INFICON-Service Falls Sie ein Gerät an INFICON schicken, geben Sie an, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdenden Schad- stoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn es kontami- niert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdung an. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muß...
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Seite Seite 2.2.20 Taste „HELP“ ..... . 24 2.5.4 Meß-Modus (MEASURE) ... . . 34 2.2.21 Taste „EXEC“...
1 Beschreibung Schäden entstanden sind. 1.1 Allgemeine Angaben Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eine Diese Gebrauchsanleitung enthält wichtige Schadensmeldung an den Spediteur und den Versiche- Informationen zum Verständnis, zur Aufstel- rer zu leiten. lung, Betrieb, Fehlersuche und zur Wartung Falls es notwendig ist, das beschädigte Teil zu ersetzen, des ULTRATEST UL 500.
Hinweis 1.3 Technische Die Anzeigeeinheiten können nur in einer speziellen Beschreibung Betriebsart des Gerätes geändert werden (PARA MO- DE). Siehe hierzu den Anhang 1. 1.3.1 Beschreibung des Nachweisprinzips Zwei „Limit“-Anzeigen für obere und untere Anzeige- grenze. Der UL 500 arbeitet mit dem Prinzip eines Gegen- stromlecksuchers, das heißt, Helium diffundiert entge- Anzeigemöglichkeiten für Status gen der Pumprichtung der Turbo-Molekularpumpe in das...
nung. Als Vorvakuumpumpe ist im UL 500 eine Dreh- Als Hilfspumpe ist im UL 500 eine Drehschieberpumpe schieber-Vakuumpumpe TRIVAC D 4 B eingebaut. TRIVAC D 25 B eingebaut. Alle Daten der Hilfspumpe siehe GA 01.202. Darüber hinaus können wahlweise die Daten und Angaben zur Vorvakuumpumpe siehe Ge- Typen TRIVAC D 16 B, D 40 B und D 65 B als Hilfspum- brauchsanleitung GA 01.201.
Ionen werden aus der Ionenquelle heraus beschleunigt Achtung Halogene oder halogenhaltige Substan- und gelangen anschließend in das Magnetfeld. Dort wer- zen können unter Umständen die Le- den sie in eine Kreisbahn abgelenkt, deren Radius vom bensdauer der Katoden ungünstig be- Masse / Ladungsverhältnis der Ionen abhängt.
1.3.6.1 Elektrometer-Verstärker 1.3.6.4 Leistungsverteilung In der Leistungsverteilung sind alle zum Schalten und Der Elektrometer-Verstärker verstärkt den auf dem Io- Überwachen der Drehschieber-Pumpen und Ventile not- nenfänger des Massenspektrometers erzeugten Strom. wendigen Schaltungsteile zusammengefaßt. Die Steue- Seine Verstärkung kann in drei Stufen umgeschaltet rung erfolgt durch die Steuerbaugruppe.
gibt Meßwerte und Meldungen über die Anzeigeeinheit 1.4 Ausstattung aus. Wie die Steuerung verfügt die Kommunikations-Bau- 1.4.1 Lieferumfang gruppe über einen Mikroprozessor. Die beiden Prozes- soren stehen zum Austausch von Befehlen und Meßwer- Der ULTRATEST UL 500 Helium-Leck-Detektor wird ten ständig miteinander in Verbindung. betriebsbereit ausgeliefert.
2 Bedienung und Betrieb 2.1 Aufstellen des UL 500 2.1.1 Übersicht der Bedien- und Anzeigeelemente Zum Transport des UL 500 das Gerät nur am Gehäuse Hinweis ziehen bzw. schieben, nicht aber an der Anzeigeeinheit. - Die Auflistung der Bedienelemente auf der Bedienein- Beim Transport des UL 500 mit einem Kran sind speziel- heit ist der Abb.
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Erläuterungen zur Abb. 6 1 Lautstärkeregler 2 Anschluß für Kopfhörer 3 Lautsprecher 4 Anzeigeeinheit 5 Anschlußbuchse Schreiberausgang 6 Anschlußbuchse Optionen V.24 / RS 232 C-Schnittstelle und Triggerrelais Abb. 6 Rückseite der Anzeigeeinheit 12 PREC Erläuterungen zur Abb. 7 Schaltet wechselweise die Freigabe des empfindlichsten Meßbe- reichs für das Autoranging ein oder aus.
