kann sich abhängig von den Betriebs- bedingungen Kondenswasser ansammeln. Der Pufferbehälter ist nach Bedarf zu entleeren. Hinweis Bei jedem Ölwechsel sollte eine Kontrolle des Puffer- behälters durchgeführt werden. Schnellverschlüsse (20/2) mit Schraubendreher um 90°...
  • Seite 42: Anhang

    Textanzeige erscheinen dann nachein- ander folgende Anzeigen: LEAKRATE UNIT = ? MLS - Auswahl der gewünschten Leckraten-Einheit mit den INFICON Bleibt 1 s stehen. Tasten „PFEIL RECHTS“ oder „PFEIL LINKS“ (MLS = PARA INPUT ? EXEC/CLR Die Taste „OPT“ kann nun mbar·l·s...
  • Seite 43: Betrieb Des Ul 500 Mit Masse 2 Und 3 (Wasserstoff)

    ANHANG 2 Betrieb des UL 500 mit Masse 2 und 3 (Wasser- stoff) Für spezielle Anwendungen kann der UL 500 von sei- nem normalen Helium-Meßbetrieb (Masse 4) auf Mes- sung von Masse 2 oder Masse 3 umprogrammiert wer- den (siehe hierzu Anhang 1, PARA MODE). Die Masse 2 repräsentiert das molekulare Wasserstoffi- on H + und die Masse 3 das Ion H...
  • Seite 44: Gerätemeldung; Bedienerhinweise Auf Der Textanzeige

    24:NO TUNE IN DETECT ANHANG 3 OPT 24: TUNE ist nicht möglich im DETECT (nach STANDBY umschalten). Gerätemeldung; Bedienerhinweise auf der 10:NO TRIGGER Textanzeige OPT 10 kann nicht ausgeführt werden, weil Triggerkarte nicht eingebaut ist. Zur Information des Bedieners bei bestimmten Bedie- nungsabläufen oder fehlerhaften Eingaben werden vom 25:NO ZERO IN DETECT UL 500 verschiedene Meldungen auf der alphanumeri-...
  • Seite 45 NO INPUT DURING CAL CLOSE TESTLEAK! EXEC Keine Eingaben möglich während der Kalibrierung. Beim externen Kalibrieren: Testleck schließen. NO MAX IN <STBY> EMISSION OFF MAX-Funktion ist nur möglich in DETECT. Emission ausgefallen. NO MAX IN <INSP> NOT AVAILABLE MAX-Funktion ist nur möglich im MEASURE-Betrieb. Funktion nicht vorhanden.
  • Seite 46: Fehlermeldungen

    STOP: TM DEFECT ANHANG 4 TM P1 oder P 2 ist defekt. Fehlermeldungen TOTAL FAIL Gerät wurde durch einen Fehler abgeschaltet. Der UL 500 ist mit umfangreichen Selbstdiagnosefunk- TUNIG MASS x tionen ausgestattet. Wenn von der Steuerbaugruppe ein Beim TUNE OPT 24 während des Ablaufs. x = 2, 3, 4 fehlerhafter Zustand erkannt wird, wird dies dem Bedie- ner, soweit möglich, über die Anzeige mitgeteilt.
  • Seite 47 ER: I-120V I>> 08H: ER:EMV-OFFSET>> 1BH: Versorgungsspannung VN4 ist zu hoch. Elektrischer Offset des Elektrometerverstärkers ist zu hoch. ER: I-120V I<< 09H: Versorgungsspannung VN4 ist zu niedrig. ER:PEAK NOT IN RANGE 1CH: Bei TUNE wird im normalen Bereich ER:MSP-ANOD-CAT-U>> 0AH: kein Maximum gefunden.
  • Seite 48 ER:ROUGHING-P,-I<< 2FH: ER:PHASE SEQUENCE 48H: Strom des Hilfspumpenmotors zu niedrig Bei 3phasiger Netzspannung sind und Hilfspumpenschütz angezogen. zwei der Phasen vertauscht. ER:BACKING-P,-I>> 30H: ER:ROUGHING-P, OVERL 49H: Strom des Vorpumpenmotors Hilfspumpe überlastet (Schütz zu hoch. nicht erregt). ER:BACKING-P,-I<< 31H: ER:TMP-VENT V. DEF 50H: Strom des Vorpumpenmotors Flutventil für Turbomolekularpumpe...
  • Seite 49 ER1:DSR INACTIV 98H: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:TIME OUT ECHO O. 9AH: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:ACIA-OVERRUN 9BH: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:DSR AKTIV 9CH: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:PARITY-ERROR 9EH: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:DATA LOST 9FH: Fehler der internen V.24 - Verbindung.
  • Seite 50 Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Wenn die Repara- tur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung gegebenenfalls zurückgewie- sen.
  • Seite 51 Diese Seite ist für Ihre Notizen freigehalten. GA 10.204/4.01 - 08/00...
  • Seite 52 INFICON GmbH, Bonner Stra§e 498 (Bayenthal), D-50968 Kšln Telefon: (0221) 347-40 Telefax: (0221) 347-41429 www.inficon.com UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG w w w. i n f i c o n . c o m Vi s i t o u r w e b s i t e f o r c o n t a c t i n f o r m a t i o n a n d o t h e r s a l e s o ff i c e s w o r l d w i d e .

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