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Abb. 7 Bedieneinheit GA 10.204/4.01 - 08/00...
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Erläuterungen zur Abb. 8 Kreisförmige quasianaloge Anzeige der Leckrate in den 10 SNIFF / VAC Betriebsarten „Inspect“ und „Measure“. Ein Umlauf entspricht Zeigt die aktuelle Betriebsart des Lecksuchers an. einer Dekade des Meßbereichs. Quasianaloge Anzeige eines 11 PREC mit den LIMIT-Werten festgelegten Meßintervalls. Zeigt an, daß...
Erläuterungen zur Abb. 9 Rückwand UL 500 Klemmleiste Steckbrücken Durchsichtige Kunststoffplatte Netzanschlußleitung Auspuffleitung D 4 B Auspuffleitung D 25 B Anschluß für Option Frischluftzufuhr Schild mit Angabe der eingestellten Netzspannung (auf Kunststoffplatte) 10 Schild mit elektrischen Anschlußwerten 11 Typenschild mit Gerätenummer Abb.
Die Anpassung an die Netzspannung erfolgt an der Es werden folgende Parameter beim Ausschalten ge- Klemmleiste (9/2) auf der Geräterückseite über dem Ein- speichert: laß der Netzanschlußleitung (9/5) hinter einer durchsich- - Wert LIMIT LOW tigen Kunststoffplatte (9/4). Welche Netzspannung ein- - Wert LIMIT HIGH gestellt ist, kann auch auf dem dort angebrachten Hin- - LIMIT LOW ON / OFF...
mierbetriebsart (PARA-MODE, siehe Anhang 1) geän- 2.2.4 Taste „START / RESET MAX“ dert werden. Die Doppelfunktionstaste „START / START RESET MAX“ (7/15) übernimmt je nach RESET MAX Hauptzustand zwei unterschiedliche 2.2.2.2 Schnüffelbetrieb Funktionen. In dieser Betriebsart wird der UL 500 normalerweise mit einer externen Schnüffel-Einrichtung betrieben.
Prüflings unterbrochen. Das Betätigen der Taste muß tes, so daß sich eine verbesserte Auflösung des ange- dabei kürzer als 1,1 s sein. Der UL 500 geht in den zeigten Meßsignals ergibt. STANDBY-Zustand, d. h. alle Ventile werden geschlos- Treten Meßwerte auf, die kleiner als der gespeicherte sen.
Der Ablauf ist für die verschiedenen Betriebszustände 2.2.10 Taste „MAX / ACT“ des UL 500 unterschiedlich (siehe hierzu auch Abschnitt Mit der Taste „MAX / ACT“ (7/11) können 2.7.2). zwei Funktionen gewählt werden: Hinweis - Halten des letzten Maximum (MAX) - Nach Betätigen der Taste „CAL“...
- Löschen des Befehls CALIBRATE. 2.2.12 Der „Numerische Tastenblock“ - Löschen des Grenzwertes LIMIT LOW. Die Zahlen 0 bis 9 (7/20) dienen zur Eingabe 1 2 3 - Löschen des Grenzwertes LIMIT HIGH. von Parametern, die für den Betrieb des - Löschen des Befehls OPTION.
oder unten verschoben werden. So kann eine manuelle 2.2.18.1 Betrieb nur mit gesetzter Untergrenze „LIMIT Bereichswahl mit frei wählbarer Auflösung (jedoch mini- LOW“ mal eine Dekade) durchgeführt werden. Der eingegebene Zahlenwert legt die kleinste anzuzei- gende Leckrate fest. Der AUTORANGE-Vorgang wird bei der zu dieser Leckrate gehörenden Empfindlichkeit 2.2.19 Taste „OPT“...
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(Vorvakuumdruck) auf der alphanumerischen Anzei- Funktionen LIMIT LOW und LIMIT HIGH eingege- ge ein. ben. Außerdem müssen die LIMIT’s aktiv geschaltet sein, um auch die Relais zu aktivieren. Ausschalten dieser Anzeige erfolgt durch nochmali- ge Wahl von OPT 02: Anzeige von P2 schaltet die Hinweis Anzeige von P1 aus.
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Die Ausgabe erfolgt logarithmisch: unterschiedlich ist (Umdrehungen pro Sekunde). Anzeige: TM - PUMP NOM: xxx RPS Kanal 1 Siehe auch OPT 17. (Schreiber-Buchse Pin 5) Ausgabe des Drucks mit 1,0 V bis 10 V in 0,5 V pro Dekade. Hinweis Die nominelle Drehzahl ist auch auf dem Typen- Dabei entspricht 1,0 V einem Druck von schild der Pumpe aufgedruckt.
Hinweis lange zu verändern, bis die Meldung: Der Maximumabgleich wird nur als Feinabgleich bei SIGNAL IN RANGE jedem Kalibriervorgang durchgeführt (Ausnahme beim ersten CAL nach dem Einschalten; siehe auch erscheint. Danach darf das Testleck nicht mehr ver- AUTOTUNE im Abschnitt 2.8.1). ändert werden.
Erläuterungen zur Abb. 11 Stift Funktion ———————————————————— Kanal 2 (Exponenten-Triggerspannung) +15 V Versorgungsspannung für Fernbedienung Analoge Masse (zu Kanal 1 und 2) Anschluß Fernbedienung START / STOP Kanal 1 (Meßwert linear / logarithmisch) Masse (Abschirmung) Abb. 11 Schreiberausgang und Fernbedienungsanschluß die analoge Masse Pin 3.
2.3.1.1 Analoge Anzeige in Verbindung mit den 2.3 Beschreibung der Funktionen „LIMIT LOW / LIMIT HIGH“ Anzeigeelemente Durch Eingabe eines unteren und oberen Grenzwertes (siehe Abschnitt 2.2.18) wird der analoge Anzeigebe- Hinweis reich begrenzt. Bitte beachten Sie für die nachfolgenden Erläuterungen Sind beide Grenzwerte des Meßbereichs eingeschaltet, auch die Abbildung 8.
SNIFF / VAC 2.3.2.2 Die Ziffernanzeige in Verbindung mit der Funkti- Die Anzeigen SNIFF und VAC (8/10) verhalten sich bei on „MAXIMUM“ Änderung der Betriebsart wie folgt: Die Ziffernanzeige hält den max. Leckratenwert fest, der - Die Anzeige der bisher gültigen Betriebsart leuchtet, innerhalb eines mit der Taste „START / RESET“...
2.3.5 Die alphanumerische Anzeige Auf der alphanumerischen Anzeigezeile (8/17) können beliebige Texte dargestellt werden, die zur Unterstüt- zung des Gerätebedieners dienen. Es können angezeigt werden: - Spezielle Meßwerte, z.B. der Einlaß- oder Vorvakuum- druck, - Hinweise bei Fehlbedienung oder nicht erlaubten Ein- gaben.
2.4 Inbetriebnahme (erster Abpumpzyklus) Lfd.Nr. Tätigkeit Reaktion Angezeigter Text ————————————————————————————————————————————————————————————————- Anschlußflansch (5/5) mit Blindflansch schließen Hauptschalter (5/1) auf INFICON Stellung EIN Beginn des automatisch UL 500 VERSION x.x ablaufenden Selbsttestes; PERFORMING SELFTEST Prüfen der Mikroprozessor-Baugruppen; ROM CHECK OK RAM TEST OK Sichtprüfung der Zustandsanzeigen...
Hinweis 2.5 Betriebsarten Falls die Raumluft erheblich mit Helium angereichert ist, sind folgende Maßnahmen zu treffen: Der UL 500 ist serienmäßig für die Betriebsarten Vaku- - Schläuche an Auspuffleitungen an der Rückseite des umbetrieb (VAC) und Schnüffelbetrieb (SNIFF) ausge- UL 500 (9/6 und 9/7) anschließen und in heliumfreie legt.
Erläuterungen zur Abb.15 1 UL 500 2 Prüfling 3 Abschirmung 4 Sprühpistole 5 Helium 6 Leckstelle 7 Heliumvorrat 8 Anschlußflansch Abb. 15 Lokale Lecksuche von der Hülle umschlossen werden, da durch die An- weisgrenze liegt nun höher als 2·10 mbar·l·s schluß-Dichtung Helium diffundieren und zu einer Unter- Eine Kalibrierung kann mit dem externen Testleck durch grundanzeige führen könnte.
Falls die Option 05 nicht eingebaut ist, kann der Gas- tatsächliche Leckrate angezeigt. ballast auch von Hand an der Pumpe (18/5) und (18/6) Hinweis betätigt werden. Die Raumluft darf dabei nicht ver- Ist der Prüfling nicht mit 100 % Helium gefüllt, muß die seucht sein! gemessene Leckrate (Q ) des Prüflings mit einem...
Hinweis und mit p = 1 bar Die ermittelte Leckrate des Prüflings gilt nur für die bei Korr der Prüfung herrschenden Parameter. Bei Änderung von = ————— [ 3 ] Druckdifferenz, Gasart, Temperaturänderung oder Flüs- in bar) sigkeitsfüllung ergeben sich andere Leckraten. Ist der Prüfling nicht mit einer 100 %igen Heliumkonzentration gefüllt, muß...
Hinweis 2.6 Außerbetriebsetzung Bei großen Anlagensaugvermögen müssen die tatsäch- lichen Testleckraten erheblich größer sein, um eine meß- Zur Außerbetriebsetzung ist der Hauptschalter (5/1) auf bare Anzeige zu erzeugen. Stellung „AUS“ zu schalten. Weitere Maßnahmen sind nicht erforderlich. Voraussetzung zum externen Kalibrieren ist, daß sich Die beim Ausschalten eingestellte Betriebsart des Gerä- der UL 500 im DETECT-Zustand befindet (Siehe auch tes wird in einem batteriebetriebenen Speicher festge-...
ER : CAL - DIFFERENCE << Taste „EXEC“ (7/3) drücken. In diesem Fall PREC wählen und Kalibrierung wiederho- SNIFF CONC ! EXEC len! Schnüffler in Gas mit bekannter Helium-Konzentration (z.B. Luft) halten, dann Taste „EXEC“ (7/3) drücken. SIGNAL STABLE ? EXEC 2.7.2 Kalibrieren im Schnüffelbetrieb Warten, bis Anzeige stabil ist, dann Taste „EXEC“...
CAL EXT. ? : EXEC / CLR 2.8 Automatische Taste „EXEC“ (7/3) drücken. Funktionen EXT. TLK ? = x.xE-xx Der UL 500 verfügt über drei automatisch ablaufende Testleckrate eingeben, dann Taste „EXEC“ (7/3) Funktionen, die für die Richtigkeit der angezeigten Meß- drücken.
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und der Massenspektrometerdruck zur Steuerung be- nutzt. Die Umschaltung der Meßbereiche geschieht wie folgt: - Hauptumschaltung in die Hauptbereiche MASSIV, GROB, FEIN und PREC durch Ventilumschaltung, MASSIV Anzeigegrenze 1·10 mbar·l·s wenn p > 100 mbar Ventilstellung: V offen GROB Anzeigegrenze 5·10 mbar·l·s wenn p >...
Da beim Auswechseln der Leuchtröhre (Lebensdauer 1000 bis 2000 Stunden) Bruchgefahr für die Anzeige prüfen besteht, sollte das Auswechseln dem INFICON-Service vorbehalten bleiben. Ansonsten ist genau nach der Ser- Obere Frontplatte (18/4) von oben nach unten in die vice-Anleitung (SA 10.204) zu verfahren.
Sicherung wechseln: 3.4 Wechseln der Vorsicht Vor Sicherungswechsel, Gerät aus- Luftfiltermatte schalten und vom Netz trennen. Die Filtermatte (20/4) befindet sich auf der Innenseite der Geräterückwand und ist nach Bedarf auszuwech- seln. (Sie ist als Zubehör erhältlich, Best.-Nr. 200 59 736.) Schnellverschlüsse (20/2) mit Schraubendreher um 90 °...
3.5 Entwässerung des Kompres- sor-Pufferbehälters Im Kompressor-Pufferbehälter (21/3) der Kompressor- baugruppe (21/1) kann sich abhängig von den Betriebs- bedingungen Kondenswasser ansammeln. Der Pufferbehälter ist nach Bedarf zu entleeren. Hinweis Bei jedem Ölwechsel sollte eine Kontrolle des Puffer- behälters durchgeführt werden. Schnellverschlüsse (20/2) mit Schraubendreher um 90°...
Textanzeige erscheinen dann nachein- ander folgende Anzeigen: LEAKRATE UNIT = ? MLS - Auswahl der gewünschten Leckraten-Einheit mit den INFICON Bleibt 1 s stehen. Tasten „PFEIL RECHTS“ oder „PFEIL LINKS“ (MLS = PARA INPUT ? EXEC/CLR Die Taste „OPT“ kann nun mbar·l·s...
ANHANG 2 Betrieb des UL 500 mit Masse 2 und 3 (Wasser- stoff) Für spezielle Anwendungen kann der UL 500 von sei- nem normalen Helium-Meßbetrieb (Masse 4) auf Mes- sung von Masse 2 oder Masse 3 umprogrammiert wer- den (siehe hierzu Anhang 1, PARA MODE). Die Masse 2 repräsentiert das molekulare Wasserstoffi- on H + und die Masse 3 das Ion H...
24:NO TUNE IN DETECT ANHANG 3 OPT 24: TUNE ist nicht möglich im DETECT (nach STANDBY umschalten). Gerätemeldung; Bedienerhinweise auf der 10:NO TRIGGER Textanzeige OPT 10 kann nicht ausgeführt werden, weil Triggerkarte nicht eingebaut ist. Zur Information des Bedieners bei bestimmten Bedie- nungsabläufen oder fehlerhaften Eingaben werden vom 25:NO ZERO IN DETECT UL 500 verschiedene Meldungen auf der alphanumeri-...
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NO INPUT DURING CAL CLOSE TESTLEAK! EXEC Keine Eingaben möglich während der Kalibrierung. Beim externen Kalibrieren: Testleck schließen. NO MAX IN <STBY> EMISSION OFF MAX-Funktion ist nur möglich in DETECT. Emission ausgefallen. NO MAX IN <INSP> NOT AVAILABLE MAX-Funktion ist nur möglich im MEASURE-Betrieb. Funktion nicht vorhanden.
STOP: TM DEFECT ANHANG 4 TM P1 oder P 2 ist defekt. Fehlermeldungen TOTAL FAIL Gerät wurde durch einen Fehler abgeschaltet. Der UL 500 ist mit umfangreichen Selbstdiagnosefunk- TUNIG MASS x tionen ausgestattet. Wenn von der Steuerbaugruppe ein Beim TUNE OPT 24 während des Ablaufs. x = 2, 3, 4 fehlerhafter Zustand erkannt wird, wird dies dem Bedie- ner, soweit möglich, über die Anzeige mitgeteilt.
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ER: I-120V I>> 08H: ER:EMV-OFFSET>> 1BH: Versorgungsspannung VN4 ist zu hoch. Elektrischer Offset des Elektrometerverstärkers ist zu hoch. ER: I-120V I<< 09H: Versorgungsspannung VN4 ist zu niedrig. ER:PEAK NOT IN RANGE 1CH: Bei TUNE wird im normalen Bereich ER:MSP-ANOD-CAT-U>> 0AH: kein Maximum gefunden.
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ER:ROUGHING-P,-I<< 2FH: ER:PHASE SEQUENCE 48H: Strom des Hilfspumpenmotors zu niedrig Bei 3phasiger Netzspannung sind und Hilfspumpenschütz angezogen. zwei der Phasen vertauscht. ER:BACKING-P,-I>> 30H: ER:ROUGHING-P, OVERL 49H: Strom des Vorpumpenmotors Hilfspumpe überlastet (Schütz zu hoch. nicht erregt). ER:BACKING-P,-I<< 31H: ER:TMP-VENT V. DEF 50H: Strom des Vorpumpenmotors Flutventil für Turbomolekularpumpe...
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ER1:DSR INACTIV 98H: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:TIME OUT ECHO O. 9AH: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:ACIA-OVERRUN 9BH: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:DSR AKTIV 9CH: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:PARITY-ERROR 9EH: Fehler der internen V.24 - Verbindung. ER1:DATA LOST 9FH: Fehler der internen V.24 - Verbindung.
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Erklärung über Kontaminierung von Vakuumgeräten und -komponenten Die Reparatur und/oder die Wartung von Vakuumgeräten und -komponenten wird nur durchgeführt, wenn eine korrekt und vollständig ausgefüllte Erklärung vorliegt. Ist das nicht der Fall, kommt es zu Verzögerungen der Arbeiten. Wenn die Repara- tur/Wartung im Herstellerwerk und nicht am Ort ihres Einsatzes erfolgen soll, wird die Sendung gegebenenfalls zurückgewie- sen.
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